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掩膜立体成型中平行光边缘衍射问题分析
被引量：
1
1
作者
朱庆
于殿泓
《工具技术》
北大核心
2005年第6期74-76,共3页
利用Matlab对菲涅尔平行光直边衍射问题作了定量的分析,计算了幕上直边挡板边缘处的相对光强及衍射光能到达阴影处的极限坐标;详细分析了屏上的相对光强分布以及光强的走势及复色光的边缘衍射问题;利用Matlab对菲涅尔积分的处理推广了...
利用Matlab对菲涅尔平行光直边衍射问题作了定量的分析,计算了幕上直边挡板边缘处的相对光强及衍射光能到达阴影处的极限坐标;详细分析了屏上的相对光强分布以及光强的走势及复色光的边缘衍射问题;利用Matlab对菲涅尔积分的处理推广了科纽卷线的应用,而对复色光边缘衍射问题的研究则实现了衍射光在边缘处的光强的大致平均分布。
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关键词
掩膜立体成型
平行光
边缘衍射
科纽卷线
菲涅尔衍射
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职称材料
题名
掩膜立体成型中平行光边缘衍射问题分析
被引量：
1
1
作者
朱庆
于殿泓
机构
西安理工大学
出处
《工具技术》
北大核心
2005年第6期74-76,共3页
基金
西安理工大学博士启动基金资助项目
文摘
利用Matlab对菲涅尔平行光直边衍射问题作了定量的分析,计算了幕上直边挡板边缘处的相对光强及衍射光能到达阴影处的极限坐标;详细分析了屏上的相对光强分布以及光强的走势及复色光的边缘衍射问题;利用Matlab对菲涅尔积分的处理推广了科纽卷线的应用,而对复色光边缘衍射问题的研究则实现了衍射光在边缘处的光强的大致平均分布。
关键词
掩膜立体成型
平行光
边缘衍射
科纽卷线
菲涅尔衍射
Keywords
Matlab, Cornu spiral, Fresnel diffraction
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掩膜立体成型中平行光边缘衍射问题分析
朱庆
于殿泓
《工具技术》
北大核心
2005
1
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