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整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法
1
作者
周琪
周炳海
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期1183-1189,共7页
为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目...
为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目标,建立了数学规划模型,并构造了解死锁算法.该启发式算法使用存储柜转存晶圆批来释放死锁的小车资源,并应用图论理论构造了多个并行路径来解除死锁.最后,对算法进行了仿真实验,结果表明该算法能有效求解设备缓冲约束引起的死锁问题.与其他解死锁方法相比,上述算法能有效减少解死锁时间,提高了关键设备的可用率.
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关键词
死锁
自动物料搬运系统
整体式布局
图论
缓冲约束
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职称材料
整体式晶圆连续自动物料搬运系统性能分析
被引量：
5
2
作者
陈锦祥
周炳海
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2013年第6期1313-1320,共8页
为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型。在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型。在考虑加工设...
为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型。在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型。在考虑加工设备有限缓存容量、损失晶舟循环反馈的情况下,应用M/M/1/K模型及其反馈特性构建Intrabay的性能分析模型。以24个Intrabay的300mm晶圆制造系统为例来验证分析模型。通过与A-rena软件仿真结果对比分析,证明了数学分析模型在评估系统在制品、设备利用率等相关性能方面的准确性。
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关键词
晶圆制造
整体式布局
自动物料搬运系统
排队模型
连续物料搬运
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职称材料
题名
整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法
1
作者
周琪
周炳海
机构
同济大学机械与能源工程学院
出处
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期1183-1189,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61273035)
2013"大型智能化装卸码头"智能制造装备发展专项
文摘
为了有效地解决300 mm晶圆制造中整体式自动物料搬运系统的设备缓冲约束引起死锁的问题,构建了基于图论的两阶段解死锁算法.首先对问题域进行了形式化描述,在此基础上,证明了死锁产生和解除的充分条件,以关键设备死锁解除时间最小化为目标,建立了数学规划模型,并构造了解死锁算法.该启发式算法使用存储柜转存晶圆批来释放死锁的小车资源,并应用图论理论构造了多个并行路径来解除死锁.最后,对算法进行了仿真实验,结果表明该算法能有效求解设备缓冲约束引起的死锁问题.与其他解死锁方法相比,上述算法能有效减少解死锁时间,提高了关键设备的可用率.
关键词
死锁
自动物料搬运系统
整体式布局
图论
缓冲约束
Keywords
deadlock
automatic material handling system （AMHS）
unified layout
graph theory
buffer-constraint
分类号
TP27 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
整体式晶圆连续自动物料搬运系统性能分析
被引量：
5
2
作者
陈锦祥
周炳海
机构
同济大学机械与能源工程学院
出处
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2013年第6期1313-1320,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(61273035
71071115)~~
文摘
为了快速、准确地评估整体式连续自动物料搬运系统的在制品量,引入排队理论中的相关知识构建了数学性能分析模型。在考虑捷径布置与转向装置服务时间变动性的基础上,采用合适的排队模型构建针对Inter-bay的性能分析模型。在考虑加工设备有限缓存容量、损失晶舟循环反馈的情况下,应用M/M/1/K模型及其反馈特性构建Intrabay的性能分析模型。以24个Intrabay的300mm晶圆制造系统为例来验证分析模型。通过与A-rena软件仿真结果对比分析,证明了数学分析模型在评估系统在制品、设备利用率等相关性能方面的准确性。
关键词
晶圆制造
整体式布局
自动物料搬运系统
排队模型
连续物料搬运
Keywords
wafer fabrications
united layout
automated material handling system
queuing model
continuous flow transporters
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
整体式半导体自动物料搬运系统解死锁算法
周琪
周炳海
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
0
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职称材料
2
整体式晶圆连续自动物料搬运系统性能分析
陈锦祥
周炳海
《计算机集成制造系统》
EI
CSCD
北大核心
2013
5
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职称材料
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