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利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征
被引量：
3
1
作者
韩国强
景蔚萱
+1 位作者
蒋庄德
朱明智
《计量学报》
CSCD
北大核心
2010年第5期426-429,共4页
利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对...
利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对AFM探针和样品耦合效应进行了研究，提出了AFM探针参数动态表征的模型，基于几何模型对线宽和轮廓测量中探针针尖形状和针尖位置参数进行了表征，提出了用曲率半径、安装倾角、扫描倾角和针尖半顶角来对原子力显微镜探针针尖进行表征。该方法是对现有AFM探针表征模型的改进和完善。
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关键词
计量学
MEMS
各向异性化学湿法刻蚀
原子力显微镜
线宽测量
探针表征
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职称材料
ZSM-5分子筛酸性修饰及探针分子表征
被引量：
10
2
作者
周震寰
贾树岩
+1 位作者
张培贵
康承琳
《石油炼制与化工》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期5-9,共5页
采用柠檬酸、硫醚、苯胺、二苯胺、磷酸二氢铵及硅油作为改性试剂对二甲苯异构化专用HZSM-5分子筛进行液相浸渍改性,结合甲苯、邻二甲苯、间二甲苯、乙苯及间二异丙苯的脉冲反应表征,对各种改性手段的效果进行评估。各种改性方法对分子...
采用柠檬酸、硫醚、苯胺、二苯胺、磷酸二氢铵及硅油作为改性试剂对二甲苯异构化专用HZSM-5分子筛进行液相浸渍改性,结合甲苯、邻二甲苯、间二甲苯、乙苯及间二异丙苯的脉冲反应表征,对各种改性手段的效果进行评估。各种改性方法对分子筛微孔体积和比表面积的影响很小,均减弱了酸性,对L酸的影响大于B酸。5种探针反应结果表明:柠檬酸改性强化了分子筛酸性,提高了歧化/异构化活性;磷酸二氢铵改性提高了分子筛歧化和脱乙基反应活性;苯胺、二苯胺、硫醚改性手段部分钝化了分子筛酸性,降低了歧化/异构化活性;随着改性剂分子尺寸的增大,钝化外表面酸性越明显,从而改变分子筛孔内外的酸位分布,产生不同程度的择形效果;硅油改性充分地钝化了外表面酸性,形成最明显的择形效应。
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关键词
ZSM-5分子筛
酸性修饰
探针
分子
表征
二甲苯异构化
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职称材料
题名
利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征
被引量：
3
1
作者
韩国强
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
中国工程物理研究院总体工程研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2010年第5期426-429,共4页
基金
国家自然科学基金（50535030,90923001）
西安交通大学交叉学科项目（2009xjtuje16）
文摘
利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si（100）上加工了具有本征侧墙角（54．73°）的典型微机电系统（MEMS）梯形结构。用该微结构作为线宽测试结构，对其进行了原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）线宽和轮廓的比对测量。并对AFM探针和样品耦合效应进行了研究，提出了AFM探针参数动态表征的模型，基于几何模型对线宽和轮廓测量中探针针尖形状和针尖位置参数进行了表征，提出了用曲率半径、安装倾角、扫描倾角和针尖半顶角来对原子力显微镜探针针尖进行表征。该方法是对现有AFM探针表征模型的改进和完善。
关键词
计量学
MEMS
各向异性化学湿法刻蚀
原子力显微镜
线宽测量
探针表征
Keywords
Metrology
MEMS
Atomic force microscopy （AFM）
Scanning electron microscope （SEM）
Linewidth measurement
Tip characterization
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
ZSM-5分子筛酸性修饰及探针分子表征
被引量：
10
2
作者
周震寰
贾树岩
张培贵
康承琳
机构
中国石化石油化工科学研究院
中国石油吉林石化公司炼油厂
出处
《石油炼制与化工》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期5-9,共5页
文摘
采用柠檬酸、硫醚、苯胺、二苯胺、磷酸二氢铵及硅油作为改性试剂对二甲苯异构化专用HZSM-5分子筛进行液相浸渍改性,结合甲苯、邻二甲苯、间二甲苯、乙苯及间二异丙苯的脉冲反应表征,对各种改性手段的效果进行评估。各种改性方法对分子筛微孔体积和比表面积的影响很小,均减弱了酸性,对L酸的影响大于B酸。5种探针反应结果表明:柠檬酸改性强化了分子筛酸性,提高了歧化/异构化活性;磷酸二氢铵改性提高了分子筛歧化和脱乙基反应活性;苯胺、二苯胺、硫醚改性手段部分钝化了分子筛酸性,降低了歧化/异构化活性;随着改性剂分子尺寸的增大,钝化外表面酸性越明显,从而改变分子筛孔内外的酸位分布,产生不同程度的择形效果;硅油改性充分地钝化了外表面酸性,形成最明显的择形效应。
关键词
ZSM-5分子筛
酸性修饰
探针
分子
表征
二甲苯异构化
Keywords
ZSM-5 zeolite
acidity modification
characterization by probe molecule
xylene isomerization
分类号
TQ426 [化学工程]
O625.11 [理学—有机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用典型Si（100）微结构对原子力显微镜探针参数进行表征
韩国强
景蔚萱
蒋庄德
朱明智
《计量学报》
CSCD
北大核心
2010
3
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职称材料
2
ZSM-5分子筛酸性修饰及探针分子表征
周震寰
贾树岩
张培贵
康承琳
《石油炼制与化工》
CAS
CSCD
北大核心
2016
10
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职称材料
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