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题名数控气囊式抛光结构设计与非球面加工工艺技术研究
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作者
孔琳
贾宗合
邵维
刘冬梅
付秀华
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机构
长春理工大学光电工程学院
吉林东光集团有限公司
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出处
《长春理工大学学报（自然科学版）》
2016年第6期27-30,共4页
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基金
吉林省重大科技攻关专项(No21040203002GX)
国家高技术研究发展计划(12349876)资助
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文摘
非球面光学元件由于具有改善系统成像质量、提高光学性能等特点被广泛的应用于各类光电产品中,因此如何抛光加工出高精度非球面元件成为国内外学者面临的难题。对数控气囊抛光方法抛光非球面元件的工艺进行研究,分析气囊抛光的加工原理,设计气囊式抛光头的结构,并对材料去除函数进行分析。在实验过程中使用硅胶气囊与橡胶气囊对非球面元件进行抛光对比,采用轮廓仪测量非球面面型,并使用高倍放大镜检测表面质量。结果表明,利用数控气囊抛光方法可以加工出光滑的非球面表面,粗糙度为0.9nm,该方法是抛光高精密非球面光学元件的有效方法,且数控气囊抛光工艺具有可扩展性。
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关键词
数控气囊式抛光
去除函数建模
结构设计
非球面
高精度
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Keywords
bonnet tool polishing with CNC machine
removal function modeling
structure design
aspheric surface
high precision
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分类号
TH706
[机械工程—精密仪器及机械]
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