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非接触式电容压力传感器敏感元件的设计及性能分析 被引量:7
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作者 尚永红 李艳秋 +2 位作者 于红云 孙红光 苏波 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期276-279,共4页
将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力... 将中心岛膜结构的压力敏感膜用在非接触式电容式压力传感器中,解决了平膜结构带来的各点挠度不同、非线性和需要后续补偿电路的问题。通过对材料为多晶硅的中心岛膜进行结构优化设计和挠度、应力等力学性能分析。计算了在不同外加压力条件下压力敏感膜的电容数值、灵敏度和线性度。根据优化设计,外加压力在0.2~1.4×10^5Pa间变化时,电容值在0.0251~0.0281pF间变化;通过分析两种结构敏感膜在XY面内同一位置与中心挠度差的变化率,中心岛膜结构的变化率为49.4%低于平膜结构1.7%。因而中心岛膜结构比平膜结构有更好的灵敏度和线性。 展开更多
关键词 接触式电容压力传感器 敏感元件 MEMS
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新型接触式电容压力传感器 被引量:18
2
作者 郭强 吕浩杰 胡国清 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2008年第3期1-3,共3页
与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻... 与其他类型压敏器件相比,接触式电容压力传感器(TMCPS)有着明显的优点,例如较好的线性,高灵敏度和大过载保护能力等。为了达到更好的性能,设计了一种新型的接触式电容压力传感器(DTMCPS),这种新型的结构是在传统的TMCPS的底部电极上刻蚀了一个浅槽。与现有的接触式电容压力传感器相比,这种结构可以实现更好的线性和更大的线性范围。使用有限元分析软件对膜片的变形进行了分析并阐述了传感器的结构和工艺过程。分析结果表明这种新型结构的传感器可以在保持传统结构优点的同时实现更高的灵敏度,更好的线性和更大的线性范围。 展开更多
关键词 接触式电容压力传感器(TMCPS) 有限元分析 DTMCPS
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双面接触式电容压力传感器的设计及制造工艺流程 被引量:2
3
作者 许高攀 陈广文 +1 位作者 胡国清 李志博 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2001年第9期33-35,共3页
双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ,还有它的特别之处 :双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度 ,而且不会因此增加多少成本 ;工作... 双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ,还有它的特别之处 :双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ,可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度 ,而且不会因此增加多少成本 ;工作时可靠性更高 ,即使一面失灵还有另一面可以正常工作。文中就双面接触式电容压力传感器的工艺进行了初步设计。 展开更多
关键词 双面接触式电容压力传感器 工艺流程 自停止腐蚀 设计 制造
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ANSYS在接触式电容压力传感器非线性分析中的应用 被引量:1
4
作者 卞剑涛 颜黄苹 +1 位作者 冯勇建 王亚强 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第3期3-6,共4页
通过对接触式电容传感器结构原理的分析 ,运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析 ,并基于有限元法编写相应的程序 ,直接得出输出电容与外加压力之间的关系。比较实验结果 ,验证了ANSYS对接触式电容... 通过对接触式电容传感器结构原理的分析 ,运用ANSYS对传感器膜片在外加压力作用下的接触和大变形等非线性问题进行分析 ,并基于有限元法编写相应的程序 ,直接得出输出电容与外加压力之间的关系。比较实验结果 ,验证了ANSYS对接触式电容压力传感器非线性分析的可行性 。 展开更多
关键词 有限元法 传感器 ANSYS 接触式电容压力传感器 非线性分析
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基于BP+NSGA-Ⅱ梳齿电容压力传感器结构多参数优化 被引量:1
5
作者 梁瑞梅 李平华 +2 位作者 刘阳 苗家齐 庄须叶 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第3期316-325,共10页
