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O_2/(O_2+Ar)流量比对ZnO-0.25mol% V_2O_5薄膜缺陷类型的影响
1
作者
张俊峰
吴隽
+3 位作者
龙晓阳
祝柏林
李涛涛
姚亚刚
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期651-656,661,共7页
利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积ZnO-0.25mol%V_2O_5(ZnO∶V)薄膜,研究了O_2/(O_2+Ar)流量比(0%~87.5%)对ZnO∶V薄膜中缺陷的影响。研究结果表明:沉积的ZnO∶V薄膜为具有c轴取向的纤锌矿结构,V以五价和四价形式共存其中。ZnO∶V...
利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积ZnO-0.25mol%V_2O_5(ZnO∶V)薄膜,研究了O_2/(O_2+Ar)流量比(0%~87.5%)对ZnO∶V薄膜中缺陷的影响。研究结果表明:沉积的ZnO∶V薄膜为具有c轴取向的纤锌矿结构,V以五价和四价形式共存其中。ZnO∶V薄膜中的缺陷态为氧空位(V_O)和间隙锌(Zn_i)杂化形成的复合体,两者比例随O_2/(O_2+Ar)流量比而变化。
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关键词
Zn
O∶V薄膜
射频磁控溅射
掺氧量
缺陷态
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职称材料
题名
O_2/(O_2+Ar)流量比对ZnO-0.25mol% V_2O_5薄膜缺陷类型的影响
1
作者
张俊峰
吴隽
龙晓阳
祝柏林
李涛涛
姚亚刚
机构
武汉科技大学材料与冶金学院省部共建耐火材料与冶金国家重点实验室
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所先进材料研究部
出处
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期651-656,661,共7页
基金
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所纳米器件与应用重点实验室开放课题(15QT02)
文摘
利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积ZnO-0.25mol%V_2O_5(ZnO∶V)薄膜,研究了O_2/(O_2+Ar)流量比(0%~87.5%)对ZnO∶V薄膜中缺陷的影响。研究结果表明:沉积的ZnO∶V薄膜为具有c轴取向的纤锌矿结构,V以五价和四价形式共存其中。ZnO∶V薄膜中的缺陷态为氧空位(V_O)和间隙锌(Zn_i)杂化形成的复合体,两者比例随O_2/(O_2+Ar)流量比而变化。
关键词
Zn
O∶V薄膜
射频磁控溅射
掺氧量
缺陷态
Keywords
ZnO:V thin film
RF magnetron sputtering
oxygen content
defect state
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
O_2/(O_2+Ar)流量比对ZnO-0.25mol% V_2O_5薄膜缺陷类型的影响
张俊峰
吴隽
龙晓阳
祝柏林
李涛涛
姚亚刚
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017
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