数字微镜器件(DMD) 被引量：27

1

作者 邹静娴 吴荣治 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第6期445-449,共5页

数字式光处理(DLP—Digitallightprocessing)投影显示技术的核心是数字微镜器件(DMD-Digitalmicromirrordevice),它是一种基于半导体制造技术,由高速数字式光反射开关阵列组成的器件,采用二进制脉宽调制技术能精确地控制光源。叙述了用... 数字式光处理(DLP—Digitallightprocessing)投影显示技术的核心是数字微镜器件(DMD-Digitalmicromirrordevice),它是一种基于半导体制造技术,由高速数字式光反射开关阵列组成的器件,采用二进制脉宽调制技术能精确地控制光源。叙述了用于DLP投影系统的DMD的原理、制造、性能和特点。 展开更多

关键词 数字微镜器件 投影显示 数字图像 微机电系统 数字光处理 脉宽调制 dmd光开关 彩色控制

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数字微镜阵列红外动态景象模拟器的研制 被引量：21

2

作者 康为民 李延彬 高伟志 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第5期753-756,共4页

红外动态景象模拟器为红外半实物仿真系统提供动态目标和背景,是半实物仿真系统的核心技术之一。介绍了基于数字微镜阵列研制的红外动态景象模拟器的组成、工作原理和技术指标。描述了数字微镜阵列红外动态景象模拟器的4大关键技术,即... 红外动态景象模拟器为红外半实物仿真系统提供动态目标和背景,是半实物仿真系统的核心技术之一。介绍了基于数字微镜阵列研制的红外动态景象模拟器的组成、工作原理和技术指标。描述了数字微镜阵列红外动态景象模拟器的4大关键技术,即红外图像转换技术,红外图像转换器的同步调制驱动技术,红外光学耦合技术和红外热像逼真度修正技术。分析了红外图像转换器同步与不同步驱动对图像采集的影响。给出了经研制的数字微镜阵列景象模拟器产生、红外热像仪获取的红外图像。实验结果表明:该模拟可广泛应用于红外成像探测系统的仿真、测试和标定。 展开更多

关键词 半实物仿真 数字微镜阵列 红外图像产生

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数字微镜阵列动态红外景象投射器光学系统设计 被引量：10

3

作者 关英姿 杨亮 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期245-248,共4页

利用二次成像原理。采用准直物镜组和放大倍率为1／3的投影系统的组合方式，设计了小F数、短焦距、长出瞳距、长工作距离的基于DMD的中波红外景象投射器光学系统。整个光学系统采用锗和硅两种材料，包含11片透镜，其中：准直物镜3片，... 利用二次成像原理。采用准直物镜组和放大倍率为1／3的投影系统的组合方式，设计了小F数、短焦距、长出瞳距、长工作距离的基于DMD的中波红外景象投射器光学系统。整个光学系统采用锗和硅两种材料，包含11片透镜，其中：准直物镜3片，投影镜头7片，场镜1片。为了实现15～40℃范围内消热差和消色差，将投影系统设计成折衍混合系统。投射器光学系统在工作温度范围内，全视场空间频率16lp／mm处的MTF〉0．6，具有较好的成像效果。 展开更多

关键词 数字微镜阵列 动态红外景象投射器 光学设计 二次成像 折衍混合系统

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数字微镜器件(DMD)在相干光照明下的空间光调制特性 被引量：12

4

作者 王巍 巩马理 《光电技术应用》 2007年第3期31-35,共5页

分析了DMD的微结构和工作原理;引入占空比因子,通过空间分区建立了较为完善的DMD空间光调制理论模型;根据该模型预测了经DMD调制后的频谱中,存在2个互补图像区域;沿这2个互补区域的对称轴方向各级衍射不含图像调制信息;设计了相干光照明... 分析了DMD的微结构和工作原理;引入占空比因子,通过空间分区建立了较为完善的DMD空间光调制理论模型;根据该模型预测了经DMD调制后的频谱中,存在2个互补图像区域;沿这2个互补区域的对称轴方向各级衍射不含图像调制信息;设计了相干光照明下DMD空间光调制特性实验,理论与实验符合得很好. 展开更多