针对梳齿电容式压力传感器存在灵敏度低、灵敏度与量程难以同时优化的问题,提出了一种新型梁-膜结构梳齿电容式压力传感器,并采用曲线拟合与BP+NSGA-Ⅱ结合的方法对传感器进行优化。在膜片上表面添加锚点和悬臂梁构成杠杆放大结构,活动... 针对梳齿电容式压力传感器存在灵敏度低、灵敏度与量程难以同时优化的问题,提出了一种新型梁-膜结构梳齿电容式压力传感器,并采用曲线拟合与BP+NSGA-Ⅱ结合的方法对传感器进行优化。在膜片上表面添加锚点和悬臂梁构成杠杆放大结构,活动梳齿连接在杠杆输出端,通过杠杆的放大原理增加了活动梳齿的位移,提高了传感器的灵敏度。针对数据集维度高、计算量大的问题,利用MATLAB对结构与性能参数进行数据拟合和定量分析。通过对锚点、悬臂梁等结构几何参数与性能指标的相关性进行量化分析,筛选出对传感器性能影响显著的关键参数,并去除冗余变量,降低了数据集的复杂性。在确保结果准确性不退化的前提下,通过降维方法将数据集从14维降至6维,既提高了数据采集效率,又降低了算力损耗。对降维后的数据集利用BP神经网络进行训练,并结合NSGA-Ⅱ算法实现了灵敏度与量程的协同优化,增强了输出结果的可靠性。结果表明,在0~50 kPa的压力范围内,优化后的传感器灵敏度为0.106 pF/kPa,提高了30.4%,非线性误差为0.4%F.S.。该优化方法为多参数复杂结构的优化提供了参考,所设计的传感器具有高灵敏度和低非线性,为MEMS压力传感器的研发提供了新思路。 展开更多
关键词 电容压力传感器 NSGA-Ⅱ 梳齿 优化
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基于温敏材料的量程可调电容式柔性压力传感器
6
作者 朱清松 孙权 +1 位作者 鲁玉军 鹿业波 《传感技术学报》 北大核心 2025年第4期598-602,共5页
柔性压力传感器在压力检测方面扮演着重要的角色,为了传感器能够适用于不同场景下的检测需求,提出了一种量程可调电容式柔性压力传感器的设计制备方法,采用温敏树脂作为介电层材料,打印银导线作为加热结构,通过焦耳热改变介电层刚度的... 柔性压力传感器在压力检测方面扮演着重要的角色,为了传感器能够适用于不同场景下的检测需求,提出了一种量程可调电容式柔性压力传感器的设计制备方法,采用温敏树脂作为介电层材料,打印银导线作为加热结构,通过焦耳热改变介电层刚度的方式实现传感器量程的控制。研究结果表明,通过控制加热电流,可实现传感器的量程和灵敏度的可控调节,介电层温度从25℃增加到55℃时,传感器的量程和灵敏度分别从4 MPa和0.17 MPa^(-1)变化为2.3 MPa和1.34 MPa^(-1)。面对不同场景的检测需求,可调节传感器的压力检测范围,实现更灵敏的压力检测性能。 展开更多
关键词 柔性电子 电容压力传感器 温敏材料 灵敏度 量程可调
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基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究
7
作者 宋阳阳 郑浩然 +3 位作者 张胜宾 王帅龙 杨盼 于仕辉 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第8期67-70,共4页
柔性压力传感器因其可穿戴、可拉伸、便携等特点,被广泛用于电子皮肤、运动监测、人机交互等领域。为提高柔性压力传感器的灵敏度,常采用光刻技术、化学刻蚀等制工艺,制备流程复杂,成本较高。结合简单便捷且低成本的紫外臭氧(UVO)紫外... 柔性压力传感器因其可穿戴、可拉伸、便携等特点,被广泛用于电子皮肤、运动监测、人机交互等领域。为提高柔性压力传感器的灵敏度,常采用光刻技术、化学刻蚀等制工艺,制备流程复杂,成本较高。结合简单便捷且低成本的紫外臭氧(UVO)紫外辐射技术和模板法,制备了Ecoflex双层褶皱微结构柔性电容式传感器,系统研究介质层微结构对传感器性能的影响。实验结果表明,具有交叉褶皱结构的传感器具有更高的灵敏度(2.34kPa^(-1)),更快的响应速度(50ms),较高的重复稳定性(1500次),并成功检测到手指弯曲、肘关节弯曲、脉搏跳动等情况,表明了该传感器在可穿戴电子设备、健康监测、运动监测等领域具有良好的应用前景。 展开更多
关键词 柔性电容压力传感器 ECOFLEX 双层折叠结构 交叉堆叠 可穿戴电子
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电容式压力传感器的设计和仿真分析
8
作者 曹海燕 王慧慧 +2 位作者 赵鹤然 孙晓东 张颖 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期88-91,共4页
对微器件中应用较广泛的一种电容式MEMS压力传感器的结构进行了优化设计,提出了一种新型的电容式压力传感器设计方案,使MEMS结构与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容。通过Ansys软件建立模型并进行仿真分析,结果表明:传感器的性能与... 对微器件中应用较广泛的一种电容式MEMS压力传感器的结构进行了优化设计,提出了一种新型的电容式压力传感器设计方案,使MEMS结构与互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺兼容。通过Ansys软件建立模型并进行仿真分析,结果表明:传感器的性能与敏感膜的形状和尺寸有关系。在所研究的结构参数范围内,1200μm方形膜结构的压力传感器的灵敏度可达到218.89 pF/MPa,而且高压范围内的灵敏度和线性度较低压范围的好。该结构的传感器工艺流程简易,仿真研究结果为电容式压力传感器的设计和应用提供了基础依据。 展开更多
