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非接触点胶打印用ZnO-SnO_(2)复合气敏墨水的制备及气敏性能研究
1
作者
王建搏
贾明昊
+3 位作者
王兴锋
雷鸣
沈杰
金伟
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2024年第10期3878-3885,共8页
非接触点胶打印是一种新型、高精度、无模板、低成本的成膜技术,墨水的理化性质是决定打印薄膜质量的关键,对微电子器件性能有着重要影响。本文采用聚乙二醇400(PEG400)作为分散剂取代传统的高分子量分散剂,以乙二醇和丙三醇为溶剂、ZnO...
非接触点胶打印是一种新型、高精度、无模板、低成本的成膜技术,墨水的理化性质是决定打印薄膜质量的关键,对微电子器件性能有着重要影响。本文采用聚乙二醇400(PEG400)作为分散剂取代传统的高分子量分散剂,以乙二醇和丙三醇为溶剂、ZnO-SnO_(2)复合气敏材料为功能相制备高性能气敏墨水,并利用非接触点胶技术在基于微电子机械系统(MEMS)的微热板上打印ZnO-SnO_(2)复合气敏薄膜。根据墨水的黏度及悬浮稳定性,分析了PEG400含量和固含量对墨水理化性质的影响,通过SEM观察薄膜的微观形貌,研究结果表明,当固含量为15%(质量分数,下同)、PEG400含量为6%时,复合气敏墨水具备可打印性及低温烧结成膜特性,制备的复合气敏薄膜厚度均匀,表面平整,边缘规整,对丙酮气体有良好的响应。
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关键词
非
接触点胶
打印
复合气敏墨水
ZnO-SnO_(2)
PEG400
微热板
气体传感器
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职称材料
动载荷下高黏胶液的拉伸衍变过程分析
2
作者
薛雨诗
张超锋
+2 位作者
陈国庆
叶鹏
尹加政
《半导体技术》
北大核心
2025年第3期304-312,共9页
点胶工艺是影响点胶质量的重要因素。由于高黏度非牛顿流体胶对剪切速率的依赖性,点胶时采用的速度会影响胶液的流动变形。通过实验与仿真相结合的方法研究了胶液转移时基板与针头间液桥的动态行为。首先,探究了出胶流速对胶底初始状态...
点胶工艺是影响点胶质量的重要因素。由于高黏度非牛顿流体胶对剪切速率的依赖性,点胶时采用的速度会影响胶液的流动变形。通过实验与仿真相结合的方法研究了胶液转移时基板与针头间液桥的动态行为。首先,探究了出胶流速对胶底初始状态的影响;其次,分析了针尖与胶液分离时产生的液桥形变;最后,探讨了不同出胶流速与拉伸速度对液桥断裂的综合影响。结果表明,低流速出胶会使胶液铺展直径更小,且出胶流速与拉伸速度对胶液分离断裂具有耦合影响。本研究为胶液转移的进一步系统研究和应用提供了仿真方法和实验数据,为点胶工艺优化提供了理论基础。
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关键词
接触点胶
液桥断裂
高黏度
胶
粘剂
非牛顿流体
有限元仿真
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职称材料
题名
非接触点胶打印用ZnO-SnO_(2)复合气敏墨水的制备及气敏性能研究
1
作者
王建搏
贾明昊
王兴锋
雷鸣
沈杰
金伟
机构
武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室
武汉微纳传感技术有限公司
武汉理工大学材料科学与工程学院
出处
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2024年第10期3878-3885,共8页
基金
国家自然科学基金(62171331)。
文摘
非接触点胶打印是一种新型、高精度、无模板、低成本的成膜技术,墨水的理化性质是决定打印薄膜质量的关键,对微电子器件性能有着重要影响。本文采用聚乙二醇400(PEG400)作为分散剂取代传统的高分子量分散剂,以乙二醇和丙三醇为溶剂、ZnO-SnO_(2)复合气敏材料为功能相制备高性能气敏墨水,并利用非接触点胶技术在基于微电子机械系统(MEMS)的微热板上打印ZnO-SnO_(2)复合气敏薄膜。根据墨水的黏度及悬浮稳定性,分析了PEG400含量和固含量对墨水理化性质的影响,通过SEM观察薄膜的微观形貌,研究结果表明,当固含量为15%(质量分数,下同)、PEG400含量为6%时,复合气敏墨水具备可打印性及低温烧结成膜特性,制备的复合气敏薄膜厚度均匀,表面平整,边缘规整,对丙酮气体有良好的响应。
关键词
非
接触点胶
打印
复合气敏墨水
ZnO-SnO_(2)
PEG400
微热板
气体传感器
Keywords
non-contact dispenser printing
composite gas-sensitive ink
ZnO-SnO_(2)
PEG400
micro-hotplate
gas sensor
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
动载荷下高黏胶液的拉伸衍变过程分析
2
作者
薛雨诗
张超锋
陈国庆
叶鹏
尹加政
机构
江南大学机械工程学院
出处
《半导体技术》
北大核心
2025年第3期304-312,共9页
基金
国家自然科学基金面上项目(52475264,52475358)。
文摘
点胶工艺是影响点胶质量的重要因素。由于高黏度非牛顿流体胶对剪切速率的依赖性,点胶时采用的速度会影响胶液的流动变形。通过实验与仿真相结合的方法研究了胶液转移时基板与针头间液桥的动态行为。首先,探究了出胶流速对胶底初始状态的影响;其次,分析了针尖与胶液分离时产生的液桥形变;最后,探讨了不同出胶流速与拉伸速度对液桥断裂的综合影响。结果表明,低流速出胶会使胶液铺展直径更小,且出胶流速与拉伸速度对胶液分离断裂具有耦合影响。本研究为胶液转移的进一步系统研究和应用提供了仿真方法和实验数据,为点胶工艺优化提供了理论基础。
关键词
接触点胶
液桥断裂
高黏度
胶
粘剂
非牛顿流体
有限元仿真
Keywords
contact dispensing
rupture of liquid bridge
high viscosity
non-Newtonian fluid
finite element simulation
分类号
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非接触点胶打印用ZnO-SnO_(2)复合气敏墨水的制备及气敏性能研究
王建搏
贾明昊
王兴锋
雷鸣
沈杰
金伟
《硅酸盐通报》
CAS
北大核心
2024
0
在线阅读
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职称材料
2
动载荷下高黏胶液的拉伸衍变过程分析
薛雨诗
张超锋
陈国庆
叶鹏
尹加政
《半导体技术》
北大核心
2025
0
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职称材料
已选择
0
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