期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测
1
作者
牛海燕
范镝
+2 位作者
郑立功
张峰
张学军
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2006年第4期8-11,共4页
本文介绍了480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程;并介绍了在研磨过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜面形精度和...
本文介绍了480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程;并介绍了在研磨过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度峰谷值(PV)由初始的21.7微米收敛到4.62微米,均方根值(RMS)由3.70微米收敛到0.558微米,并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。
展开更多
关键词
碳化硅反射镜
数控研磨
轮廓检测
面形精度
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测
1
作者
牛海燕
范镝
郑立功
张峰
张学军
机构
中国科学院长春光机与物理研究所光学技术中心
出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2006年第4期8-11,共4页
基金
国家杰出青年基金资助项目(No.69925512)
文摘
本文介绍了480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜数控研磨的工艺参数的确定和工艺流程;并介绍了在研磨过程中使用的机床、磨具、磨料及采用的工艺参数和检测方法。给出了研磨前后480mm×280mm的船形碳化硅平面反射镜面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度峰谷值(PV)由初始的21.7微米收敛到4.62微米,均方根值(RMS)由3.70微米收敛到0.558微米,并把轮廓检测结果与干涉检测结果进行了比较。
关键词
碳化硅反射镜
数控研磨
轮廓检测
面形精度
Keywords
SiC mirror
computer controlled grinding
profiler testing
surface figure
分类号
TQ171.68 [化学工程—玻璃工业]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径碳化硅平面反射镜的数控研磨与在线检测
牛海燕
范镝
郑立功
张峰
张学军
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2006
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