关键词 数字微镜器件(dmd) 空间光调制特性 二维光栅结构 衍射

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基于数字微镜阵列的平顶光束空间整形 被引量：5

5

作者 娄艳阳 郑贤良 +3 位作者 张世超 鹿伟民 李辉 熊大曦 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第6期916-920,共5页

为了满足激光光斑质量高、扫描快速的目的,采用数字微镜阵列和误差扩散法对单平顶和多平顶的光束整形原理仿真,利用680nm激光建立了实验系统,并进行了光束整形验证。采用光束填充因子、光场调制度、均方根误差3种评价参量对整形结果进... 为了满足激光光斑质量高、扫描快速的目的,采用数字微镜阵列和误差扩散法对单平顶和多平顶的光束整形原理仿真,利用680nm激光建立了实验系统,并进行了光束整形验证。采用光束填充因子、光场调制度、均方根误差3种评价参量对整形结果进行评价,并对采用数字微镜阵列进行光束整形的能量利用率进行了测量和分析。结果表明,单平顶和多平顶整形的光束填充因子由整形前的36.1%分别提高到62.3%和56.7%;光场调制度由73.3%分别降到25.6%和30.3%。利用该光束空间整形方法,可得到高质量的多平顶光束,在快速激光扫描领域有一定的应用价值。 展开更多

关键词 激光光学 光束整形 数字微镜阵列 误差扩散法 多平顶光束

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基于数字微镜阵列光调制的激光防护系统 被引量：3

6

作者 佟洋 徐熙平 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1325-1329,共5页

提出一种基于数字微镜阵列(DMD)的激光防护系统设计方案,利用DMD的光调制作用减少强激光对光电成像设备的损坏。详细介绍了系统的工作原理、DMD及CCD的选型、投影光路和光学转换系统的设计,运用相移莫尔法进行了图像像素的调校。模拟实... 提出一种基于数字微镜阵列(DMD)的激光防护系统设计方案,利用DMD的光调制作用减少强激光对光电成像设备的损坏。详细介绍了系统的工作原理、DMD及CCD的选型、投影光路和光学转换系统的设计,运用相移莫尔法进行了图像像素的调校。模拟实验结果显示,该系统可在不同光斑半径和光强的条件下成功识别激光光斑中心点的像素坐标和半径,实现对光斑对应区域的微反射镜控制,激光光强可衰减70%以上。 展开更多

关键词 数字微镜阵列 激光防护 莫尔相移法

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数字微镜器件技术(DMD)

7

作者 金杨 《印刷经理人》 2004年第10期57-57,共1页

数字微镜器件是由美国德州仪器公司(Texas Instrument)开发的。DMD是Digital Micro-mirror Device的缩写。这种技术也称为"数字光线处理技术"。该技术的核心是:通过数字信息控制数十万到上百万个微小的反射镜,将不同数量的光... 数字微镜器件是由美国德州仪器公司(Texas Instrument)开发的。DMD是Digital Micro-mirror Device的缩写。这种技术也称为"数字光线处理技术"。该技术的核心是:通过数字信息控制数十万到上百万个微小的反射镜,将不同数量的光线投射出去。 展开更多

关键词 CTCP 计算机传统印版直接制版技术 dmd 数字微镜技术 记录技术 PS版材

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数字微镜器件DMD 被引量：1

8

作者 朱维南 《电视技术》 北大核心 2000年第12期86-88,共3页

关键词 数字微镜器件 dmd 显示器

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TI公司开发数字微镜器件（DMD）

9

作者 孙再吉 《光电子技术》 CAS 1997年第2期155-155,共1页

关键词 TI公司 数字微镜器件 dmd 反射率 色相

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采用数字微镜的共焦显微镜的研制 被引量：4

10

作者 张运波 侯文玫 +1 位作者 郑继红 官志超 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期65-70,共6页

