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硅电容微差压敏感器件封装工艺研究 被引量：4
1
作者 李颖 张治国 +3 位作者 张娜 刘剑 周磊 张哲 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2013年第12期138-140,共3页
文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发,介绍硅电容微差压敏感器件的封装工艺技术。文中给出了该器件的工作原理及结构特点,从封装的角度论述了固定极板的加工技术,并结合该器件的结构特点,讨论了适于小间隙、微结构芯片封装的等电位静... 文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发,介绍硅电容微差压敏感器件的封装工艺技术。文中给出了该器件的工作原理及结构特点,从封装的角度论述了固定极板的加工技术,并结合该器件的结构特点,讨论了适于小间隙、微结构芯片封装的等电位静电封接、双面同时静电封接等关键技术。该工艺技术已成功应用于硅电容微差压传感器的研制,效果良好,在结构型力敏器件的研制领域具有很好的推广应用价值。 展开更多
关键词 硅电容 微差压 敏感器件 封装工艺
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光电位置敏感器件的非线性分析及应用 被引量：6
2
作者 李田泽 王生德 +1 位作者 卢恒炜 王雅静 《应用光学》 CAS CSCD 2006年第5期400-404,共5页
阐述光电位置敏感器件(PSD)的结构、特性和工作原理,并根据PSD的原理和特性分析其产生非线性的几种主要因素。导出PSD的输出信号与光强无关的位置方程。设计出一种低温漂高精度的PSD非线性硬件调制电路。分析了插值算法、神经网络优化... 阐述光电位置敏感器件(PSD)的结构、特性和工作原理,并根据PSD的原理和特性分析其产生非线性的几种主要因素。导出PSD的输出信号与光强无关的位置方程。设计出一种低温漂高精度的PSD非线性硬件调制电路。分析了插值算法、神经网络优化法以及解析法等对PSD的非线性进行修正的有效性,并对给出的部分实验数据进行了分析。最后对PSD在光学三角法测量、自动检测以及高精度测量中的应用作了进一步的讨论与展望。 展开更多
关键词 横向光电效应 光电位置敏感器件 非线性修正 三角测量
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空间光通信中位置敏感器件(PSD)的性能分析 被引量：5
3
作者 邓兴成 孙新德 李贤 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期510-515,共6页
研究了使用ＰＳＤ的空间光通信粗跟瞄系统对光束的位置分辨率。通过理论计算和实验得知，当入射在ＰＳＤ光敏面上的信标光功率约为２８μＷ时，粗跟瞄系统的位置分辨率约为１２６μｍ。同时，通过计算机模拟，对ＰＳＤ的线性度进行... 研究了使用ＰＳＤ的空间光通信粗跟瞄系统对光束的位置分辨率。通过理论计算和实验得知，当入射在ＰＳＤ光敏面上的信标光功率约为２８μＷ时，粗跟瞄系统的位置分辨率约为１２６μｍ。同时，通过计算机模拟，对ＰＳＤ的线性度进行了理论值和实验值的对比。 展开更多
关键词 自由空间光通信 位置敏感器件 位置分辨率
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石英微机械陀螺敏感器件的可靠性分析 被引量：1
4
作者 林日乐 赵建华 +4 位作者 林珂 满欣 李文蕴 周倩 翁邦英 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第4期511-513,共3页
石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了... 石英微机械陀螺敏感器件通常采用一体式音叉结构,具有较高的可靠性,但由于在敏感芯片中设计了挠性结构,挠性结构的参数及加工质量是影响器件可靠性的关键因素。分析了敏感芯片挠性结构在外力作用下的应力分布及结构缺陷对其影响,分析了其失效模式。试验结果验证了分析的准确性,分析结果可作为改进敏感器件可靠性的依据。 展开更多
关键词 石英 微机械 陀螺 敏感器件 可靠性
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极板放在同一平面上的电容敏感器件的研制 被引量：2
5
作者 贺庆之 贺静 杨绍伟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第5期9-12,共4页
