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掺硼浓度对金刚石薄膜二次电子发射特性的影响
被引量:
1
1
作者
叶勤燕
王兵
+3 位作者
甘孔银
李凯
周亮
王东
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期38-40,44,共4页
掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等领域都存在巨大的应用价值,引起人们的广泛关注。采用MPCVD法利用氢气、甲烷和硼烷的混合气体,制备出不同浓度的掺硼金刚石薄...
掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等领域都存在巨大的应用价值,引起人们的广泛关注。采用MPCVD法利用氢气、甲烷和硼烷的混合气体,制备出不同浓度的掺硼金刚石薄膜。结果表明,掺硼浓度影响金刚石薄膜的物相结构、组织形貌,进而影响其二次电子发射性能,当硼烷的流量为4mL/min时,制备的金刚石薄膜质量最好,二次电子发射系数约为90。
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关键词
掺硼金刚石薄膜二次电子发射化学气相沉积
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职称材料
掺硼金刚石薄膜二次电子发射特性的研究
被引量:
1
2
作者
王玉乾
王兵
+4 位作者
甘孔银
李凯
潘清
黎明
王延平
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期82-85,共4页
掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等方面都有着巨大的应用价值,引起人们的注意。从二次电子发射的机理以及影响二次电子发射系数的因素等方面,对如何利用MPCVD法...
掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等方面都有着巨大的应用价值,引起人们的注意。从二次电子发射的机理以及影响二次电子发射系数的因素等方面,对如何利用MPCVD法制备出高二次电子发射系数的掺硼金刚石薄膜进行了综述。论述表明通过合适的工艺条件,对薄膜表面进行适当的处理,是可以制备出高二次电子发射系数的阴极用金刚石薄膜的。
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关键词
掺
硼
金刚石
薄膜
二次电子
发射
化学
气
相
沉积
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职称材料
硼源浓度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响
被引量:
4
3
作者
熊礼威
崔晓慧
+2 位作者
汪建华
龚国华
邹伟
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期6-9,24,共5页
目的研究纳米金刚石薄膜生长掺硼的内在机理,实现对该过程的精确控制。方法采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼源,进行纳米金刚石薄膜的生长过程掺硼实验,研究硼源浓度对掺硼纳米金刚石薄膜晶粒尺寸、表面粗糙度、...
目的研究纳米金刚石薄膜生长掺硼的内在机理,实现对该过程的精确控制。方法采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼源,进行纳米金刚石薄膜的生长过程掺硼实验,研究硼源浓度对掺硼纳米金刚石薄膜晶粒尺寸、表面粗糙度、表面电阻和表面硼原子浓度的影响。结果随着硼源浓度的增加,纳米金刚石薄膜的表面粗糙度和晶粒尺寸增大,表面电阻则先下降,而后趋于平衡。结论纳米金刚石薄膜掺硼后,表面电导性能可获得改善,表面粗糙度和晶粒尺寸则会增大。在700℃条件下掺硼15 min,最佳的硼源浓度(以硼烷占总气体流量的百分比计)为0.02%。
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关键词
纳米
金刚石
薄膜
掺
硼
硼
源浓度
化学
气
相
沉积
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职称材料
硼源浓度对钛基掺硼金刚石薄膜生长的影响
被引量:
4
4
作者
王文君
汪建华
+3 位作者
王均涛
辛永磊
熊礼威
刘峰
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期58-61,共4页
利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在钛基底上制备了掺硼金刚石(BDD)薄膜。研究了硼源浓度对BDD薄膜生长的影响。分别采用扫描电子显微镜,拉曼光谱,X射线衍射技术对薄膜的表面形貌、残余应力、择优取向及TiC含量进行了分析。结果表...
