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定量检验光学元件面形的数字刀口仪技术研究 被引量:2
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作者 王小鹏 朱日宏 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期69-72,共4页
在传统刀口仪的基础上,提出一种数字化刀口仪,利用该刀口仪可实现球面光学元件表面面形的定量检验。介绍数字刀口仪的组成、工作原理及测试过程等,并利用该刀口仪对一个半径为1000mm,口径为160mm的球面光学元件的面形进行了实际测量,给... 在传统刀口仪的基础上,提出一种数字化刀口仪,利用该刀口仪可实现球面光学元件表面面形的定量检验。介绍数字刀口仪的组成、工作原理及测试过程等,并利用该刀口仪对一个半径为1000mm,口径为160mm的球面光学元件的面形进行了实际测量,给出了光学元件均方根值和峰谷值测量结果,最后对测量结果进行了讨论。 展开更多
关键词 刀口检验 面形误差 数字刀口仪 图像处理 波像差
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