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KBAX射线显微镜分辨力模型
被引量：
2
1
作者
赵玲玲
胡家升
+1 位作者
孙德林
王刚
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第10期2668-2672,共5页
综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%～80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分...
综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%～80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力。KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致。用单层膜KBA显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4μm,±100μm视场的分辨力优于5μm。实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小。
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关键词
X射线
成像
KBA显微镜
掠入射反射成像系统
消像散
系统
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职称材料
题名
KBAX射线显微镜分辨力模型
被引量：
2
1
作者
赵玲玲
胡家升
孙德林
王刚
机构
鲁东大学物理与电子工程学院
大连理工大学电子与信息工程学院
鲁东大学交通学院
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第10期2668-2672,共5页
基金
山东省自然科学基金项目(ZR2011AQ023)
文摘
综合考虑了几何像差、衍射效应和加工精度等因素对KBA X射线显微镜分辨力的影响,构建了分辨力模型。通过光线追迹模拟得到了不同视场位置的边缘响应函数,以20%～80%的评价标准确定了几何像差分辨力。由构建的空间分辨力模型得到理论分辨力。KBA X射线显微镜整个视场几何像差分辨力、理论分辨力和实测分辨力基本一致。用单层膜KBA显微镜获得的X射线成像结果,得出中心视场的分辨力约为4μm,±100μm视场的分辨力优于5μm。实验结果表明,几何像差对空间分辨力影响权重相对较大,是影响空间分辨力的决定性因素,其它因素的影响相对较小。
关键词
X射线
成像
KBA显微镜
掠入射反射成像系统
消像散
系统
Keywords
X-ray imaging
KBA microscope
grazing mirror system
anastigmatic system
分类号
O434.19 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
KBAX射线显微镜分辨力模型
赵玲玲
胡家升
孙德林
王刚
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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