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题名SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制
被引量：1
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作者
黄承超
徐垚
王占山
陈玲燕
田扬超
刘刚
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机构
同济大学精密光学工程技术研究所
中国科技大学国家同步辐射实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2007年第5期671-674,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10575076)
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文摘
作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种。研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果。单组透镜的几何孔径为250μm,焦距为30 cm。共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23μm变化到37μm。在光子能量为8.05 keV条件下,透镜的理论透过率从43.3%变化到33.2%。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224μm。透镜光学性能的测试正在进行中。
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关键词
抛物形折射透镜
X射线
聚焦
X射线衍射仪
SU-8
紫外光刻
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Keywords
Parabolic refractive lenses
X-ray
Focusing
X-ray diffractometer
SU-8
Ultra violet lithography
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分类号
O434.1
[机械工程—光学工程]
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