研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜。利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式。采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分... 研究了基于数字微镜器件(DMD)的多路并行共焦显微镜。利用DMD产生特定的图案对光源进行调制,形成多路并行共焦检测工作模式,其作用相当于虚拟针孔阵列,可以代替现有的并行扫描方式。采用DMD作为共焦系统的并行横向扫描方式,在不损失分辨率的前提下,大大提高了测量速度。系统中虚拟针孔的大小和周期等关键参数具有程序可控制性,能够根据不同的要求对样品进行测量。解决了分光棱镜内表面反射作用对共焦成像造成的干扰问题。设计了DMD横向扫描策略。对样机进行了测试实验,取得了系统的深度响应曲线,并且成功还原了被测物表面的微结构。 展开更多

关键词 共焦检测 数字微镜器件 虚拟针孔阵列 并行扫描

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数字微镜器件用于并行共焦显微探测的研究 被引量：3

11

作者 余晓芬 余卿 +1 位作者 刘文文 王永红 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期58-62,共5页

数字微镜器件(DMD)可以对反射后的光线进行分束,再经过透镜聚光后,能够形成点光源阵列,其中点的大小、间距都可以很方便地控制。相较于传统的微光学器件,DMD具有不可比拟的柔性,而且成本很低。利用DMD构建的数字并行光源可以用于并行共... 数字微镜器件(DMD)可以对反射后的光线进行分束,再经过透镜聚光后,能够形成点光源阵列,其中点的大小、间距都可以很方便地控制。相较于传统的微光学器件,DMD具有不可比拟的柔性,而且成本很低。利用DMD构建的数字并行光源可以用于并行共焦显微探测,实验搭建了一条适应于目前测量环境的光路,对比了周期不等的点光源阵列后,得到了在同时满足DMD和CCD的像素要求的前提下,阵列周期越小越能提高测量纵向分辨力的结论。 展开更多

关键词 数字微镜器件 点光源阵列 数字并行光源 并行共焦显微

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基于DMD的步进式无掩模数字曝光方法及装置 被引量：6

12

作者 严伟 胡松 +5 位作者 唐小萍 赵立新 杨勇 蒋文波 周绍林 陈旺富 《电子工业专用设备》 2008年第10期14-19,共6页

随着器件特征尺寸的继续缩小,所需掩模的成本呈直线上升态势,为降低掩模成本,无掩模光刻技术成为人们研究的热点。介绍了一种基于DMD的步进式无掩模数字曝光方法,并对用于实现该曝光方法装置的设计方案和具体实现进行了论述与分析。最... 随着器件特征尺寸的继续缩小,所需掩模的成本呈直线上升态势,为降低掩模成本,无掩模光刻技术成为人们研究的热点。介绍了一种基于DMD的步进式无掩模数字曝光方法,并对用于实现该曝光方法装置的设计方案和具体实现进行了论述与分析。最后利用厚的光刻胶进行曝光工艺实验,实验结果表明,本装置可以实现亚微米级线条的刻蚀,较高的侧壁陡度,线条拼接结果良好,可以实现大面积数字式曝光。 展开更多

关键词 数字微镜阵列 无掩模光刻 照明

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基于数字微镜的数字光处理技术 被引量：1

13

作者 陈健 《电子产品世界》 2000年第6期45-46,共2页

关键词 数字微镜 数字光处理 dmd DLP

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基于数字微镜阵列的二维红外光场调控(特邀)

