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石英微机械振动陀螺振子的失效分析
被引量：
3
1
作者
荣丽梅
常嗣和
+1 位作者
姬红
阮世池
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期620-621,共2页
关键词
微机械
惯性
器件
振动惯性技术
微电子
技术
石英微机械
振动
陀螺振子
晶体表面加工
技术
在线阅读
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职称材料
题名
石英微机械振动陀螺振子的失效分析
被引量：
3
1
作者
荣丽梅
常嗣和
姬红
阮世池
机构
电子科技大学微固学院分析中心
成都理工大学电镜室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期620-621,共2页
关键词
微机械
惯性
器件
振动惯性技术
微电子
技术
石英微机械
振动
陀螺振子
晶体表面加工
技术
分类号
V448.23 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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1
石英微机械振动陀螺振子的失效分析
荣丽梅
常嗣和
姬红
阮世池
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2003
3
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