利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在钛基底上制备了掺硼金刚石(BDD)薄膜。研究了硼源浓度对BDD薄膜生长的影响。分别采用扫描电子显微镜,拉曼光谱,X射线衍射技术对薄膜的表面形貌、残余应力、择优取向及TiC含量进行了分析。结果表明,硼源浓度升高对金刚石薄膜(111)织构生长有促进作用;随着掺硼浓度的增加,TiC含量和晶粒尺寸皆减小,同时薄膜的张应力增大,缓解薄膜自身在制备过程中形成的压应力,从而更大程度上提高薄膜附着力。
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关键词
硼
浓度
掺
硼
金刚石
薄膜
钛
微波等离子体
化学
气
相
沉积
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职称材料
壳聚糖修饰掺硼金刚石薄膜电极测定铜离子
被引量:
2
5
作者
多思
朱宁
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期624-627,共4页
通过热丝化学气相沉积(HFCVD)的方法,以钽(Ta)为衬底,三氧化二硼(Be2O3)为硼源,制备掺硼金刚石(BDD)薄膜。并采用共价键合法进一步制得壳聚糖修饰BDD薄膜电极。以此修饰电极为工作电极,在0.1mol/L,pH=4的磷酸氢二钠缓冲液中对Cu2+进行...
通过热丝化学气相沉积(HFCVD)的方法,以钽(Ta)为衬底,三氧化二硼(Be2O3)为硼源,制备掺硼金刚石(BDD)薄膜。并采用共价键合法进一步制得壳聚糖修饰BDD薄膜电极。以此修饰电极为工作电极,在0.1mol/L,pH=4的磷酸氢二钠缓冲液中对Cu2+进行检测。实验表明,Cu2+在4.0×10-7~1.0×10-3 mol/L浓度范围内与峰电流成良好的线性关系,相关系数为0.9916,检测限达7.0×10-8 mol/L。比较了不同富集方式对Cu2+的检测效果,并分别用未经修饰的BDD电极和经壳聚糖修饰的BDD电极对相同浓度的Cu2+进行电化学检测,发现不仅还原峰电流明显增大而且还原峰电位也发生偏移,这表明经化学修饰的BDD电极能更加灵敏、准确地测定Cu2+,同时也佐证了壳聚糖成功修饰在BDD电极上。
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关键词
热丝
化学
气
相
沉积
掺
硼
金刚石
薄膜
壳聚糖
铜离子
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职称材料
热丝化学气相沉积法制备钛基BDD电极及苯酚降解性能研究
被引量:
4
6
作者
苑奎
王婷
+1 位作者
崔锋
倪晋仁
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期96-101,共6页
目的研究硼掺杂对改善金刚石膜的电阻率的影响,制备掺硼金刚石膜。方法采用热丝化学气相沉积系统,以CH4,H2,(CH3O)3B混合气体为反应气,在钛片衬底上沉积制备掺硼金刚石膜电极。对不同生长阶段沉积出的电极进行扫描电镜、EDX光电子能谱...
目的研究硼掺杂对改善金刚石膜的电阻率的影响,制备掺硼金刚石膜。方法采用热丝化学气相沉积系统,以CH4,H2,(CH3O)3B混合气体为反应气,在钛片衬底上沉积制备掺硼金刚石膜电极。对不同生长阶段沉积出的电极进行扫描电镜、EDX光电子能谱、激光Raman光谱、X射线衍射、电化学性能表征及废水降解应用研究。结果制备出的掺硼金刚石膜呈现出均匀的(111)晶面,Raman光谱图中金刚石特征峰与硼原子特征峰峰型显著,具有较低的背景电流和更宽的电位窗口(3.5 V),对苯酚废水COD降解效果显著。结论有机污染物的吸附量与电极表面的粗糙度正相关,实验室制备的BDD/Ti电极表面粗糙度小,不利于析氢和析氧等副反应的发生,能降低直接电化学氧化作用,从而得到更宽的电势窗口。
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关键词
热丝
化学
气
相
沉积
金刚石
薄膜
掺
硼
拉曼光谱
SEM
XRD
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职称材料
题名
掺硼浓度对金刚石薄膜二次电子发射特性的影响
被引量:
1
1
作者
叶勤燕
王兵
甘孔银
李凯
周亮
王东
机构
西南科技大学四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地
中国工程物理研究院应用电子学研究所
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期38-40,44,共4页
基金
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金(10876032)
国家863计划强辐射重点实验室基金(20070202)
文摘
掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等领域都存在巨大的应用价值,引起人们的广泛关注。采用MPCVD法利用氢气、甲烷和硼烷的混合气体,制备出不同浓度的掺硼金刚石薄膜。结果表明,掺硼浓度影响金刚石薄膜的物相结构、组织形貌,进而影响其二次电子发射性能,当硼烷的流量为4mL/min时,制备的金刚石薄膜质量最好,二次电子发射系数约为90。
关键词
掺硼金刚石薄膜二次电子发射化学气相沉积
Keywords
B-doped diamond thin films, secondary electron emission, CVD
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
掺硼金刚石薄膜二次电子发射特性的研究
被引量:
1
2
作者
王玉乾
王兵
甘孔银
李凯
潘清
黎明
王延平
机构
西南科技大学材料学院
中物院应用电子学研究所
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期82-85,共4页
基金
国家自然科学基金(10876032)
国家863计划强辐射重点实验室基金(20070202)
文摘
掺硼金刚石薄膜具有负电子亲和势和良好的电子运输性能且容易制备,作为冷阴极材料在图像显示技术和真空技术等方面都有着巨大的应用价值,引起人们的注意。从二次电子发射的机理以及影响二次电子发射系数的因素等方面,对如何利用MPCVD法制备出高二次电子发射系数的掺硼金刚石薄膜进行了综述。论述表明通过合适的工艺条件,对薄膜表面进行适当的处理,是可以制备出高二次电子发射系数的阴极用金刚石薄膜的。
关键词
掺
硼
金刚石
薄膜
二次电子
发射
化学
气
相
沉积
Keywords
B-doped diamond thin films, secondary electron emission, CVD
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
硼源浓度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响
被引量:
4
3
作者
熊礼威
崔晓慧
汪建华
龚国华
邹伟
机构
武汉工程大学材料科学与工程学院
湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期6-9,24,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11175137)
湖北省教育厅科学技术研究项目(Q20121501)
武汉工程大学科学研究基金(11111051)~~
文摘
目的研究纳米金刚石薄膜生长掺硼的内在机理,实现对该过程的精确控制。方法采用微波等离子体化学气相沉积法,以氢气稀释的乙硼烷为硼源,进行纳米金刚石薄膜的生长过程掺硼实验,研究硼源浓度对掺硼纳米金刚石薄膜晶粒尺寸、表面粗糙度、表面电阻和表面硼原子浓度的影响。结果随着硼源浓度的增加,纳米金刚石薄膜的表面粗糙度和晶粒尺寸增大,表面电阻则先下降,而后趋于平衡。结论纳米金刚石薄膜掺硼后,表面电导性能可获得改善,表面粗糙度和晶粒尺寸则会增大。在700℃条件下掺硼15 min,最佳的硼源浓度(以硼烷占总气体流量的百分比计)为0.02%。
关键词
纳米
金刚石
薄膜
掺
硼
硼
源浓度
化学
气
相
沉积
Keywords
nano-crystalline diamond film
doping boron
boron concentration
chemical vapor deposition
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
硼源浓度对钛基掺硼金刚石薄膜生长的影响
被引量:
4
4
作者
王文君
汪建华
王均涛
辛永磊
熊礼威
刘峰
机构
武汉工程大学等离子体化学与新材料重点实验室
中船重工
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期58-61,共4页
文摘
利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在钛基底上制备了掺硼金刚石(BDD)薄膜。研究了硼源浓度对BDD薄膜生长的影响。分别采用扫描电子显微镜,拉曼光谱,X射线衍射技术对薄膜的表面形貌、残余应力、择优取向及TiC含量进行了分析。结果表明,硼源浓度升高对金刚石薄膜(111)织构生长有促进作用;随着掺硼浓度的增加,TiC含量和晶粒尺寸皆减小,同时薄膜的张应力增大,缓解薄膜自身在制备过程中形成的压应力,从而更大程度上提高薄膜附着力。
关键词
硼
浓度
掺
硼
金刚石
薄膜
钛
微波等离子体
化学
气
相
沉积
Keywords
boron concentration
BDD
titanium
MPCVD
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
壳聚糖修饰掺硼金刚石薄膜电极测定铜离子
被引量:
2
5
作者
多思
朱宁
机构
天津理工大学电子信息工程学院