关键词 电容压力传感器 互补金属氧化物半导体工艺 ANSYS软件 敏感膜
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基于微金字塔结构全体多孔介电层的柔性电容式传感器
9
作者 卢永琪 倪帅 +4 位作者 张鹏飞 王孟琪 宗琨尧 王蕾 潘如如 《丝绸》 北大核心 2025年第8期49-55,共7页
传感器作为关键的电子组件,在各种场景中发挥重要作用,但各种传感器结构仍不断创新,各种结构间存在性能差异。文章设计的电容传感器采用电极层-介电层-电极层结构,并在结构和性能上进行改进。电极层采用柔性导电织物,介电层采用柔性PDM... 传感器作为关键的电子组件,在各种场景中发挥重要作用,但各种传感器结构仍不断创新,各种结构间存在性能差异。文章设计的电容传感器采用电极层-介电层-电极层结构,并在结构和性能上进行改进。电极层采用柔性导电织物,介电层采用柔性PDMS材料制成,通过模型法和盐溶解法获得具有多孔微金字塔结构的介电层。为了隔离人体并满足使用要求,采用医用PU防水胶带进行封装。研究表明,通过材料改性和结构创新可以优化传感器的性能。文章设计的传感器表现出高灵敏度(S=0.190 kPa^(-1))、快速恢复(270 ms)、耐用性(2000次以上稳定)及在梯度压力测试灵敏度方面的高性能。此外,该传感器能够检测人体的生理信号。 展开更多
关键词 柔性电容压力传感器 有限元模拟 金字塔微结构 多孔结构 压力传感 脉搏检测 手指弯曲角度测试
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柔性电容式压力传感器性能优化的研究进展 被引量:3
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作者 党新玉 段沐荣 +2 位作者 吴蓓 孙润军 王秋实 《印染》 CAS 北大核心 2024年第4期72-77,共6页
柔性电容式压力传感器具有低能耗、高灵敏度、高稳定性等优点,在可穿戴设备、电子皮肤等柔性电子领域受到广泛关注。概述了以复合介电层和微结构设计为代表的柔性电容式压力传感器灵敏度提升方法,并介绍了柔性电容式压力传感器在追求高... 柔性电容式压力传感器具有低能耗、高灵敏度、高稳定性等优点,在可穿戴设备、电子皮肤等柔性电子领域受到广泛关注。概述了以复合介电层和微结构设计为代表的柔性电容式压力传感器灵敏度提升方法,并介绍了柔性电容式压力传感器在追求高灵敏度和宽检测范围方面通常采用的多级复合结构、复合机制和混合响应策略,最后对柔性电容式压力传感器发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 电容压力传感器 结构设计 性能优化 灵敏度 研究进展
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基于电容法的非接触式土壤水分传感器设计与性能分析 被引量:19
11
作者 高志涛 刘卫平 赵燕东 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期185-191,共7页
针对接触式土壤水分传感器存在对土体破坏大及使用安装、更换困难等问题,设计了一种基于电容法的非接触式土壤水分传感器。借助网络矢量分析仪对传感器环形探头在不同介电常数的有机溶液中进行测量,确定了传感器环形探头电容变化范围为7... 针对接触式土壤水分传感器存在对土体破坏大及使用安装、更换困难等问题,设计了一种基于电容法的非接触式土壤水分传感器。借助网络矢量分析仪对传感器环形探头在不同介电常数的有机溶液中进行测量,确定了传感器环形探头电容变化范围为7.08~22.75 p F。选取11种不同电容值高频瓷片分别与102 n H的绕线电感进行并联谐振试验,得到的测试结果与仿真结果的决定系数达到了0.98,检测电路的测量精度能够满足传感器的设计要求。以北京地区粘壤土作为测试样本,对传感器输出与对应的测量值进行了多项式拟合,决定系数达到了0.995 9,系统的稳态与动态性能均能满足土壤水分的检测要求。通过试验分析了温度对传感器输出的影响,将传感器输出结果与温度进行线性拟合,决定系数达到了0.987 9。进一步提出了能量指数Ka,通过试验的方式确定了传感器的纵向影响范围为10 cm,横向影响范围为5 cm。最后对比试验表明,所设计的土壤非接触式水分传感器与国外同类产品性能相当,能够满足土壤非接触式测量的要求,但具有更高的性价比,为同类产品的国产化奠定了基础。 展开更多
关键词 土壤水分传感器 电容 接触式 性能分析
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MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应 被引量:29
12
作者 郑志霞 冯勇建 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2013年第12期1141-1147,共7页