文中阐述了电容极板放置在同一平面内的特殊电容敏感器件的工作原理、等效电路、应用测试 ;等效电路用拉氏运算子阻抗Zx(S)分析法 ,容抗频率 (Cx/ fx)变换电路的动作原理 ;及简易高性能配套单片机数据处理与数码显示电路 ;最后给出敏感... 文中阐述了电容极板放置在同一平面内的特殊电容敏感器件的工作原理、等效电路、应用测试 ;等效电路用拉氏运算子阻抗Zx(S)分析法 ,容抗频率 (Cx/ fx)变换电路的动作原理 ;及简易高性能配套单片机数据处理与数码显示电路 ;最后给出敏感器件在多方面的应用分析与检测时的注意事项。 展开更多
关键词 同一平面电容敏感器件 运算子阻抗 频数变换
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电场对丙酮离子敏感器件输出影响的实验研究
6
作者 童敏明 许姗 +1 位作者 刘涛 刘晓文 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第9期109-110,共2页
通过实验分析了电场作用对丙酮离子敏感器件的输出影响。实验证明,一定的电场作用可以加快丙酮的分解和电离,使离子敏感器件的输出提高,响应速度加快。然而,电场对水的电离会影响离子敏感器件的输出,实验证明通过信号处理可以消除水电... 通过实验分析了电场作用对丙酮离子敏感器件的输出影响。实验证明,一定的电场作用可以加快丙酮的分解和电离,使离子敏感器件的输出提高,响应速度加快。然而,电场对水的电离会影响离子敏感器件的输出,实验证明通过信号处理可以消除水电离的影响,实现对丙酮浓度的检测。 展开更多
关键词 丙酮 检测 电场 离子敏感器件
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二维数字阵列光电位置敏感器件新式结构研究
7
作者 李田泽 王生德 +1 位作者 申晋 王淑云 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期46-49,共4页
简要阐述光电位置敏感器件的特点、工作原理,根据光电位置敏感器件的原理和光电位置方程,分析了背景光与测量精度的关系。在此基础上,利用低峰探测仪的双极性三极管将像素M(i,j)的行与列位线联系起来,用来检测最大光强度的像素,显示出... 简要阐述光电位置敏感器件的特点、工作原理,根据光电位置敏感器件的原理和光电位置方程,分析了背景光与测量精度的关系。在此基础上,利用低峰探测仪的双极性三极管将像素M(i,j)的行与列位线联系起来,用来检测最大光强度的像素,显示出最低输出电压,使位线与其输出电压相对应;采用分布图像的峰值检波器来模拟预处理光电信号,通过数字转换得到图像的重心位置;采用集中平行的模拟计算估算射到感光区的光分布的重心,并通过时钟比较器得到数字化图像。给出了检测位置的二维光电传感器阵列、显示与图像数量的平方根成正比功耗关系式以及几个重要结论。 展开更多
关键词 光电位置敏感器件 峰值检波器 二维光传感器阵列 数字化图像
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一种新型的涂丝钙离子场效应敏感器件
8
作者 付庭治 黄德培 +7 位作者 朱春生 欧惠春 陆筱旖 胡进 周家蓉 金杰 王金华 张国英 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS 1986年第10期923-925,共3页
从1970年以来,不少学者对场效应敏感器件(简称ISFET)做了研究,本文作者利用二-(二异辛基苯基磷酸)钙为电活性物质研制成Ca^(2+)-ISFET,并测定了器件的各项性能参数。
关键词 敏感器件 场效应 ISFET 电活性物质 钙离子 性能参数 CA^(2+) 异辛基
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低场磁敏感器件及石油流量计
9
作者 张涛 李念福 +2 位作者 龚依民 栾晨 刘雅杰 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 2000年第1期77-79,共3页
介绍低场磁敏感测量器件的工作原理和制作工艺及其在油田工业中的应用
关键词 磁敏感器件 石油流量计 非晶态合金 工作原理
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提高敏感器件性能的措施
10
作者 刘显战 张书刚 +1 位作者 张巧云 钟青 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1994年第3期27-30,共4页
本文从影响敏感器件性能的主要弱点着手，采取扩大和加深振梁节点孔径的设计方案。实验结果表明采用此方案研制的敏感器件，其读出、阻尼面的增益和Ｑ值有明显提高。
关键词 敏感器件 角速率传感器 性能
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非晶硅敏感器件研究进展