14

作者 马晓帅 朱东旭 +1 位作者 万卓仁 闫明 《红外与激光工程》 2025年第5期68-76,共9页

高重复频率超短脉冲激光在高速测量与激光加工等领域具有重要应用价值。针对高重频皮秒脉冲光产生及调控的需要,提出一种基于数字微镜阵列的二维红外光场调控系统。该系统使用虚像相位阵列将激光脉冲的频率成分沿纵向色散展开,并结合衍... 高重复频率超短脉冲激光在高速测量与激光加工等领域具有重要应用价值。针对高重频皮秒脉冲光产生及调控的需要,提出一种基于数字微镜阵列的二维红外光场调控系统。该系统使用虚像相位阵列将激光脉冲的频率成分沿纵向色散展开,并结合衍射光栅将混叠的光谱横向分离,实现脉冲光频与二维平面的映射对应。利用数字微镜阵列对特定频率成分进行强度调制,从而实现对脉冲光场的精密调控。为验证系统的光谱色散效果及光频对应关系,使用红外相机对傅里叶平面处的光场进行观测,并对分辨率靶进行成像分析。对系统的光场调控能力进行可行性验证,结果表明,通过对频率成分进行调制,可产生数量超过52个、时域间隔为16.67 ps的脉冲序列,信噪比可达46.02 dB,并可对其进行250 ps及500 ps的相对延时控制。该系统具有调控精度高、调制速度快等特点,在高速测量或加工系统的控制中具有广泛的应用前景。 展开更多

关键词 光场调控 数字微镜阵列 虚像相位阵列 高重频脉冲激光

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基于DMD的红外场景仿真系统光学引擎设计 被引量：9

15

作者 蹇毅 潘兆鑫 于洋 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期375-379,共5页

针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.... 针对DMD(Digital Micromirror Device)器件是针对可见光波段设计,直接用于红外波段会遇到问题,提出了一种远心投影光学引擎架构,包括投影光学系统和照明光学系统.该光学引擎采用柯勒远心照明架构,并引入一片场镜来分离投影和照明光束.这种光学引擎结构紧凑、照明均匀、光能利用率高. 展开更多

关键词 红外仿真 数字微镜阵列(dmd) 光学设计

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基于DMD的红外目标模拟器分光系统设计 被引量：10

16

作者 胡初强 牟达 陈灵芝 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期655-658,共4页

基于DMD(数字微镜阵列)的红外目标模拟器是利用DMD反射调制入射的红外辐射,在实验室内模拟真实目标和背景的红外成像,对红外探测和传感设备进行性能测试和评估。介绍了基于DMD的红外目标模拟器的整体结构,阐述了DMD的工作原理,分析了分... 基于DMD(数字微镜阵列)的红外目标模拟器是利用DMD反射调制入射的红外辐射,在实验室内模拟真实目标和背景的红外成像,对红外探测和传感设备进行性能测试和评估。介绍了基于DMD的红外目标模拟器的整体结构,阐述了DMD的工作原理,分析了分光系统的设计思想。为了解决照明系统和投影系统结构容易发生重叠的问题,设计了分光棱镜将DMD的照明光束和由DMD反射的投影光束分离开,并用ZEMAX对分光棱镜进行了优化和模拟,设计结果符合使用要求。 展开更多

关键词 数字微镜阵列 红外目标模拟器 分光棱镜 光学设计

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基于DMD的长波红外变焦投影系统设计 被引量：7

17

作者 李卓 牟达 +1 位作者 吕世龙 周强 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第12期341-346,共6页

基于数字微镜器件（DMD）的红外景象模拟器在室内环境下通过模拟真实景物及其环境的红外辐射来测试红外成像系统的性能。为实现基于DMD的红外景象模拟器能够满足不同待测系统的视场角匹配,同时为避免投影系统与照明系统发生空间上的重叠... 基于数字微镜器件（DMD）的红外景象模拟器在室内环境下通过模拟真实景物及其环境的红外辐射来测试红外成像系统的性能。为实现基于DMD的红外景象模拟器能够满足不同待测系统的视场角匹配,同时为避免投影系统与照明系统发生空间上的重叠,设计了一套配有分光棱镜的红外变焦投影系统。该系统工作波段为8~12μm,F数为2.7,采用光学补偿变焦方式,可实现50/100/150/200 mm四档变焦。根据四组元系统负组补偿原理及其高斯光学公式对系统光学参数进行计算,选用与参数相近的初始结构进行处理及优化。设计结果表明,各焦距位置在20 lp/mm处的调制传递函数值均接近衍射极限,符合使用要求。 展开更多

