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多探测器信号协同成像机制及其在扫描电镜材料表征中的应用
1
作者
薛敏
魏杰
+1 位作者
陈炜晔
张磊
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第10期888-897,共10页
研究以金属样品和不导电纳米材料为研究对象,采用Zeiss Sigma500型热场发射扫描电镜,系统研究了In-lens、ET-SE和HDBSD探测器信号协同成像机制及其对材料表征的影响。研究表明,通过协同信号成像策略,可有效整合不同探测器在电子信号收...
研究以金属样品和不导电纳米材料为研究对象,采用Zeiss Sigma500型热场发射扫描电镜,系统研究了In-lens、ET-SE和HDBSD探测器信号协同成像机制及其对材料表征的影响。研究表明,通过协同信号成像策略,可有效整合不同探测器在电子信号收集特性和成像效果方面的特异性优势:In-lens探测器擅长表面细节解析,ET-SE探测器对空间结构敏感,而HDBSD探测器则具有对原子序数敏感的特性。实验发现,该协同成像方法能够有效获取更多表面结构信息,同时抑制荷电效应等干扰因素,显著提升非均质材料形貌表征的真实性和完整性。研究证实,多探测器信号协同成像策略可为多维度材料表征提供更高效的测试方案,对复杂材料体系的微结构解析具有重要应用价值。
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关键词
扫描电镜
探测器信号协同成像
材料表征
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职称材料
题名
多探测器信号协同成像机制及其在扫描电镜材料表征中的应用
1
作者
薛敏
魏杰
陈炜晔
张磊
机构
北方民族大学材料科学与工程学院材料科学国家级实验教学示范中心(北方民族大学)
银川高新技术产业开发有限责任公司
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第10期888-897,共10页
基金
北方民族大学科研项目(2024XYZCL02)
宁夏自然科学基金项目(2024AAC2034)。
文摘
研究以金属样品和不导电纳米材料为研究对象,采用Zeiss Sigma500型热场发射扫描电镜,系统研究了In-lens、ET-SE和HDBSD探测器信号协同成像机制及其对材料表征的影响。研究表明,通过协同信号成像策略,可有效整合不同探测器在电子信号收集特性和成像效果方面的特异性优势:In-lens探测器擅长表面细节解析,ET-SE探测器对空间结构敏感,而HDBSD探测器则具有对原子序数敏感的特性。实验发现,该协同成像方法能够有效获取更多表面结构信息,同时抑制荷电效应等干扰因素,显著提升非均质材料形貌表征的真实性和完整性。研究证实,多探测器信号协同成像策略可为多维度材料表征提供更高效的测试方案,对复杂材料体系的微结构解析具有重要应用价值。
关键词
扫描电镜
探测器信号协同成像
材料表征
Keywords
Scanning electron microscope
Synergistic detector signal imaging
Material characterization
分类号
TG115.215.3 [金属学及工艺—物理冶金]
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
多探测器信号协同成像机制及其在扫描电镜材料表征中的应用
薛敏
魏杰
陈炜晔
张磊
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
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职称材料
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