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掠出射X射线荧光光谱仪研制
被引量：
2
1
作者
巩岩
尼启良
+1 位作者
陈波
曹健林
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002年第6期597-601,共5页
掠出射X射线荧光分析技术是分析薄膜特性和介质表面的一种重要工具。文中简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种在实验室里由激发光源、样品承载系统、色散系统、探测系统和数据收集及处理系统构成的掠出射...
掠出射X射线荧光分析技术是分析薄膜特性和介质表面的一种重要工具。文中简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种在实验室里由激发光源、样品承载系统、色散系统、探测系统和数据收集及处理系统构成的掠出射X射线荧光光谱仪系统,并给出了利用55Fe放射性同位素标定该光谱仪系统的试验结果。
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关键词
光谱仪
研制
掠出射x射线荧光
光谱分析
薄膜
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职称材料
掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用
2
作者
杨君
刘志国
+5 位作者
徐清
韩东艳
林晓燕
杜晓光
Kouichi Tsuji
丁训良
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期26-32,共7页
建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射...
建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射角扫描的角度分辨率。为了提高工作效率,编写了该系统的自动控制软件,实现了样品的自动扫描。利用该系统对采用金属蒸汽真空电弧(MEVVA)源离子束和薄膜沉积技术制备的纳米薄膜进行了掠入射X射线荧光和二维扫描分析。实验结果表明:该系统能有效地分析纳米厚度的薄膜,通过对薄膜进行掠出射角扫描分析和表面的二维扫描分析,得到了薄膜的厚度,密度及均匀性等信息。微区分析的空间分辨率可达到41.7μm,实际空间分辨率为扫描步长50μm。系统可用于分析薄膜样品,且荧光强度高,所需时间短,获得的信息全面丰富,数据可靠。
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关键词
毛细管
x
射线
光学器件
掠出射x射线荧光
全反
射
薄膜分析
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职称材料
题名
掠出射X射线荧光光谱仪研制
被引量：
2
1
作者
巩岩
尼启良
陈波
曹健林
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002年第6期597-601,共5页
基金
应用光学国家重点实验室基金资助项目(DA00Q02D)
文摘
掠出射X射线荧光分析技术是分析薄膜特性和介质表面的一种重要工具。文中简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法,介绍了一种在实验室里由激发光源、样品承载系统、色散系统、探测系统和数据收集及处理系统构成的掠出射X射线荧光光谱仪系统,并给出了利用55Fe放射性同位素标定该光谱仪系统的试验结果。
关键词
光谱仪
研制
掠出射x射线荧光
光谱分析
薄膜
Keywords
grazing e
x
it
x
_ray fluorescence
spectrum analysis
thin layer
分类号
TH744.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用
2
作者
杨君
刘志国
徐清
韩东艳
林晓燕
杜晓光
Kouichi Tsuji
丁训良
机构
北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室核科学与技术学院北京市辐射中心
中国科学院高能物理研究所
Department of Applied Chemistry
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第1期26-32,共7页
基金
应用光学北京市重点实验室建设资助项目(000-105806)
文摘
建立了应用导管X光透镜的掠出射微区X射线荧光分析系统,并将该系统应用于纳米薄膜的分析。为了提高入射X射线的强度并提高系统的空间分辨率,选用焦斑为41.7μm的会聚透镜对原级X射线进行会聚,并在探测器前加上50μm的狭缝以提高掠出射角扫描的角度分辨率。为了提高工作效率,编写了该系统的自动控制软件,实现了样品的自动扫描。利用该系统对采用金属蒸汽真空电弧(MEVVA)源离子束和薄膜沉积技术制备的纳米薄膜进行了掠入射X射线荧光和二维扫描分析。实验结果表明:该系统能有效地分析纳米厚度的薄膜,通过对薄膜进行掠出射角扫描分析和表面的二维扫描分析,得到了薄膜的厚度,密度及均匀性等信息。微区分析的空间分辨率可达到41.7μm,实际空间分辨率为扫描步长50μm。系统可用于分析薄膜样品,且荧光强度高,所需时间短,获得的信息全面丰富,数据可靠。
关键词
毛细管
x
射线
光学器件
掠出射x射线荧光
全反
射
薄膜分析
Keywords
polycapillary
x
ray lens
Grazing E
x
it
x
-ray Fluorescence （GE-
x
RF）
total reflection
film analysis
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掠出射X射线荧光光谱仪研制
巩岩
尼启良
陈波
曹健林
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2002
2
在线阅读
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职称材料
2
掠出射微区X射线荧光分析系统的建立及其在薄膜分析中的应用
杨君
刘志国
徐清
韩东艳
林晓燕
杜晓光
Kouichi Tsuji
丁训良
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
已选择
0
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