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热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜热应力分布和电学特性影响的研究
1
作者
王涛
陈诚
+4 位作者
李子赟
刘星语
黄川
王紫阳
任春华
《电子测量与仪器学报》
2025年第7期151-158,共8页
为定量表征热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜应变分布和电学特性的影响,建立了基于数字图像相关法的热变形测试工作站和电学测试站的综合测试系统,首先在柔性聚合物上通过磁控溅射方法制备了铜导电层厚度为50、100、200、500 nm的...
为定量表征热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜应变分布和电学特性的影响,建立了基于数字图像相关法的热变形测试工作站和电学测试站的综合测试系统,首先在柔性聚合物上通过磁控溅射方法制备了铜导电层厚度为50、100、200、500 nm的二维马蹄形柔性电子复合薄膜,并对柔性电子复合薄膜在恒速率加热条件下进行原位和全局变形检测和电信号稳定性检测。提取了二维马蹄形互连的热应变场,并重点分析了薄膜铜层附近单位面积内的应变场特征。结果表明,500 nm膜厚铜层在热载荷作用下与衬底配合关系最佳,样品整体应变成稳定趋势。同时配合电学测试站对样品进行电信号采集,发现随着铜膜层厚度增加,500 nm样品的电阻松弛至3Ω,并在持续温度载荷下可以保持优异的工作稳定性。综上所述,通过建立热载荷测试系统揭示了不同金属层厚度对柔性电子复合薄膜衬底和金属层连接的热应变与信号传输效率的影响,实验表明了500 nm铜膜层样品在热载荷下的性能优势,为可拉伸电子元件的安全设计提供了理论依据。
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关键词
柔性电子复合薄膜
数字图形相关法
热应变
电学稳定性
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职称材料
题名
热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜热应力分布和电学特性影响的研究
1
作者
王涛
陈诚
李子赟
刘星语
黄川
王紫阳
任春华
机构
天津商业大学机械工程学院
出处
《电子测量与仪器学报》
2025年第7期151-158,共8页
基金
国家自然科学基金(24JCZDJC00280)项目资助。
文摘
为定量表征热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜应变分布和电学特性的影响,建立了基于数字图像相关法的热变形测试工作站和电学测试站的综合测试系统,首先在柔性聚合物上通过磁控溅射方法制备了铜导电层厚度为50、100、200、500 nm的二维马蹄形柔性电子复合薄膜,并对柔性电子复合薄膜在恒速率加热条件下进行原位和全局变形检测和电信号稳定性检测。提取了二维马蹄形互连的热应变场,并重点分析了薄膜铜层附近单位面积内的应变场特征。结果表明,500 nm膜厚铜层在热载荷作用下与衬底配合关系最佳,样品整体应变成稳定趋势。同时配合电学测试站对样品进行电信号采集,发现随着铜膜层厚度增加,500 nm样品的电阻松弛至3Ω,并在持续温度载荷下可以保持优异的工作稳定性。综上所述,通过建立热载荷测试系统揭示了不同金属层厚度对柔性电子复合薄膜衬底和金属层连接的热应变与信号传输效率的影响,实验表明了500 nm铜膜层样品在热载荷下的性能优势,为可拉伸电子元件的安全设计提供了理论依据。
关键词
柔性电子复合薄膜
数字图形相关法
热应变
电学稳定性
Keywords
flexible electronic film
digital graph correlation method
thermal strain
electrical stability
分类号
T0313 [一般工业技术]
TN407 [电子电信]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热载荷作用下铜膜层对柔性电子复合薄膜热应力分布和电学特性影响的研究
王涛
陈诚
李子赟
刘星语
黄川
王紫阳
任春华
《电子测量与仪器学报》
2025
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