关键词 光学设计 数字微镜器件(dmd) 光学补偿 红外变焦 投影系统

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双DMD变焦红外双波段场景模拟器光学引擎设计 被引量：2

18

作者 潘越 徐熙平 乔杨 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期437-444,共8页

为仿真现实场景中目标和干扰的光谱分布差异,设计了一种基于双数字微镜器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)的双通道、共口径、变焦光学引擎,包括投影光学系统和两套照明光学系统.光学引擎以红外中波和长波柯勒远心光路分别直接照明... 为仿真现实场景中目标和干扰的光谱分布差异,设计了一种基于双数字微镜器件(DMD,Digital Micro-mirror Device)的双通道、共口径、变焦光学引擎,包括投影光学系统和两套照明光学系统.光学引擎以红外中波和长波柯勒远心光路分别直接照明两DMD靶面,采用空间立体布局避免不同光路间干扰.设计结果表明:照明光学系统的照度均匀性优于94%;中波(3.7~4.8μm)和长波(8~12μm)内,变焦投影光学系统在10 1p/mm处的调制传递函数(MTF,Modulation Transfer Function)值分别优于0.7和0.4;系统畸变小于0.5%,满足使用要求. 展开更多

关键词 光学设计 红外仿真 数字微镜器件(dmd) 双波段 光学引擎

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基于DMD的动态红外场景生成系统 被引量：8

19

作者 张二磊 祁鸣 《电子科技》 2011年第7期140-143,共4页

动态红外场景生成系统是检测红外导引头探测、跟踪和抗干扰性能的重要手段。以某型空空导弹光电对抗平台为应用对象,基于红外场景实测数据,利用Visual C++6.0和Vega API开发了交互式红外图像生成软件,实时生成不同地域各种环境下目标和... 动态红外场景生成系统是检测红外导引头探测、跟踪和抗干扰性能的重要手段。以某型空空导弹光电对抗平台为应用对象,基于红外场景实测数据,利用Visual C++6.0和Vega API开发了交互式红外图像生成软件,实时生成不同地域各种环境下目标和背景的红外图像,模拟真实场景在红外导引头入瞳处红外辐射分布。根据红外图像视频信号,利用数字微镜阵列(Digital Micro Mirror Device,DMD)对黑体红外辐射进行反射调制,并由光学准直系统实现红外场景生成系统与红外导引头的光学耦合,对红外导引头性能指标进行测试和评估。 展开更多

关键词 红外场景 数字微镜阵列 实时

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基于DMD的并行共焦图像处理方法研究 被引量：1

20

作者 余卿 余晓芬 +1 位作者 崔长彩 叶瑞芳 《计量学报》 CSCD 北大核心 2015年第2期113-117,共5页

在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应对不同的测量场合。推导了DMD... 在并行共焦测量中，用于构造点光源阵列的光分束器件普遍存在参数固化、对不同测量对象适应性较差的缺点。将数字微镜器件（DMD）作为光分束器件应用于并行共焦测量，可以控制DMD构造柔性化点光源阵列，应对不同的测量场合。推导了DMD的空间光调制模型，规避了“泰伯效应”对并行共焦测量的影响，设计了可抑制光点横向漂移的远心光路，构建了基于DMD的并行共焦测量装置，对比了两种不同的并行共焦图像处理方法。实验结果表明，在没有设置高数值孔径物镜组的情况下，测量装置的纵向分辨率受到一定影响，但所设计的图像处理程序能够快速、准确地获取被测物面的形貌特征。 展开更多

关键词 计量学 并行共焦测量 图像处理 数字微镜器件 点光源阵列

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