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掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究被引量：12: 1; 作者李合琴何晓雄 +2 位作者王淑占巫邵波赵之明《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期225-229,共5页; 本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1... 展开更多; 关键词射频磁控反应溅射掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱拉曼光谱傅里叶变换红外透射光谱扫描电子显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研究被引量：5: 2; 作者居建华夏义本 +6 位作者张伟丽王林军史为民黄志明李志锋郑国珍汤定元《应用科学学报》 CAS CSCD 2001年第2期173-177,共5页; 采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备 ,对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究 .结果表明 ,薄膜中氮含量随工艺中氮气 /甲烷流... 展开更多; 关键词掺氮类金刚石薄膜微观结构红外光学性能化学沉积非晶氮化碳富氮纳米颗粒; 在线阅读下载PDF 职称材料

掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：7: 3; 作者霍纯青边心超陈强《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期81-84,共4页; 利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱(Raman)分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜的摩擦磨损性能。结果... 展开更多; 关键词辉光放电空心阴极掺氮类金刚石薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

掺氮类金刚石薄膜的导电性能及退火特性: 4; 作者张伟丽居建华 +5 位作者夏义本范轶明王林军黄志明郑国珍汤定元《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期97-100,共4页; 对含氮的类金刚石薄膜的导电性能进行了研究,发现随着氮含量的增加,沉积薄膜的电导率增加较缓,且当氮含量达到一定值后,氮含量继续增加反而薄膜电导率有所下降．对薄膜进一步热处理,结果表明低掺氮的薄膜退火后导电性能有了较大的提高,... 展开更多; 关键词掺氮类金刚石薄膜导电性能微观结构.; 在线阅读下载PDF 职称材料

不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其性能研究被引量：4: 5; 作者周祎马胜歌 +1 位作者康光宇耿漫《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期77-80,共4页; 采用激光拉曼光谱、轮廓仪、色差仪、微纳米力学综合测试系统、摩擦磨损试验机等设备,对霍尔等离子体源辅助中频非平衡磁控溅射制备的不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其宏观性能进行了研究。结果表明,随着氩气/氮气流量比的增加,... 展开更多; 关键词掺氮类金刚石薄膜微观结构中频非平衡磁控溅射霍尔等离子体源; 在线阅读下载PDF 职称材料

低氮掺杂对含氢类金刚石结构和力学性能的影响被引量：5: 6; 作者杨满中彭继华韦宇冲《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期38-43,共6页; 为探讨低氮掺杂对含氢类金刚石组织结构和力学性能的影响.采用非平衡磁控溅射和等离子增强化学气相沉积(PECVD)复合技术,在316不锈钢和硅片上制备碳化钨过渡层和不同掺氮量的含氢类金刚石薄膜(a-C:H(N)).通过拉曼光谱、X射线衍射(XRD)、... 展开更多; 关键词掺氮类金刚石薄膜 PECVD 碳氮键 sp^3含量硬度残余应力; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究被引量：12: 1; 作者李合琴何晓雄王淑占巫邵波赵之明; 机构合肥工业大学材料科学与工程学院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期225-229,共5页; 基金安徽省自然科学基金(No.03044703) 安徽省红外与低温等离子体重点实验室资助(No.2007C002107D); 文摘本文利用射频磁控溅射法,以高纯N2、Ar混合气体为溅射气体,用高纯石墨靶在Si(100)基片上制备出掺氮的类金刚石薄膜(DLC∶N)。