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指纹状碳薄膜在润滑油作用下的摩擦学性能
被引量：
1
1
作者
俞树荣
马巍
+1 位作者
龚珍彬
张俊彦
《兰州理工大学学报》
CAS
北大核心
2018年第6期69-73,共5页
利用高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积(HIP-PECVD)技术,在硅基底表面制备指纹状的碳基薄膜(FPC∶H).通过Tecnai-G2F30型高分辨透射电镜(HRTEM)以及LABRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜的结构进行表征;利用往复摩擦试验机、奥林巴斯STM6...
利用高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积(HIP-PECVD)技术,在硅基底表面制备指纹状的碳基薄膜(FPC∶H).通过Tecnai-G2F30型高分辨透射电镜(HRTEM)以及LABRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜的结构进行表征;利用往复摩擦试验机、奥林巴斯STM6测量显微镜和3D轮廓仪分析比较薄膜在润滑油作用下的摩擦性能.实验结果表明:所制备的碳基薄膜具有独特的指纹状类石墨烯结构;在三羟甲基丙烷油酸酯(TMPTO)作为润滑油的条件下,指纹状类石墨烯碳基薄膜在低载荷下表现出良好的减摩性能;在高载荷下表现出优异的抗磨性能,因此指纹状碳薄膜在润滑油作用下具有巨大的发展潜力和实用前景.
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关键词
高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积
指纹状碳薄膜
润滑油
摩擦性能
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职称材料
题名
指纹状碳薄膜在润滑油作用下的摩擦学性能
被引量：
1
1
作者
俞树荣
马巍
龚珍彬
张俊彦
机构
兰州理工大学石油化工学院
兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《兰州理工大学学报》
CAS
北大核心
2018年第6期69-73,共5页
基金
科技部973项目(2013CB632300)
文摘
利用高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积(HIP-PECVD)技术,在硅基底表面制备指纹状的碳基薄膜(FPC∶H).通过Tecnai-G2F30型高分辨透射电镜(HRTEM)以及LABRAM HR 800型拉曼光谱仪对薄膜的结构进行表征;利用往复摩擦试验机、奥林巴斯STM6测量显微镜和3D轮廓仪分析比较薄膜在润滑油作用下的摩擦性能.实验结果表明:所制备的碳基薄膜具有独特的指纹状类石墨烯结构;在三羟甲基丙烷油酸酯(TMPTO)作为润滑油的条件下,指纹状类石墨烯碳基薄膜在低载荷下表现出良好的减摩性能;在高载荷下表现出优异的抗磨性能,因此指纹状碳薄膜在润滑油作用下具有巨大的发展潜力和实用前景.
关键词
高功率脉冲等离子体增强化学气相沉积
指纹状碳薄膜
润滑油
摩擦性能
Keywords
high-power pulsed plasma-enhanced chemical vapor deposition
fingerprint-like carbon film
lubricant
tribological performance
分类号
TQ051 [化学工程]
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作者
出处
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被引量
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1
指纹状碳薄膜在润滑油作用下的摩擦学性能
俞树荣
马巍
龚珍彬
张俊彦
《兰州理工大学学报》
CAS
北大核心
2018
1
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