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AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响
被引量：
5
1
作者
唐莹
曹丛
+1 位作者
张健
赵东升
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第S01期17-22,共6页
研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响.结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起...
研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响.结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起伏较大的硬样品适合此模式;轻敲模式下进针会有一个振幅设定,由此值开始,随着振幅设定减小,测量准确度和探针磨损程度先增加后减小,噪声和磨损均不大,适合于表面比较平滑的非粘性样品;智能模式下参数可自动调节,且对样品和探针的磨损较小,但是受噪音影响较大,测量数据较小时准确度偏低.
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关键词
计量学
原子力显微镜
扫描模式
设定值
探针磨损
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职称材料
基于AFM推动的纳米粒子运动学模型研究
被引量：
6
2
作者
侯静
吴成东
+2 位作者
刘连庆
王志东
董再励
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1851-1857,共7页
针对纳米操作和装配过程中面临的由AFM单探针带来的物体丢失和操作效率低等问题,通过对纳米粒子推动实验的分析,建立了纳米粒子推动操作的运动学模型。该模型充分考虑了推动速度及探针磨损两个因素,引入了与速度相关的粘滞摩擦力,并利...
针对纳米操作和装配过程中面临的由AFM单探针带来的物体丢失和操作效率低等问题,通过对纳米粒子推动实验的分析,建立了纳米粒子推动操作的运动学模型。该模型充分考虑了推动速度及探针磨损两个因素,引入了与速度相关的粘滞摩擦力,并利用空间配置的方法解决了探针针尖半径对操作结果的影响。该模型能够预测推动操作后粒子的可能位置,从而可以避免操作过程中粒子丢失的现象,能够提高纳米操作效率。数值模拟结果与多次实验操作结果相对比,验证了所建模型的有效性。
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关键词
纳米粒子
运动学模型
推动速度
探针磨损
AFM
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职称材料
题名
AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响
被引量：
5
1
作者
唐莹
曹丛
张健
赵东升
机构
山东省计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第S01期17-22,共6页
基金
科技部国家重点研发计划(2018YFF0212305)
文摘
研究了不同模式下设定值对AFM成像质量、测量准确度、样品及探针磨损情况的影响.结果表明,接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起伏较大的硬样品适合此模式;轻敲模式下进针会有一个振幅设定,由此值开始,随着振幅设定减小,测量准确度和探针磨损程度先增加后减小,噪声和磨损均不大,适合于表面比较平滑的非粘性样品;智能模式下参数可自动调节,且对样品和探针的磨损较小,但是受噪音影响较大,测量数据较小时准确度偏低.
关键词
计量学
原子力显微镜
扫描模式
设定值
探针磨损
Keywords
metrology
atomic force microscope
testing mode
setpoint
probe wear pattern
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
基于AFM推动的纳米粒子运动学模型研究
被引量：
6
2
作者
侯静
吴成东
刘连庆
王志东
董再励
机构
东北大学信息科学与工程学院
中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室
沈阳建筑大学信息与控制工程学院
日本千叶工业大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期1851-1857,共7页
基金
国家863计划(2009AA03Z316)
国家自然科学基金重点项目(60904095、60635040)
“中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划”资助项目
文摘
针对纳米操作和装配过程中面临的由AFM单探针带来的物体丢失和操作效率低等问题,通过对纳米粒子推动实验的分析,建立了纳米粒子推动操作的运动学模型。该模型充分考虑了推动速度及探针磨损两个因素,引入了与速度相关的粘滞摩擦力,并利用空间配置的方法解决了探针针尖半径对操作结果的影响。该模型能够预测推动操作后粒子的可能位置,从而可以避免操作过程中粒子丢失的现象,能够提高纳米操作效率。数值模拟结果与多次实验操作结果相对比,验证了所建模型的有效性。
关键词
纳米粒子
运动学模型
推动速度
探针磨损
AFM
Keywords
nanoparticle
kinematics model
pushing velocity
tip wearing
AFM
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响
唐莹
曹丛
张健
赵东升
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于AFM推动的纳米粒子运动学模型研究
侯静
吴成东
刘连庆
王志东
董再励
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
6
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