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采用频谱分析技术的高分辨率微位移测量方法
被引量：
8
1
作者
袁纵横
周晓军
+1 位作者
刘永智
周元庆
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第1期100-103,共4页
本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法。该方法采用频谱分析技术对干涉条纹进行快速傅里叶变换 (FFT)和滤波处理 ,消除了噪声和干扰 ,获得了清晰的干涉条纹。检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移。采用 CCD摄像机、图像...
本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法。该方法采用频谱分析技术对干涉条纹进行快速傅里叶变换 (FFT)和滤波处理 ,消除了噪声和干扰 ,获得了清晰的干涉条纹。检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移。采用 CCD摄像机、图像卡和计算机 ,结合本文设计的麦克尔逊干涉仪对压电晶体 (PZT)的位移曲线进行了测量。结果表明 ,该方法能达到极高的分辨率 ,在总采样点为 5 12 ,连续测量时 ,最小分辨率达到 1.3nm。
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关键词
微位移测量
干
涉
仪
数字涉波
频谱分析
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职称材料
题名
采用频谱分析技术的高分辨率微位移测量方法
被引量：
8
1
作者
袁纵横
周晓军
刘永智
周元庆
机构
电子科技大学光电子技术系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第1期100-103,共4页
基金
电科院预研资助项目
文摘
本文提出了具有高分辨率的微位移测量方法。该方法采用频谱分析技术对干涉条纹进行快速傅里叶变换 (FFT)和滤波处理 ,消除了噪声和干扰 ,获得了清晰的干涉条纹。检测处理后的干涉条纹的移动就能准确地测量出位移。采用 CCD摄像机、图像卡和计算机 ,结合本文设计的麦克尔逊干涉仪对压电晶体 (PZT)的位移曲线进行了测量。结果表明 ,该方法能达到极高的分辨率 ,在总采样点为 5 12 ,连续测量时 ,最小分辨率达到 1.3nm。
关键词
微位移测量
干
涉
仪
数字涉波
频谱分析
Keywords
Displacement measure\ Interferometer\ Digital filter\ Fast Fourier\|transform
分类号
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用频谱分析技术的高分辨率微位移测量方法
袁纵横
周晓军
刘永智
周元庆
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
8
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