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用GXRD和XPS分析离子注入层的表面结构
1
作者
杨建华
《理化检验（化学分册）》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期202-204,共3页
采用由金属蒸气真空弧 (MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助掠面X射线衍射 (GXRD)和X射线光电子能谱 (XPS)考察了注入表面层的相结构以及钨、铁、碳的化学状态。研究发现 ,表面的含碳化钨层比...
采用由金属蒸气真空弧 (MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助掠面X射线衍射 (GXRD)和X射线光电子能谱 (XPS)考察了注入表面层的相结构以及钨、铁、碳的化学状态。研究发现 ,表面的含碳化钨层比含铁、钨氧化层要厚 ,离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在 ,铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现 。
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关键词
G
x
RD
x
PS
分析
离子注入层
表
面
结构
掠面x射线衍射
x
射线
光电子能谱
离子注入
表
面
改性
H13钢
表
面
分析
钨离子
抗氧化机理
耐磨机理
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职称材料
题名
用GXRD和XPS分析离子注入层的表面结构
1
作者
杨建华
机构
南通工学院
出处
《理化检验（化学分册）》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期202-204,共3页
基金
国家自然科学基金 (5 96710 5 1)
江苏省教育厅自然科学基金(0 2KJD490 0 0 1)部分资助项目
文摘
采用由金属蒸气真空弧 (MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助掠面X射线衍射 (GXRD)和X射线光电子能谱 (XPS)考察了注入表面层的相结构以及钨、铁、碳的化学状态。研究发现 ,表面的含碳化钨层比含铁、钨氧化层要厚 ,离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在 ,铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现 。
关键词
G
x
RD
x
PS
分析
离子注入层
表
面
结构
掠面x射线衍射
x
射线
光电子能谱
离子注入
表
面
改性
H13钢
表
面
分析
钨离子
抗氧化机理
耐磨机理
Keywords
G
x
RD
x
PS
Ion implantation
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用GXRD和XPS分析离子注入层的表面结构
杨建华
《理化检验（化学分册）》
CAS
CSCD
北大核心
2003
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