介绍了一种基于SOI/硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构,并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后,对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明,传感器线性工作区压力为110~280kPa,灵敏度约为0.... 介绍了一种基于SOI/硅片键合技术制作的接触电容式高温压力传感器结构,并对传感器的测试装置、测试方法进行详细的介绍后,对传感器进行压力测试和温度特性测试。压力测试结果表明,传感器线性工作区压力为110~280kPa,灵敏度约为0.14pF/kPa;温度特性测试结果表明,传感器具有正温度效应,在30~300%,传感器输出误差约为0.5%。文中还分析了热胀冷缩及介电常数温度系数对传感器温度效应的影响,以及设计了参考电容及运算放大器式传感器测量电路来消除温度效应。 展开更多
关键词 接触电容 传感器 压力测量 温度效应 运算放大器
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接触电容式压力传感器的设计与模拟 被引量:1
13
作者 彭韶华 周闵新 +1 位作者 秦明 黄庆安 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第12期78-80,共3页
针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。
关键词 接触电容压力传感器 圆形膜结构 ANSYS 非线性度 气压计
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基于三浦折纸电容式压力传感器的仿真与优化
14
作者 孙鸿 李木军 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第10期120-123,共4页
柔性电容式压力传感器的灵敏度通常随压力的增加而衰减,这可能会影响其在具有环境压力情况下的应用。基于三浦折纸结构的柔性电容式压力传感器由于其特殊的折叠方式,可以同时改变电极之间的距离和正对面积来提高电容的相对变化率。本文... 柔性电容式压力传感器的灵敏度通常随压力的增加而衰减,这可能会影响其在具有环境压力情况下的应用。基于三浦折纸结构的柔性电容式压力传感器由于其特殊的折叠方式,可以同时改变电极之间的距离和正对面积来提高电容的相对变化率。本文通过有限元仿真验证了三浦折纸电容式压力传感器的灵敏度随压力的增加而增大的变化规律。此外,仿真了不同初始二面角和厚度的三浦折纸传感器在不同压力下的电容变化情况,从结构上进行性能优化。 展开更多
关键词 柔性电容压力传感器 三浦折纸结构 灵敏度 有限元仿真
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接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)
15
作者 刘妤 陈松 顾雯雯 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期158-161,共4页
设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底"接触"前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。
关键词 MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片
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高性能MEMS电容压力传感器的设计及其热分析 被引量:10
16
作者 吕浩杰 胡国清 +2 位作者 邹卫 吴灿云 陈羽锋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1166-1174,共9页
为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述... 为了进一步提高接触式电容压力传感器的性能,设计了一种高性能双凹槽结构的接触式电容压力传感器,并对该传感器在高温环境中的总体性能进行了分析。推导了热传导和热弹性理论,并对影响传感器热分析的各个因素与温度的依赖关系进行了描述;在整个分析过程中,使用ANSYS软件并结合有限元方法对全尺寸传感器的热效应进行模拟。结果表明,在接触工作状态双凹槽接触式电容压力传感器的温度对输入(压力)-输出(电容)特性的影响是线性的,且线性范围内初始压力随温度的升高而降低;当温度载荷为550 K时,双凹槽结构的灵敏度为1.21×10-6pF/Pa,比传统单凹槽的0.8×10-6pF/Pa高出50%,表明该压力传感器有着非常优异的高温特性。 展开更多
关键词 双凹槽接触式电容压力传感器(DTMCPS) 热分析 有限元法
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基于离子膜的高灵敏电容式柔性压力传感器
17
作者 刘平 汪晓佳 +3 位作者 刘彩霞 田合雷 徐宝华 张恩灿 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2024年第9期1170-1175,共6页
