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振动式微陀螺正交误差自补偿方法
被引量：
8
1
作者
刘学
陈志华
+4 位作者
肖定邦
吴学忠
苏剑彬
侯占强
贺琨
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1221-1225,共5页
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正...
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正交误差闭环控制自补偿方法。通过将经正交误差幅值调幅控制的驱动位移信号闭环反馈作用到检测模态的输出,实现正交误差的自补偿。制作PCB电路测试了微陀螺的性能。正交误差自补偿后微陀螺零偏输出均值从778 mV减小到了2 mV,零偏稳定性从75°/h提高到了34.5°/h。实验结果表明,此方法是可行的。
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关键词
微机电系统
正交误差
自补偿
振动式微陀螺
交叉耦合
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职称材料
嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法
被引量：
7
2
作者
于得川
何汉辉
+2 位作者
周鑫
肖定邦
吴学忠
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第7期134-137,145,共5页
对于工作在n=2模态谐振结构,静电修调是一种消除频率裂解、实现模态匹配的常用方法。基于环形谐振子的刚度扰动模型,提出了一种直观而实用的修调算法。通过巧妙地近似,并将嵌套环结构的内置修调电极等效为两簇簇带负刚度的"径向弹...
对于工作在n=2模态谐振结构,静电修调是一种消除频率裂解、实现模态匹配的常用方法。基于环形谐振子的刚度扰动模型,提出了一种直观而实用的修调算法。通过巧妙地近似,并将嵌套环结构的内置修调电极等效为两簇簇带负刚度的"径向弹簧",从而将单环谐振结构的理论模型成功应用于多环嵌套结构。最后通过静电修调实验对该算法进行了验证,实现了带误差谐振子的模态匹配。实验结果表明:通过该算法频率裂解从15 Hz左右被修到0.03 Hz左右。
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关键词
嵌套环
式微
机电系统
振动
陀螺
频率裂解
频率修调
模态匹配
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职称材料
题名
振动式微陀螺正交误差自补偿方法
被引量：
8
1
作者
刘学
陈志华
肖定邦
吴学忠
苏剑彬
侯占强
贺琨
机构
国防科学技术大学机电工程与自动化学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1221-1225,共5页
基金
基于弹性波传递效应的杯型波动陀螺设计理论及制造技术研究(51005239)
基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究(51175506)
文摘
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正交误差闭环控制自补偿方法。通过将经正交误差幅值调幅控制的驱动位移信号闭环反馈作用到检测模态的输出,实现正交误差的自补偿。制作PCB电路测试了微陀螺的性能。正交误差自补偿后微陀螺零偏输出均值从778 mV减小到了2 mV,零偏稳定性从75°/h提高到了34.5°/h。实验结果表明,此方法是可行的。
关键词
微机电系统
正交误差
自补偿
振动式微陀螺
交叉耦合
Keywords
MEMS
quadrature error
self-compensation
vibratory micro-gyroscope
cross-coupling
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法
被引量：
7
2
作者
于得川
何汉辉
周鑫
肖定邦
吴学忠
机构
国防科技大学机电工程与自动化学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第7期134-137,145,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51335011
51575521)
文摘
对于工作在n=2模态谐振结构,静电修调是一种消除频率裂解、实现模态匹配的常用方法。基于环形谐振子的刚度扰动模型,提出了一种直观而实用的修调算法。通过巧妙地近似,并将嵌套环结构的内置修调电极等效为两簇簇带负刚度的"径向弹簧",从而将单环谐振结构的理论模型成功应用于多环嵌套结构。最后通过静电修调实验对该算法进行了验证,实现了带误差谐振子的模态匹配。实验结果表明:通过该算法频率裂解从15 Hz左右被修到0.03 Hz左右。
关键词
嵌套环
式微
机电系统
振动
陀螺
频率裂解
频率修调
模态匹配
Keywords
disk MEMS resonator gyroscope
frequency split
frequency tuning
matching of modes
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
振动式微陀螺正交误差自补偿方法
刘学
陈志华
肖定邦
吴学忠
苏剑彬
侯占强
贺琨
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
8
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职称材料
2
嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法
于得川
何汉辉
周鑫
肖定邦
吴学忠
《传感器与微系统》
CSCD
2017
7
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