拉曼光谱(Raman)测试表明该薄膜仍然是类金刚石结构,对其进行拟合后得两个特征峰,分别是在1342.9 cm-1的D峰和1555.3 cm-1的G峰,ID/IG=0.45;X射线光电子能谱(XPS)表明薄膜含氮量为24%,XPS光谱的C1s和N1s的芯能级证实了薄膜中的碳氮进行了化合,形成了C-N、C=N、C≡N,说明薄膜中形成了非晶碳氮结构;傅里叶变换红外透射光谱(FTIR)也表明了薄膜中碳氮进行了化合;扫描电子显微镜(SEM)结果表明,实验所制备的薄膜表面均匀、致密、光滑,从横截面图像观察,薄膜与衬底结合紧密,薄膜的厚度大约为150 nm。; 关键词射频磁控反应溅射掺氮类金刚石薄膜 X射线光电子能谱拉曼光谱傅里叶变换红外透射光谱扫描电子显微镜; Keywords RF magnetron reaction sputtering, DLC：N thin films, X-ray photoelectron spectroscopy, Raman spec-troscopy, FTIR, Scanning electron microscopy; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研究被引量：5: 2; 作者居建华夏义本张伟丽王林军史为民黄志明李志锋郑国珍汤定元; 机构上海大学电子信息材料系中国科学院红外物理国家重点实验室; 出处《应用科学学报》 CAS CSCD 2001年第2期173-177,共5页; 文摘采用俄歇电子能谱、原子力显微镜、拉曼散射分析、傅里叶红外光谱和红外椭圆偏振光谱等设备 ,对射频等离子增强化学气相沉积法制备的掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能进行了研究 .结果表明 ,薄膜中氮含量随工艺中氮气 /甲烷流量比的增加而增加并趋于饱和 .光谱中 CH键吸收峰 (2 85 9～ 310 0 cm- 1 )逐渐消失 ,而且 CNH键(16 0 0 cm- 1 )、C≡ N键 (2 2 0 0 cm- 1 )和 NH键 (32 5 0 cm- 1 )对应的红外吸收峰强度随氮含量的增加而增加 .拉曼散射中G峰向小波数方向位移和峰值展宽的现象说明薄膜中形成了非晶的氮化碳结构 ,与原子力显微镜显示的薄膜中富氮的非晶纳米颗粒相对应 .偏振光谱分析认为 ,富氮纳米颗粒的存在导致了薄膜在红外波段折射率由 1.8降低到 1.; 关键词掺氮类金刚石薄膜微观结构红外光学性能化学沉积非晶氮化碳富氮纳米颗粒; Keywords hydrogenated carbon nitride film microstructure infrared properties; 分类号 O484.41 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：7: 3; 作者霍纯青边心超陈强; 机构北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期81-84,共4页; 文摘利用空心阴极放电在玻璃基底表面沉积掺氮类金刚石(DLC)薄膜。拉曼光谱(Raman)分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石结构。扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌和粗糙度;利用摩擦磨损仪测量膜的摩擦磨损性能。结果表明,氮的掺入使得薄膜中颗粒致密平整,改变了薄膜的表面微观形貌,进而改善了薄膜的摩擦磨损性能。; 关键词辉光放电空心阴极掺氮类金刚石薄膜; Keywords Glow discharge Hollow-cathode Nitrogen doped DLC films; 分类号 TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名掺氮类金刚石薄膜的导电性能及退火特性: 4; 作者张伟丽居建华夏义本范轶明王林军黄志明郑国珍汤定元; 机构上海大学材料科学与工程学院中国科学院上海技术物理研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第z1期97-100,共4页; 文摘对含氮的类金刚石薄膜的导电性能进行了研究,发现随着氮含量的增加,沉积薄膜的电导率增加较缓,且当氮含量达到一定值后,氮含量继续增加反而薄膜电导率有所下降．对薄膜进一步热处理,结果表明低掺氮的薄膜退火后导电性能有了较大的提高,而高掺氮的薄膜退火后电导率有所下降．文章通过分析退火前后薄膜的红外光谱,提出了充当施主杂质中心氮原子“激活”的概念和高掺杂后薄膜中氮原子形成ａ－ＣＮｘ结构从而从微观结构解释了掺氮对类金刚石薄膜导电性电能的影响．