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MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析（英文）
1
作者
熊壮
杨荷
袁明权
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期114-117,共4页
环形谐振器是微机电系统(MEMS)谐振器中典型结构之一。其中,椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态,也是使用最为普遍的模态。以降低谐振器振荡时的锚损为目标,以有限元分析为技术手段,采用能量法对环形谐振器锚点的几何尺寸进行定量...
环形谐振器是微机电系统(MEMS)谐振器中典型结构之一。其中,椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态,也是使用最为普遍的模态。以降低谐振器振荡时的锚损为目标,以有限元分析为技术手段,采用能量法对环形谐振器锚点的几何尺寸进行定量分析。分析结果表明,与研究者普遍认为的观点相反,谐振器锚点振荡模态的激发并不有助于提高谐振器的Q值。
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关键词
MEMS
环形谐振器
锚损
支撑点震动模态
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职称材料
题名
MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析（英文）
1
作者
熊壮
杨荷
袁明权
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第6期114-117,共4页
基金
supported by National Natural Science Foundation of China(61404121)
文摘
环形谐振器是微机电系统(MEMS)谐振器中典型结构之一。其中,椭圆模态是环形谐振器面内振动的一阶模态,也是使用最为普遍的模态。以降低谐振器振荡时的锚损为目标,以有限元分析为技术手段,采用能量法对环形谐振器锚点的几何尺寸进行定量分析。分析结果表明,与研究者普遍认为的观点相反,谐振器锚点振荡模态的激发并不有助于提高谐振器的Q值。
关键词
MEMS
环形谐振器
锚损
支撑点震动模态
Keywords
MEMS
ring resonator
anchor loss
anchor vibration mode
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
MEMS环形谐振器椭圆模态中的锚损分析（英文）
熊壮
杨荷
袁明权
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
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