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散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试被引量：1: 1; 作者陈楠王玥 +1 位作者刘涛夏洋《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期195-203,共9页; 基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和... 展开更多; 关键词散射式扫描近场光学显微镜扫描探针技术近场光学衍射极限超分辨; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型被引量：5: 2; 作者陈楠王玥 +2 位作者王博雨夏洋刘涛《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期1125-1130,共6页; 傅里叶红外光谱(FTIR)是材料表征的一种重要手段,然而受限于光的衍射极限,传统傅里叶红外光谱仪的极限空间分辨率在微米量级,无法应用于纳米材料的表征。纳米傅里叶红外光谱(Nano-FTIR)是一种新兴的超分辨光谱表面分析技术,其以纳米级... 展开更多; 关键词纳米傅里叶红外光谱散射式扫描探针显微镜 COMSOL 有限元仿真数值模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

大气状态下SPM纳米加工系统的开发: 3; 作者郭彤胡晓东胡小唐《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-23,共2页; 对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 3... 展开更多; 关键词扫描探针显微镜纳米加工矢量式环境控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

LaAlO_3/SrTiO_3界面导电性的近场成像（英文）: 4; 作者成龙王冬利 +4 位作者戴思远严跃冬范晓东魏来明曾长淦《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期534-537,共4页; 铝酸镧/钛酸锶(LaALO_3/SrTiO_3)异质界面被发现具有二维导电性并呈现出其他一些有趣的呈展现象.而此前,LaAlO_3/SrTiO_3异质界面的导电性主要都是通过电学方法进行表征.这里作者首次提出利用散射式扫描近场光学显微镜(s-SNOM)对LaAlO_3... 展开更多; 关键词过渡金属氧化物异质界面铝酸镧/钛酸锶界面导电性散射式扫描近场光学显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试被引量：1: 1; 作者陈楠王玥刘涛夏洋; 机构中国科学院微电子研究所中国科学院大学北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心集成电路测试技术北京市重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期195-203,共9页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制专项(No.61427901) 国家重点研发计划(No.2018YFA0704804) 中国科学院科研装备研制项目(No.YJKYYQ20180033)。; 文摘基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。; 关键词散射式扫描近场光学显微镜扫描探针技术近场光学衍射极限超分辨; Keywords Scattering-type scanning near field optical microscopy Scanning probe microscope Near field optics Diffraction limit Super-resolution; 分类号 O436.2 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型被引量：5: 2; 作者陈楠王玥王博雨夏洋刘涛; 机构中国科学院微电子研究所中国科学院大学北京交通大学理学院北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期1125-1130,共6页; 基金国家自然科学基金国家重大科研仪器研制专项(61427901) 中国科学院科研装备研制项目(YJKYYQ20180033)资助。; 文摘傅里叶红外光谱(FTIR)是材料表征的一种重要手段,然而受限于光的衍射极限,传统傅里叶红外光谱仪的极限空间分辨率在微米量级,无法应用于纳米材料的表征。纳米傅里叶红外光谱(Nano-FTIR)是一种新兴的超分辨光谱表面分析技术,其以纳米级空间分辨率、宽光谱范围和高化学灵敏性的特点在纳米材料表征研究中展现了巨大的潜力。定性及定量的研究Nano-FTIR信号高空间分辨的来源和系统中光谱信号的提取过程,可以为Nano-FTIR仪器的设计研发和样品光谱表征结果的解释提供重要依据。该研究从典型的仪器结构和基本的工作原理出发,在多物理场有限元分析软件COMSOL中建立了等效研究模型,并对模型的重要细节和数值计算过程分别进行了说明。在仿真研究中,首先基于麦克斯韦电磁波理论计算了模型空间的电磁场增强情况,再模拟了探针在介电常数差异巨大的两种材料交界处的“线扫”过程,探讨了针尖近场增强信号的空间分辨率。随后,以探针与样品的散射功率为数值模型的研究对象,仿真了探针“轻拍”对信号的调制和解调提取的过程,并讨论了不同入射倾角和解调频率对光谱信号提取的影响。最后,为了验证模型的合理性,仿真了20,100和300 nm三种厚度SiO 2薄膜样品在900~1250 cm^(-1)波数范围的光谱响应,并将仿真得到的光谱与实测结果进行了对比。结果表明随着样品厚度的增厚,光谱信号得到相应的增强,模型预测的谱图与实测谱图波形与波峰位置较为一致,且与以往一些文献中采用针尖-样品间电场强度表示针尖处散射信号强弱的方法相比,获得的谱图在峰形上更为接近。提出的数值模型可用于Nano-FTIR光谱的预测,此外,模型也具有一定的通用性,可以为其他基于散射型近场光学显微(s-SNOM)技术的太赫兹光谱技术和针尖增强拉曼光谱研究提供一定的借鉴。; 关键词纳米傅里叶红外光谱散射式扫描探针显微镜 COMSOL 有限元仿真数值模型; Keywords Nano-FTIR s-SNOM COMSOL Finite element simulation Numerical model; 分类号 O433.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名大气状态下SPM纳米加工系统的开发: 3; 作者郭彤胡晓东胡小唐; 机构天津大学天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期22-23,共2页; 基金教育部重点科技项目 (990 2 2 ); 文摘对现有的商业化 SPM进行了一些必要的改造 ,使其适合于扫描探针加工的要求。讨论了在 DI公司多功能 SPM基础上开发纳米加工系统的可能性 ,并提供了一套完整的信号施加、过程监测和环境控制的方法 ,实现了矢量式的纳米氧化加工 ,得到了 30 nm宽的氧化结构。; 关键词扫描探针显微镜纳米加工矢量式环境控制; Keywords scanning probe microscope (SPM) nanofabricaion vector environment control; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名LaAlO_3/SrTiO_3界面导电性的近场成像（英文）: 4; 作者成龙王冬利戴思远严跃冬范晓东魏来明曾长淦; 机构中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家实验室中国科学技术大学物理系中科院强耦合量子材料物理重点实验室美国加州大学圣迭戈分校物理系; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期534-537,共4页; 基金 Supported by National Basic Research Program of China(2014CB 921102) National Natural Science Foundation of China(11434009,11374279,11461161009) +1 种基金 the Fundamental Research Funds for the Central Universities(WK2030020027); 文摘铝酸镧/钛酸锶(LaALO_3/SrTiO_3)异质界面被发现具有二维导电性并呈现出其他一些有趣的呈展现象.而此前,LaAlO_3/SrTiO_3异质界面的导电性主要都是通过电学方法进行表征.这里作者首次提出利用散射式扫描近场光学显微镜(s-SNOM)对LaAlO_3/SrTiO_3界面的导电性进行空间成像,这为研究过渡金属氧化物异质界面体系的物理现象提供了一个新的手段.; 关键词过渡金属氧化物异质界面铝酸镧/钛酸锶界面导电性散射式扫描近场光学显微镜; Keywords transition metal oxide heterointerface, LaAlO3/SrTi03, interfacial conductivity, s-SNOM; 分类号 O484.1 [理学—固体物理] O484.41 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试	陈楠王玥刘涛夏洋	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型	陈楠王玥王博雨夏洋刘涛	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2021	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	大气状态下SPM纳米加工系统的开发	郭彤胡晓东胡小唐	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	LaAlO_3/SrTiO_3界面导电性的近场成像（英文）	成龙王冬利戴思远严跃冬范晓东魏来明曾长淦	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2017	0	在线阅读下载PDF 职称材料