11
作者 田敬民 《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第4期58-63,共6页
非晶半导体材料由于制备工艺较简单,成本低且具有不同于晶态半导体的特殊的电学和光学性质,已成为发展半导体敏感器件一个新的动向.作为一种新型的电子材料,由硅烷辉光放电制备的氢化非晶硅(a-Si:H)膜是非晶半导体的典型代表.这是因为α... 非晶半导体材料由于制备工艺较简单,成本低且具有不同于晶态半导体的特殊的电学和光学性质,已成为发展半导体敏感器件一个新的动向.作为一种新型的电子材料,由硅烷辉光放电制备的氢化非晶硅(a-Si:H)膜是非晶半导体的典型代表.这是因为α-Si:H膜通过掺杂能够形成PN结,即能够实现价电子的控制.因此。 展开更多
关键词 敏感器件 非晶硅 研究
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面向位置敏感器件的反馈堆叠信号滤波 被引量：6
12
作者 崔昊 郭锐 +2 位作者 李兴强 冯克建 张飞飞 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期1568-1576,共9页
为解决位置敏感器件(PSD)提取光斑位置信息的不准确性,克服元器件、信号处理电路等带来的随机噪声干扰,本文提出了一种基于极限学习机(ELM)的反馈堆叠模型(FsELM)。该模型使用ELM作为基本训练块,以单层预测结果与目标真值的偏差作为依... 为解决位置敏感器件(PSD)提取光斑位置信息的不准确性,克服元器件、信号处理电路等带来的随机噪声干扰,本文提出了一种基于极限学习机(ELM)的反馈堆叠模型(FsELM)。该模型使用ELM作为基本训练块,以单层预测结果与目标真值的偏差作为依据对输入数据进行更新,并进行循环训练,形成反馈堆叠的结构,从而实现PSD信号有效信息的深度提取。同时设计进行了基于一维PSD的激光三角位移检测实验验证算法的性能,比较了传统滤波算法、经典学习算法、ELM及其变体和本文提出的FsELM方法对数据的处理效果。实验结果表明FsELM预测精度明显优于其他处理方法,预测结果均方误差可达1.4×10-5,预测精度为0.78%;除ELM等单次训练结构外,FsELM模型的运算速度比其他处理方法更快。该结果证明了FsELM在应对随机噪声干扰的优异性能,以及不确定环境下突出的预测能力。 展开更多
关键词 位置敏感器件 极限学习机 数字信号 滤波算法 激光三角法
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内置敏感器件的结构参数对偏心罩EFP成型的影响 被引量：2
13
作者 骆建华 张根生 +3 位作者 薄学纲 刘荣忠 郭锐 邢柏阳 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期207-212,I0006,共7页
为提高爆炸成型弹丸(EFP)的侵彻能力,采用AUTUDYN数值计算软件研究了内置敏感器件结构参数对EFP成型的影响规律,并通过典型末敏弹EFP战斗部侵彻靶板试验对计算模型的可靠性进行了验证。结果表明,敏感器件高度由0.15倍装药高度增加到0.5... 为提高爆炸成型弹丸(EFP)的侵彻能力,采用AUTUDYN数值计算软件研究了内置敏感器件结构参数对EFP成型的影响规律,并通过典型末敏弹EFP战斗部侵彻靶板试验对计算模型的可靠性进行了验证。结果表明,敏感器件高度由0.15倍装药高度增加到0.50倍时,成型EFP速度增加1.29%,长径比减小30.9%;敏感器件直径由0.3倍装药直径增加到0.8倍装药直径时,成型EFP速度减小5.14%,长径比减小17.5%;随着敏感器件距起爆点距离由0.1倍装药高度增加到0.55倍时,成型后EFP的速度与长径比先减小后增加,且低值都出现在0.35倍装药高度处;对于阶梯形敏感器件,敏感器件直径比由0.4增加到1.0时,EFP速度减小3.2%,长径比增加39.1%;敏感器件高度比由0.4增加到1.0时,EFP速度减小4.2%,长径比增加38.4%。 展开更多
关键词 爆炸力学 爆炸成型弹丸EFP 内置敏感器件 偏心罩 数值计算 末敏弹
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多功能复合敏感器件的物理特性分析 被引量：1
14
作者 林建斌 《传感器技术》 CSCD 2000年第4期11-13,16,共4页
叙述多功能敏感器件内在结构的基本特性。并指出利用复合化、薄膜化和集成化等工艺设施 ,可开发多功能敏感材料 ,其潜在的资源丰富 ,可拓宽其应用范围。前景美好。
关键词 敏感器件 敏感材料 物理特性
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基于位置敏感器件的液位检测系统及其数据处理 被引量：4
15