; 关键词掺氮类金刚石薄膜导电性能微观结构.; Keywords nitride DLC films, electrical properties, microstructurc.; 分类号 TN3 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其性能研究被引量：4: 5; 作者周祎马胜歌康光宇耿漫; 机构深圳八六三计划材料表面技术研发中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第S1期77-80,共4页; 文摘采用激光拉曼光谱、轮廓仪、色差仪、微纳米力学综合测试系统、摩擦磨损试验机等设备,对霍尔等离子体源辅助中频非平衡磁控溅射制备的不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其宏观性能进行了研究。结果表明,随着氩气/氮气流量比的增加,薄膜中的sp^3含量出现极大值,极大值两侧对应着不同的微观机制。同时,薄膜的沉积速率逐渐降低,硬度与弹性模量呈现出先增大后减小。薄膜的颜色主要是黑色并随着氮气含量的增加薄膜反射率在红光波段增强。; 关键词掺氮类金刚石薄膜微观结构中频非平衡磁控溅射霍尔等离子体源; Keywords N-doped DLC film Microstructure Middle frequency unbalanced magnetron sputtering Hall plasma source; 分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名低氮掺杂对含氢类金刚石结构和力学性能的影响被引量：5: 6; 作者杨满中彭继华韦宇冲; 机构华南理工大学材料科学与工程学院; 出处《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期38-43,共6页; 基金广州市科技项目(No.201807010091) 广东省省级科技计划项目(No.2015B090923006); 文摘为探讨低氮掺杂对含氢类金刚石组织结构和力学性能的影响.采用非平衡磁控溅射和等离子增强化学气相沉积(PECVD)复合技术,在316不锈钢和硅片上制备碳化钨过渡层和不同掺氮量的含氢类金刚石薄膜(a-C:H(N)).通过拉曼光谱、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)和扫描电镜(SEM)对薄膜组织结构进行表征,薄膜的硬度和残余应力采用微纳米力学综合测量系统和薄膜应力测量仪进行表征.结果表明随着氮掺杂,薄膜形成碳氮键(CN)且其主要以C=N键形式存在,C=N/CN的比值随着薄膜氮含量增加逐渐下降.同时当掺氮量从0增至0.12 at%时,薄膜I_D/I_G比值迅速下降,sp^2C=C/sp^3C-C比值由0.65降至0.563,而薄膜硬度基本不变,约为20.4 GPa,残余应力则由3.35 Gpa降至1.31 GPa;随着掺氮量进一步增加,sp^2C=C/sp^3C-C比值增加,薄膜硬度迅速下降,残余应力则缓慢降低.可知氮的掺杂对DLC薄膜结构的影响有临界值0.12 at%,当掺氮量低于该值时,氮掺杂促进sp^3杂化的形成,薄膜具有较高的sp^3杂化含量.而随着薄膜含氮量进一步增加,sp^3杂化含量下降.同时当低氮掺杂时,可获得具有较高硬度以及较低残余应力的薄膜.; 关键词掺氮类金刚石薄膜 PECVD 碳氮键 sp^3含量硬度残余应力; Keywords nitrogen-doped diamond-like carbon films PECVD carbon-nitrogen bond(CN) sp^3 content hardness residual stress; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究	李合琴何晓雄王淑占巫邵波赵之明	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	12	在线阅读下载PDF 职称材料
2	掺氮类金刚石薄膜的微观结构和红外光学性能研究	居建华夏义本张伟丽王林军史为民黄志明李志锋郑国珍汤定元	《应用科学学报》 CAS CSCD	2001	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	掺氮类金刚石薄膜的制备与性能研究	霍纯青边心超陈强	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	掺氮类金刚石薄膜的导电性能及退火特性	张伟丽居建华夏义本范轶明王林军黄志明郑国珍汤定元	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2002	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	不同掺氮量的类金刚石薄膜的微观结构及其性能研究	周祎马胜歌康光宇耿漫	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	低氮掺杂对含氢类金刚石结构和力学性能的影响	杨满中彭继华韦宇冲	《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	5	在线阅读下载PDF 职称材料