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接触式轮廓仪自动标注数学建模与分析
1
作者
于倩
《南方农机》
2025年第17期135-137,152,共4页
文章通过对工件在水平状态下轮廓仪测量数据的处理,对工件的各项参数值进行标注,并研究轮廓线数据的校正问题。基于最小二乘法的拟合、坐标变换、数据分箱处理等方法,测量不同状态下的工件数据,对轮廓线中的直线部分与圆弧部分进行拟合...
文章通过对工件在水平状态下轮廓仪测量数据的处理,对工件的各项参数值进行标注,并研究轮廓线数据的校正问题。基于最小二乘法的拟合、坐标变换、数据分箱处理等方法,测量不同状态下的工件数据,对轮廓线中的直线部分与圆弧部分进行拟合,确定其关键点的坐标,最终绘制出工件平滑曲线的轮廓线,进而准确确定工件轮廓线的相关参数。
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关键词
接触式轮廓仪
数据拟合
最小二乘法
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职称材料
一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术
被引量：
7
2
作者
尤越
王乔方
字正华
《红外技术》
CSCD
北大核心
2014年第4期331-335,共5页
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比...
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。
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关键词
非球面面形参数
接触式轮廓仪
ZYGO干涉仪
测试精度
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职称材料
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
被引量：
3
3
作者
陈莉
尹鹏和
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第10期15-17,21,共4页
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测...
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。
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关键词
薄膜厚度
接触式
表面
轮廓仪
光谱椭偏仪
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职称材料
题名
接触式轮廓仪自动标注数学建模与分析
1
作者
于倩
机构
河北科技工程职业技术大学
出处
《南方农机》
2025年第17期135-137,152,共4页
基金
邢台市重点研发计划项目资助(2023ZZ066)。
文摘
文章通过对工件在水平状态下轮廓仪测量数据的处理,对工件的各项参数值进行标注,并研究轮廓线数据的校正问题。基于最小二乘法的拟合、坐标变换、数据分箱处理等方法,测量不同状态下的工件数据,对轮廓线中的直线部分与圆弧部分进行拟合,确定其关键点的坐标,最终绘制出工件平滑曲线的轮廓线,进而准确确定工件轮廓线的相关参数。
关键词
接触式轮廓仪
数据拟合
最小二乘法
分类号
TG806 [金属学及工艺]
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职称材料
题名
一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术
被引量：
7
2
作者
尤越
王乔方
字正华
机构
昆明物理研究所
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2014年第4期331-335,共5页
基金
国防科技工业技术基础科研支持项目
文摘
提出了一种接触式轮廓仪测量非球面参数的新方法,该方法通过在传统的二维接触式轮廓仪基础上增加旋转,从而实现了三维测量。为了验证新方法的测量准确性与可行性,文中使用ZYGO干涉仪对旋转对称球面进行检测,与新方法的检测结果加以对比。最后,使用新方法对非球面光学元件的面形参数进行测试,分析结果表明新的测量方法具备较高的测试精度,满足测量要求。
关键词
非球面面形参数
接触式轮廓仪
ZYGO干涉仪
测试精度
Keywords
aspheric parameters, Stylus profilometer, ZYGO interferometer, accuracy of test
分类号
TN214 [电子电信—物理电子学]
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
被引量：
3
3
作者
陈莉
尹鹏和
机构
大连理工大学机械工程学院
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第10期15-17,21,共4页
文摘
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。
关键词
薄膜厚度
接触式
表面
轮廓仪
光谱椭偏仪
Keywords
film thickness
contact surface profilometer
spectroscopic ellipsometer
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
接触式轮廓仪自动标注数学建模与分析
于倩
《南方农机》
2025
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种基于Matlab的非球面光学元件面形参数测试技术
尤越
王乔方
字正华
《红外技术》
CSCD
北大核心
2014
7
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
陈莉
尹鹏和
《传感器与微系统》
CSCD
2015
3
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职称材料
已选择
0
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参考文献
引证文献
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