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题名中阶梯光栅厚铝膜硬度计算方法修正
被引量：1
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作者
庞壮
张宝庆
孙立华
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机构
长春理工大学机电工程学院
长春工业大学工程训练中心
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2020年第7期76-79,107,共5页
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基金
国家自然科学基金委面上项目(51575057)。
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文摘
为了排除Pile-up现象对真空镀制机刻光栅厚铝膜在纳米压痕测试硬度中的影响,获得中阶梯光栅铝膜准确硬度值,提出通过修正O&P法中接触投影面积的新硬度计算方法。首先,参照中阶梯光栅成槽深度,采用连续刚度测试模式,对中阶梯光栅厚铝膜进行压入深度为5μm的纳米压痕硬度测试。其次,对压痕位置进行SEM与AFM测试,结果表明厚铝膜在纳米压痕硬度测试中出现Pile-up现象。最后,对铝膜纳米压痕数据分析、提取,压痕隆起形貌复原等,证明接触面投影面积边缘为抛物线,进而对O&P法中接触投影面积的计算方法进行修正。结果表明:采用纳米压痕硬度测试方法,中阶梯光栅厚铝膜的硬度值随着压深增加而增加,采用修正接触投影面积的硬度修正计算方法获得的硬度值比传统O&P法所得硬度值减少40%左右。
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关键词
中阶梯光栅
厚铝膜
纳米压痕硬度
O&P法
接触投影面积
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Keywords
echelle grating
thick Al film
nanoindentation hardness
O&P method
contact projection area
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分类号
TH164
[机械工程—机械制造及自动化]
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