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题名KLA3xx系列机台数据准备扩展系统的设计与实现
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作者
陈龙维
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机构
上海凸版光掩模有限公司
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出处
《集成电路应用》
2021年第12期29-31,共3页
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文摘
阐述KLA 3xx系列机台可提供光掩模缺陷检测、量测和数据分析处理,能够协助光掩模制造商识别光掩模缺陷和图案位置错误,降低良率风险。由于该系列机台大多是在1990年代中期制造,受计算机操作系统处理能力和硬件空间限制,严重制约了它的产能利用。利用新型IBM服务器硬件性能和Synopsys公司CATS软件技术相结合的应用优势,设计一套独立于3xx系列机台的数据准备扩展系统,通过将处理后的数据导入3xx系列机台直接用于光掩模缺陷检测的方式,可实现对3xx系列机台产能的最大化利用。
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关键词
集成电路制造
光掩模缺陷检测
KLA3xx系列机台
DPS数据准备系统
KOP系统
CATS图形图像处理软件
Perl计算机程序语言
Shell计算机程序语言
VNC远程控制
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Keywords
integrated circuit manufacturing
photomask defect detection
KLA3xx series machine
DPS data preparation system
KOP system
CATS graphics and image processing software
Perl computer program language
Shell computer program language
VNC remote control
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TP311.52
[自动化与计算机技术—计算机软件与理论]
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题名基于多标准的部省交通一卡通数据准备技术研究
被引量:3
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作者
方秋水
梁昭俊
刘强
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机构
广东岭南通股份有限公司
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出处
《现代交通技术》
2019年第1期82-85,共4页
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文摘
随着区域经济一体化发展,跨市跨省的出行需求日益增长,对省域甚至全国交通一卡通服务提出了更高的要求。特别是在部省交通一卡通互联互通的基础上,随着交易数据量的不断增长,现有的数据生成能力及解决方案已不能很好地适应发展需求。在全面整合有关资源的基础上,通过深入研究基于多标准卡片兼容的部省交通一卡通数据准备系统,提出标准化的数据准备模型,旨在进一步提升该系统的跨标准数据融合性能和兼容性,为后续数据处理提供统一的模板。
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关键词
公共交通一卡通
多标准
数据准备系统
数据融合
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Keywords
public transport card
multiple standard
data preparation system
data compatibility
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分类号
U491.17
[交通运输工程—交通运输规划与管理]
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题名商用密码在农村信用社的应用
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作者
赵英
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机构
卫士通信息产业股份有限公司
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出处
《信息安全研究》
2019年第12期1120-1123,共4页
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文摘
基于商用密码算法构建一套农村信用社密码安全体系,对农村信用社核心系统、前置系统、网上银行系统、金融IC卡系统、人行二代支付系统等多个系统涉及到的密码应用环节进行国密改造,增强农村信用社信息安全核心产品以及系统的自主性,提高农村信用社信息系统安全保障能力.
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关键词
商用密码算法
密码服务平台
密钥管理系统
数据准备系统
密码机
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Keywords
domestic cryptographic algorithm
cryptographic service platform
key management system
data preparation system
host security machine
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分类号
TP309.7
[自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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