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烧结工艺对掺Al增强氮化铝陶瓷基板的显微结构和性能的影响 被引量:1
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作者 赵世泽 林坤吉 +2 位作者 张文铎 齐于杰 赵哲 《热加工工艺》 北大核心 2024年第24期85-91,共7页
选用Y_(2)O_(3)-Al作为烧结助剂,采用流延成型法制备Al N陶瓷。研究了排胶和烧结制度对Al N陶瓷的物相组成、致密度、显微组织、热学及力学性能的影响。结果表明,真空-空气两步排胶法能够减缓排胶过程中Al的氧化,制备的Al N陶瓷第二相... 选用Y_(2)O_(3)-Al作为烧结助剂,采用流延成型法制备Al N陶瓷。研究了排胶和烧结制度对Al N陶瓷的物相组成、致密度、显微组织、热学及力学性能的影响。结果表明,真空-空气两步排胶法能够减缓排胶过程中Al的氧化,制备的Al N陶瓷第二相孤立分布在三角晶界处,热导率和弯曲强度分别比一步排胶法制备的陶瓷高2.5%和14.8%。随着烧结温度的升高,第二相由YAG转变为Y_(2)O_(3)/Al_(2)O_(3)比较高的YAP,晶格氧含量下降。经过1800℃烧结后,AlN陶瓷的热导率和弯曲强度分别达到了171.23 W·m^(-1)·K^(-1)和(456.77±19.34)MPa。 展开更多
关键词 Al N陶瓷 流延成型 烧结温度 排胶策略
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