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掠入射X射线散射法测量超光滑表面
被引量：
6
1
作者
王永刚
孟艳丽
+2 位作者
马文生
陈斌
陈波
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期60-68,共9页
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱...
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度<0.02mm,入射光发散度<43″时,在空间频率>0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差<2%。随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%。
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关键词
掠入射x射线散射法
超光滑表面
微扰理论
功率谱密度(PSD)
原子力显微镜(AFM)
系统误差
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职称材料
题名
掠入射X射线散射法测量超光滑表面
被引量：
6
1
作者
王永刚
孟艳丽
马文生
陈斌
陈波
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院研究生院
东北师范大学物理系
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期60-68,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.40774098
No.10878004)
文摘
介绍了掠入射X射线散射法(GXRS)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数(PSD)与使用原子力显微镜(AFM)所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度<0.02mm,入射光发散度<43″时,在空间频率>0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函数测量误差<2%。随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,PSD函数的误差随频率的增加而减小,仪器的重复精度优于2.6%。
关键词
掠入射x射线散射法
超光滑表面
微扰理论
功率谱密度(PSD)
原子力显微镜(AFM)
系统误差
Keywords
Grazing-incidence
x
-ray Scattering（G
x
RS）
super-smooth surface
perturbation theory
Power Spectral Density（PSD）
Atomic Force Microscope（AFM）
systematic error
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
O433.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
掠入射X射线散射法测量超光滑表面
王永刚
孟艳丽
马文生
陈斌
陈波
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
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