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第4期624-627,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50972105)
天津市重大科技攻关资助项目(06YFGZGX00300)
文摘
通过热丝化学气相沉积(HFCVD)的方法,以钽(Ta)为衬底,三氧化二硼(Be2O3)为硼源,制备掺硼金刚石(BDD)薄膜。并采用共价键合法进一步制得壳聚糖修饰BDD薄膜电极。以此修饰电极为工作电极,在0.1mol/L,pH=4的磷酸氢二钠缓冲液中对Cu2+进行检测。实验表明,Cu2+在4.0×10-7~1.0×10-3 mol/L浓度范围内与峰电流成良好的线性关系,相关系数为0.9916,检测限达7.0×10-8 mol/L。比较了不同富集方式对Cu2+的检测效果,并分别用未经修饰的BDD电极和经壳聚糖修饰的BDD电极对相同浓度的Cu2+进行电化学检测,发现不仅还原峰电流明显增大而且还原峰电位也发生偏移,这表明经化学修饰的BDD电极能更加灵敏、准确地测定Cu2+,同时也佐证了壳聚糖成功修饰在BDD电极上。
关键词
热丝
化学
气
相
沉积
掺
硼
金刚石
薄膜
壳聚糖
铜离子
Keywords
HFCVD
boron-doped diamond thin-film
chitosan
copper ion
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
热丝化学气相沉积法制备钛基BDD电极及苯酚降解性能研究
被引量:
4
6
作者
苑奎
王婷
崔锋
倪晋仁
机构
北京大学深圳研究生院环境与能源学院
北京大学环境工程系
深圳盖雅环境科技有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期96-101,共6页
基金
深圳市科委项目(CXY201106290063A)~~
文摘
目的研究硼掺杂对改善金刚石膜的电阻率的影响,制备掺硼金刚石膜。方法采用热丝化学气相沉积系统,以CH4,H2,(CH3O)3B混合气体为反应气,在钛片衬底上沉积制备掺硼金刚石膜电极。对不同生长阶段沉积出的电极进行扫描电镜、EDX光电子能谱、激光Raman光谱、X射线衍射、电化学性能表征及废水降解应用研究。结果制备出的掺硼金刚石膜呈现出均匀的(111)晶面,Raman光谱图中金刚石特征峰与硼原子特征峰峰型显著,具有较低的背景电流和更宽的电位窗口(3.5 V),对苯酚废水COD降解效果显著。结论有机污染物的吸附量与电极表面的粗糙度正相关,实验室制备的BDD/Ti电极表面粗糙度小,不利于析氢和析氧等副反应的发生,能降低直接电化学氧化作用,从而得到更宽的电势窗口。
关键词
热丝
化学
气
相
沉积
金刚石
薄膜
掺
硼
拉曼光谱
SEM
XRD
Keywords
HFCVD
diamond film
boron doping
Raman spectra
SEM
XRD
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
O646 [理学—物理化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掺硼浓度对金刚石薄膜二次电子发射特性的影响
叶勤燕
王兵
甘孔银
李凯
周亮
王东
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
2
掺硼金刚石薄膜二次电子发射特性的研究
王玉乾
王兵
甘孔银
李凯
潘清
黎明
王延平
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
3
硼源浓度对纳米金刚石薄膜掺硼的影响
熊礼威
崔晓慧
汪建华
龚国华
邹伟
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
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职称材料
4
硼源浓度对钛基掺硼金刚石薄膜生长的影响
王文君
汪建华
王均涛
辛永磊
熊礼威
刘峰
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
4
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职称材料
5
壳聚糖修饰掺硼金刚石薄膜电极测定铜离子
多思
朱宁
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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职称材料
6
热丝化学气相沉积法制备钛基BDD电极及苯酚降解性能研究
苑奎
王婷
崔锋
倪晋仁
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
4
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