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基于指条厚度优化的冷凝式声表面波气体传感器灵敏度提升方法
1
作者
邹亮桃
刘久玲
+3 位作者
游然
刘明华
任伟
何世堂
《应用声学》
CSCD
北大核心
2022年第3期412-420,共9页
该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计...
该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计算了不同指条厚度下液膜负载引起的传感器响应,获得了冷凝式声表面波气体传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。实验中制备了6种不同电极厚度的声表面波谐振器,并利用甲基膦酸二甲酯实验样品完成了传感器的响应测试,验证了理论分析的正确性。结果表明,冷凝式声表面波气体传感器的灵敏度随指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化电极厚度为6.4%7.6%之间。该研究结果对进一步提升传感器灵敏度具有重要意义。
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关键词
冷凝式声表面波气体传感器
流固耦合理论
指条厚度优化
灵敏度
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职称材料
题名
基于指条厚度优化的冷凝式声表面波气体传感器灵敏度提升方法
1
作者
邹亮桃
刘久玲
游然
刘明华
任伟
何世堂
机构
中国科学院声学研究所
中国科学院大学
出处
《应用声学》
CSCD
北大核心
2022年第3期412-420,共9页
文摘
该文通过对声表面波谐振器指条厚度的优化提升了冷凝式气体传感器的灵敏度。基于流固耦合理论,利用有限元商业软件建立了有液膜负载和无液膜负载下的多物理场三维周期模型,并提取了相应的耦合模参量,利用耦合模模型及P矩阵级联技术,计算了不同指条厚度下液膜负载引起的传感器响应,获得了冷凝式声表面波气体传感器灵敏度随指条厚度的变化关系。实验中制备了6种不同电极厚度的声表面波谐振器,并利用甲基膦酸二甲酯实验样品完成了传感器的响应测试,验证了理论分析的正确性。结果表明,冷凝式声表面波气体传感器的灵敏度随指条厚度的增加先变大后减小,最优归一化电极厚度为6.4%7.6%之间。该研究结果对进一步提升传感器灵敏度具有重要意义。
关键词
冷凝式声表面波气体传感器
流固耦合理论
指条厚度优化
灵敏度
Keywords
Condensing-type surface acoustic wave gas sensor
The fluid-solid coupling theory
Electrode thickness optimization
Sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
基于指条厚度优化的冷凝式声表面波气体传感器灵敏度提升方法
邹亮桃
刘久玲
游然
刘明华
任伟
何世堂
《应用声学》
CSCD
北大核心
2022
0
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