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基体放置状态与脉冲偏压幅值对大颗粒形貌和分布的影响 被引量:4
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作者 魏永强 魏永辉 +1 位作者 蒋志强 田修波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1012-1018,共7页
利用电弧离子镀方法制备了TiN薄膜,研究了脉冲偏压幅值和试样放置状态对Ti大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌,利用Image J科学图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在不施加脉冲偏压... 利用电弧离子镀方法制备了TiN薄膜,研究了脉冲偏压幅值和试样放置状态对Ti大颗粒形貌和分布规律的影响。采用扫描电子显微镜观察了薄膜的表面形貌,利用Image J科学图像软件对Ti大颗粒的数目和尺寸进行了分析。结果表明:在不施加脉冲偏压时,随着试样表面与靶表面放置方向从平行到垂直,大颗粒数目迅速由4964降低到3032,所占薄膜的面积比从12.1%减少到4.7%;而在相同的放置方向下,发现静止状态下的薄膜表面大颗粒数目较少,尺寸也较小,而转动状态下大颗粒形貌差别较大,尺寸和所占的面积比较大。随着脉冲偏压幅值的增加,在各个放置状态下大颗粒都出现了先减小后增加的趋势,当幅值在-400 V时,薄膜表面大颗粒所占的面积比都达到最小值。 展开更多
关键词 电弧离子镀 TIN 大颗粒 脉冲偏压幅值 放置状态
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放置状态及变参数对热声不稳定工作特性分析
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作者 刘浩哲 严红 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第3期694-701,共8页
为了进一步研究热声振荡机理影响因素,针对以恒温板叠为热源的四分之三波长Rijke管模型,通过对比3种不同放置态对Rijke管内热声不稳定特性的影响,采用CFD方法对管内的热声振荡进行了从起振到饱和状态全过程的数值模拟,并对加入温度对动... 为了进一步研究热声振荡机理影响因素,针对以恒温板叠为热源的四分之三波长Rijke管模型,通过对比3种不同放置态对Rijke管内热声不稳定特性的影响,采用CFD方法对管内的热声振荡进行了从起振到饱和状态全过程的数值模拟,并对加入温度对动力黏性系数和导热系数的变参数影响进行对比考察。结果表明,重力比热浮力所导致的热声振荡影响大,且无重力时压力过渡段的凸起现象与温度梯度所导致的饱和后减小振幅耗散来达到管内平衡现象有关。对于2种变参数综合比较发现,当黏性系数随温度变化且导热系数为定值的幅值相比两者均随温度变化倍率净缩小49.5%,这一结果远远超过黏性系数自身带来的影响。 展开更多
关键词 热声不稳定性 RIJKE管 放置状态 变参数
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