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弹光调制测椭偏参量的数字锁相数据处理
被引量：
7
1
作者
王爽
韩燮
+4 位作者
李晓
王志斌
景宁
陈友华
陈媛媛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1314-1321,共8页
为了实现椭偏参量ψ和Δ的高速、高灵敏测量,建立了一种测量成本低、重复性好和便于工业化集成的椭偏测量方案。本文对弹光调制型椭偏参量测量系统进行了原理分析,针对弹光调制器的工作模式及调制光信号特点,设计了基于现场可编程门阵...
为了实现椭偏参量ψ和Δ的高速、高灵敏测量,建立了一种测量成本低、重复性好和便于工业化集成的椭偏测量方案。本文对弹光调制型椭偏参量测量系统进行了原理分析,针对弹光调制器的工作模式及调制光信号特点,设计了基于现场可编程门阵列的数字锁相数据处理方案。现场可编程门阵列提供弹光调制器工作的信号源,并控制AD采样;同时产生正弦和余弦参考序列,并完成直流项、一倍频项和二倍频项的同相分量和正交分量的提取,进而求解出椭偏参量。利用搭建的试验系统对SiO2薄膜厚度为3.753nm的硅片样品进行了实验分析。实验结果表明,采样时间为20ms时,椭偏参量ψ和Δ的平均值分别为9.622°和168.692°,标准偏差分别为0.005°和0.008°;采样时间设置为200ms时,椭偏参量测量平均值与20ms的非常接近,标准偏差减小,并且都在0.001°量级,揭示了本系统具有较高的灵敏度和较好的重复性。
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关键词
椭偏参量
椭偏仪
弹光调制器
数字锁相数据处理
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职称材料
题名
弹光调制测椭偏参量的数字锁相数据处理
被引量：
7
1
作者
王爽
韩燮
李晓
王志斌
景宁
陈友华
陈媛媛
机构
中北大学大数据学院
山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
中北大学电气与控制工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1314-1321,共8页
基金
国家国际科技合作专项项目(No.2013DFR10150)
国家自然科学基金资助项目(Nos.61672473
+2 种基金
61505179
61605176)
山西省应用基础研究项目(No.201701D221126)
文摘
为了实现椭偏参量ψ和Δ的高速、高灵敏测量,建立了一种测量成本低、重复性好和便于工业化集成的椭偏测量方案。本文对弹光调制型椭偏参量测量系统进行了原理分析,针对弹光调制器的工作模式及调制光信号特点,设计了基于现场可编程门阵列的数字锁相数据处理方案。现场可编程门阵列提供弹光调制器工作的信号源,并控制AD采样;同时产生正弦和余弦参考序列,并完成直流项、一倍频项和二倍频项的同相分量和正交分量的提取,进而求解出椭偏参量。利用搭建的试验系统对SiO2薄膜厚度为3.753nm的硅片样品进行了实验分析。实验结果表明,采样时间为20ms时,椭偏参量ψ和Δ的平均值分别为9.622°和168.692°,标准偏差分别为0.005°和0.008°;采样时间设置为200ms时,椭偏参量测量平均值与20ms的非常接近,标准偏差减小,并且都在0.001°量级,揭示了本系统具有较高的灵敏度和较好的重复性。
关键词
椭偏参量
椭偏仪
弹光调制器
数字锁相数据处理
Keywords
ellipsometric parameters
ellipsometry
photoelastic modulation
digital phase-locked data processing
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
TH744.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
弹光调制测椭偏参量的数字锁相数据处理
王爽
韩燮
李晓
王志斌
景宁
陈友华
陈媛媛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
7
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