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MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
被引量：
3
1
作者
陈莉
尹鹏和
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第10期15-17,21,共4页
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测...
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。
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关键词
薄膜厚度
接触式表面轮廓仪
光谱椭偏仪
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职称材料
题名
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
被引量：
3
1
作者
陈莉
尹鹏和
机构
大连理工大学机械工程学院
大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2015年第10期15-17,21,共4页
文摘
精确测量各种功能薄膜的厚度在微机电系统(MEMS)制造加工过程中有非常重要的意义。利用接触式表面轮廓仪、光谱椭偏仪、电感测微仪、扫描电镜、原子力显微镜和工具显微镜分别测量了10 nm^100μm各种薄膜的厚度。比较了不同测量仪器的测量范围、分辨率和对样品的适用性,分析了薄膜厚度测量过程中误差产生的机理。实验结果表明:当存在膜层台阶时,10 nm^100μm的膜厚测量均可采用接触式表面轮廓仪,对于硬度较高的膜层可采用电感测微仪,对于厚度小于0.5μm的膜层可采用原子力显微镜;对于可观察样品侧面、厚度大于0.7μm的膜层可采用扫描电镜,工具显微镜适用于μm级膜层,对于厚度大于20μm的膜层不宜采用光谱椭偏仪。
关键词
薄膜厚度
接触式表面轮廓仪
光谱椭偏仪
Keywords
film thickness
contact surface profilometer
spectroscopic ellipsometer
分类号
TN06 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
陈莉
尹鹏和
《传感器与微系统》
CSCD
2015
3
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职称材料
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