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激光数字平面检测系统的误差分析与应用
1
作者
莫卫东
《空军工程大学学报(自然科学版)》
CSCD
2003年第2期91-94,共4页
根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的...
根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的大小对精度的影响进行了研究。
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关键词
光学平面检测
数字化干涉波面
Zernike多项式拟合
误差分析
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职称材料
题名
激光数字平面检测系统的误差分析与应用
1
作者
莫卫东
机构
空军工程大学工程学院
出处
《空军工程大学学报(自然科学版)》
CSCD
2003年第2期91-94,共4页
文摘
根据对实际光学平面玻璃表面误差检测结果的分析,深入地研究了激光数字平面检测系统中的理论误差与系统误差,提供了如何根据拟合干涉波面的Zernike多项式的系数对被测表面误差类型的判别方法,并对干涉条纹数量和拟合Zernike多项式阶的大小对精度的影响进行了研究。
关键词
光学平面检测
数字化干涉波面
Zernike多项式拟合
误差分析
Keywords
optical plane inspecting
quatizing interference wave surface
Zernike polynomials fitting
error analysis
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
发文年
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1
激光数字平面检测系统的误差分析与应用
莫卫东
《空军工程大学学报(自然科学版)》
CSCD
2003
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