作者 高永强 弓海霞 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第9期63-66,73,共5页
精确测量光固化成型设备中光敏树脂的液面位置是确保成型精度的关键,根据激光三角法原理设计基于PSD的液位检测系统,采用点激光和一维位置敏感器件组成液位检测系统。通过测量点激光在PSD上的位移量来获取液面位置的变化量,在分析PSD误... 精确测量光固化成型设备中光敏树脂的液面位置是确保成型精度的关键,根据激光三角法原理设计基于PSD的液位检测系统,采用点激光和一维位置敏感器件组成液位检测系统。通过测量点激光在PSD上的位移量来获取液面位置的变化量,在分析PSD误差特点基础上,通过优化结构设计、信号采集、检测系统标定和实时数据处理4个方面来提高检测精度。实际测试表明:液位检测系统量程中间位置的误差小于0.27%,两边误差小于0.4%,可满足系统测量精度要求。 展开更多
关键词 光固化 位置敏感器件 液位检测 积分放大器 分段滤波
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化工行业用敏感器件市场分析
16
作者 黄刚 唐敏 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1994年第5期46-46,共1页
化工行业专业繁多,据对一些石化厂、化肥厂、有机合成厂、染料厂、炼油厂等单位的调查,所用传感器有数十种,11类敏感元器件被使都用。其中用量最大的是力敏、热敏、磁敏和气敏四类。 石化厂所用的压力传感器主要有衡器、管道压力、流量... 化工行业专业繁多,据对一些石化厂、化肥厂、有机合成厂、染料厂、炼油厂等单位的调查,所用传感器有数十种,11类敏感元器件被使都用。其中用量最大的是力敏、热敏、磁敏和气敏四类。 石化厂所用的压力传感器主要有衡器、管道压力、流量、液压、压差等,对传感器精度之要求一般为0.01％。 展开更多
关键词 化工 敏感器件 市场 分析
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辐射敏感器件辐射设计裕量指标的计算
17
作者 刘燕芳 《核电子学与探测技术》 CAS 北大核心 2015年第10期1048-1050,1056,共4页
为了降低辐射对操作设备所产生的危害,在寿命周期内满足规定的连续性和可用性等可靠性指标要求。综合考虑设备所处位置的辐射特性,建立了总剂量效应敏感器件和位移损伤效应敏感器件RDM的一种计算方法。建设性地提出了辐射敏感器件施加不... 为了降低辐射对操作设备所产生的危害,在寿命周期内满足规定的连续性和可用性等可靠性指标要求。综合考虑设备所处位置的辐射特性,建立了总剂量效应敏感器件和位移损伤效应敏感器件RDM的一种计算方法。建设性地提出了辐射敏感器件施加不同RDM值所对应的风险等级,为在辐射环境下操作设备的设计工作寿命提供了保证。 展开更多
关键词 辐射敏感器件 辐射设计裕量 风险控制 总剂量效应 位移损伤效应 风险等级
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半导体敏感器件及其应用
18
作者 陈国强 《山东矿业学院学报》 CAS 1989年第4期71-77,共7页
本文系统介绍了半导体敏感器件的分类和在各个领域中的实际应用以及发展趋势。
关键词 半导体 敏感器件
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PVC膜铬(Ⅵ)离子敏感半导体器件的研究 被引量：1
19
作者 方培生 黄强 丰达明 《应用科学学报》 CAS CSCD 1990年第3期271-274,共4页
铬离子敏感半导体器件,简称为Cr^(6+)—ISFET.这种器件是以离子缔合物为活性物质,由于这种材料种类很多,容易制造,并可利用三元络合物来测定高价金属离子,测量一些有机离子,包括表面活性剂,药物、生物碱、浮选药剂和糖精等,这就为离子... 铬离子敏感半导体器件,简称为Cr^(6+)—ISFET.这种器件是以离子缔合物为活性物质,由于这种材料种类很多,容易制造,并可利用三元络合物来测定高价金属离子,测量一些有机离子,包括表面活性剂,药物、生物碱、浮选药剂和糖精等,这就为离子敏感半导体器件开辟了一个新的应用领域. 展开更多
关键词 敏感器件 半导体 铬离子 PVD膜
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末制导炮弹目标敏感技术及器件分析
20
作者 仲伟君 《现代电子技术》 2004年第14期11-14,共4页
根据末制导炮弹目标敏感技术和器件的发展历程及趋势 ,具体分析了激光制导、红外制导、毫米波制导、双模及多模导引的技术本质、所用器件及发展方向 。
关键词 末制导炮弹 目标探测 敏感器件 激光
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