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移相式数字光学轮廓仪的研制: 1; 作者于瀛洁陈明仪韦春龙《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z2期145-146,共2页; 相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法。本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的 6 JA型干涉显微镜结合起来 ,研制成功了移相式数字光学轮廓仪 ,其测量范围 0 .5 nm～ 1um,精度达到了 σ<0 .0... 展开更多; 关键词移相干涉技术干涉显微镜数字光学轮廓仪; 在线阅读下载PDF 职称材料

数字光学轮廓仪中相位去包裹算法研究被引量：4: 2; 作者曹原韦春龙 +1 位作者程维明陈明仪《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1999年第5期100-105,共6页; 相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中，用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性，而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究，... 展开更多; 关键词数字光学轮廓仪相位去包裹最小二乘算法; 在线阅读下载PDF 职称材料

非光学量测试与设备: 3; 《中国光学》 EI CAS 2000年第3期90-94,共5页; TB92 2000032101三维曲面的光学非接触测量技术=Optical noncontactmeasurement technology for 3-D surface[刊,中]/杜颖,李真,张国雄(天津大学精密仪器与光电子工程学院.天津(300072))//光学精密工程.- 1999,7(3).—1-6对三维曲面的... 展开更多; 关键词精密工程三维曲面测量方法光学非接触测量测量精度精密仪器仪器仪表数字光学轮廓仪误差分析测试; 在线阅读下载PDF 职称材料