-
题名新型两用表面形貌测量仪的研究与开发
- 1
-
-
作者
陈育荣
杨旭东
谢铁邦
-
机构
华中科技大学机械学院
华中科技大学
-
出处
《工具技术》
北大核心
2007年第10期85-88,共4页
-
文摘
开发了一种大量程、高分辨率、非接触式与接触式测量两用的新型表面形貌测量仪器。仪器本体为非接触测量轮廓仪,通过插入接触式测头实现接触测量。非接触式测头采用傅科法自动聚焦原理,接触式测量采用微恒力电感测量原理,它们共用一个音圈电机,各自跟踪电气零位,实现大量程、高分辨率的位移测量。文中还介绍了仪器采用的共运动基面二维工作台。
-
关键词
表面形貌测量
接触/非接触测量
聚焦误差
电感传感器
音圈电机
-
Keywords
surface profile measurement, contact/non-contact measurement, focused error, inductance sensor, voice coil motor
-
分类号
TG84
[金属学及工艺—公差测量技术]
-
