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薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较
被引量：
2
1
作者
张铭
何家文
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
2001年第1期68-72,共5页
对比了薄膜 X射线应力测试的三种衍射几何 ,结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点 ,所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射...
对比了薄膜 X射线应力测试的三种衍射几何 ,结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点 ,所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了 PVD和 PCVD工艺的 Ti N薄膜的内应力情况 ,结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。
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关键词
掠射侧倾法
常规
法
侧
倾
法
薄膜
X
射
线应力测试
衍
射
几何
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下载PDF
职称材料
题名
薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较
被引量：
2
1
作者
张铭
何家文
机构
西安交通大学
出处
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
2001年第1期68-72,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目!(编号 :5 973 10 2 0 )
文摘
对比了薄膜 X射线应力测试的三种衍射几何 ,结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点 ,所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了 PVD和 PCVD工艺的 Ti N薄膜的内应力情况 ,结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。
关键词
掠射侧倾法
常规
法
侧
倾
法
薄膜
X
射
线应力测试
衍
射
几何
Keywords
glancing method,Bragg-Brentano method, side-incline method,thin film
分类号
O434.12 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较
张铭
何家文
《兵器材料科学与工程》
CAS
CSCD
2001
2
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