针对精确测量微小人体生理信号的需求,文章采用聚乙烯醇、氢氧化钾为材料,结合砂纸倒模技术,制作一种具有微结构复合离子膜介电层的高灵敏柔性电容式压力传感器。详细阐述传感器制作流程,表征离子膜的化学特性,分析并优化介电层材料配... 针对精确测量微小人体生理信号的需求,文章采用聚乙烯醇、氢氧化钾为材料,结合砂纸倒模技术,制作一种具有微结构复合离子膜介电层的高灵敏柔性电容式压力传感器。详细阐述传感器制作流程,表征离子膜的化学特性,分析并优化介电层材料配比及微结构尺寸,在对传感器静态和动态特性进行测试后将之应用于人指尖脉搏波测量。结果表明,基于离子膜微结构介电层的柔性电容式传感器具有高灵敏度(8.29 kPa^(-1))和快速响应时间(45 ms),将该传感器安装到手指夹具中,通过脉搏波测量系统即可实现对人指尖脉搏的精确测量。该研究为可穿戴医疗电子设备提供了一种新的选择。 展开更多
关键词 压力传感器 电容 离子膜 微结构 高灵敏
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基于双面多级微结构的柔性电容式压力传感器
18
作者 黄梁松 王硕 +4 位作者 张鹏 张坤 杜明超 黄鑫 步晓飞 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1692-1699,共8页
柔性压力传感器作为可穿戴智能设备的重要组成部分,在人体行为监测、电子皮肤系统等方面有广泛的应用。为了进一步利用微结构对柔性传感器灵敏度的提升效果,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)与碳黑(CB)、多壁碳纳米管(MWCNTs)混合成导电材料并... 柔性压力传感器作为可穿戴智能设备的重要组成部分,在人体行为监测、电子皮肤系统等方面有广泛的应用。为了进一步利用微结构对柔性传感器灵敏度的提升效果,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)与碳黑(CB)、多壁碳纳米管(MWCNTs)混合成导电材料并复制砂纸表面微结构作为上下电极层,用PDMS复制弧形凸起和砂纸微结构组成双面微结构介电层,设计成基于双面多级微结构的柔性电容式压力传感器。两种微结构的组合使得传感器的性能有了明显的提高,具有高的灵敏度(1.2875 kPa^(-1),<0.1 kPa),宽的检测范围(可达100 kPa),快的响应时间(80 ms),并保持良好的重复稳定性。结果表明:该传感器能够在人体行为监测以及其他应用方面发挥理想的性能。 展开更多
关键词 电容压力传感器 双面微结构 多级微结构 人体行为监测
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基于MEMS技术的集成压力-湿度传感器 被引量:2
19
作者 陈果 刘正波 +1 位作者 王韬 张万里 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期21-28,共8页
设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,... 设计了一种高灵敏度的集成压力和湿度传感单元的芯片。压力传感单元基于SOI和蛇形电阻结构。室温下,传感器在载压范围为3~129 kPa内灵敏度为0.026 mV/kPa,与有限元仿真基本吻合。传感器在25~120℃范围内的热灵敏度漂移为0.004‰FS/℃,热零点漂移为0.25%FS/℃。湿度传感单元采用的叉指电极和电容式结构,引入含氟PI作湿度敏感膜。设计Mo电阻加热结构加快传感器降湿过程,缩短降湿时间近32%。在10%~90%RH的湿度范围,含氟PI湿度传感器的灵敏度为0.121 pF/%RH,略低于无氟PI器件。含氟基团的引入,使得传感器的湿滞较无氟PI降低16%。“电容-湿度”曲线呈指数分布,相关系数R^(2)=0.996。测试结果发现,湿度传感单元和压力传感单元拥有良好的独立工作性能。 展开更多
关键词 电容式湿度传感器 惠斯通电桥 MEMS工艺 聚酰亚胺(PI) 压力传感器
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用于火炮膛内压力测试的电容式传感器的设计 被引量:31
20
作者 李新娥 祖静 +1 位作者 马铁华 徐鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期640-645,共6页
通过研究目前火炮膛压测试中所存在的问题——传感器安装结构与测压器小体积之间的矛盾,设计了一种新的用于火炮膛压测试的电容式压力传感器,由电路筒作为固定电极,测压器壳体作为可动电极形成极间距离为0.5 mm的同轴圆筒电容变换器,它... 通过研究目前火炮膛压测试中所存在的问题——传感器安装结构与测压器小体积之间的矛盾,设计了一种新的用于火炮膛压测试的电容式压力传感器,由电路筒作为固定电极,测压器壳体作为可动电极形成极间距离为0.5 mm的同轴圆筒电容变换器,它的固有频率达到52.665 kHz,灵敏度为0.009 9 pF/MPa,压力测量范围是0~600 MPa,论文详细阐述了电容式压力传感器的工作原理,结构设计,利用有限元软件ANASYS对其力学特性及热学特性进行了仿真模拟,并做了性能测试。试验结果表明:电容值和所受压力近似成线性关系,且具有良好的稳定性。 展开更多
关键词 压力传感器 电容 有限元分析
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