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题名PZT压电薄膜无阀微泵的制备工艺及实验研究
被引量：5
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作者
杜立群
高晓光
董维杰
吕岩
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机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
大连理工大学电信工程学院
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2008年第4期492-494,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50675025)
教育部和大连市留学回国人员科研启动基金资助项目
辽宁省博士启动基金资助项目(20051080)
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文摘
介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变。在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响。在7.5 V1、80 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05μL/min。该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求。
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关键词
PZT压电薄膜
无阀微泵
PDMS泵膜
收缩管/扩张管
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Keywords
PZT piezoelectric thin film
valveless micropump
PDMS membrane
nozzle/diffuse
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分类号
TH137.33
[机械工程—机械制造及自动化]
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