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题名重力仪加速度计振动整流误差改进方法
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作者
齐国华
崔粲
吴萌萌
聂鲁燕
孟兆海
张志涛
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机构
天津航海仪器研究所
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出处
《中国惯性技术学报》
北大核心
2025年第3期279-283,308,共6页
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基金
国家自然科学基金青年基金项目(42204146)。
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文摘
石英挠性加速度计作为航空/海洋重力仪的重力敏感元件,在使用过程中经常会遭遇颠簸、风浪等振动条件,产生振动整流误差,影响重力仪测量精度。针对这一问题,对加速度计的振动整流误差机理进行了理论分析,并对影响加速度计输出非线性的因素进行了仿真分析,经过实验验证,通过优化磁钢性能、提高磁路结构对称性等措施,加速度计振动整流误差可以降低到改进前的1/10~1/20,重力仪系统振动整流误差由原来的1 mGal降低到0.7 mGal,显著改善了重力仪的抗振性能。
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关键词
重力仪
加速度计
振动整流误差
磁场
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Keywords
gravimeter
accelerometer
vibration rectification error
magnetic field
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分类号
TH824
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名翘翘板摆式MEMS加速度计振动整流误差
被引量：1
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作者
肖鹏
孙国良
刘林
王小斌
孙俊杰
余才佳
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机构
西北工业大学自动化学院
西安飞行自动控制研究所
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2017年第5期690-694,共5页
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基金
国际合作项目-高精度微机电系统制造技术合作研究(2011DFA72370)
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文摘
MEMS加速度计凭借其体积小、成本低、可靠性高及可批量生产等优势,已经在战术级精度的武器领域得到了广泛应用。但是,在振动环境下的输出误差(振动整流误差)成为其向导航级精度发展的主要指标瓶颈。为了减小MEMS加速度计的振动整流误差,对传感器芯片结构不对称性和电路零位误差引起的力矩器结构非线性进行了理论分析,然后按照振动法测非线性的方式对上述误差源引起的系统级误差模型进行了仿真试验验证,确定了各误差源与加速度计非线性系数间的影响关系。最后,对主要误差源(电路零位)优化前后的MEMS加速度计振动整流误差和非线性系数进行了测试对比,结果表明:优化后,在50~1500 Hz频率范围内MEMS加速度计二阶非线性的最大值可由1E-4g/g^2降至5E-6g/g^2。
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关键词
MEMS加速度计
振动整流误差
非线性
闭环平衡位置
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Keywords
MEMS accelerometer
vibration rectification error
nonlinearity
closed loop position
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名一体式石英振梁加速度计工程化研究进展
被引量：6
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作者
杨挺
刘平
杨贵玉
路文一
金小锋
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机构
航天长征火箭技术有限公司
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出处
《遥测遥控》
2019年第2期39-45,共7页
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基金
总装预研项目
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文摘
一体式石英振梁加速度计是一种高精度谐振式MEMS惯性传感器。针对现有石英振梁加速度计存在的体积大、全温及力学环境适应性不足等问题,提出一种基于三层石英结构的一体式石英振梁加速度计的设计方案。通过突破高精度薄梁腐蚀及晶圆级键合两项关键技术,成功研制出加速度计样机。经测试,产品全温稳定性优于0.5mg,振动整流误差优于200μg/g^2(@15.68g rms),可以满足中高精度惯性导航应用需求。后续期望通过原位温度补偿及直接键合等技术进一步提升一体式石英振梁加速度计的全温精度及长期稳定性。
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关键词
石英振梁加速度计
晶圆级键合
全温稳定性
振动整流误差
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Keywords
Quartz vibrating beam accelerometer
Wafer bonding
Full-temperature stability
Vibration rectification error
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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