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题名基于全因子实验设计的离子抛光工艺研究
被引量：11
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作者
马晓丽
刘礼
王立强
李晓玲
曹力军
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机构
上海交通大学材料科学与工程学院
永大电梯设备(中国)有限公司
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期276-280,共5页
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基金
上海交通大学决策咨询课题重点课题(No.JCZXSJA2018-001)
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文摘
材料学院检测分析中心利用离子抛光设备在电镜制样服务中发现,金属基复合材料的送样率很高,但缺乏标准制样工艺研究。本文针对钛基复合材料,设计了离子抛光两因素四水平的全因子试验。两因素分别为加速电压和抛光时间,其中加速电压的水平为3 kV、4 kV、5 kV和6 kV,抛光时间为2 h、4 h、6 h和8 h。抛光宽度、抛光深度和抛光面积为离子抛光形态主要的表征参数。观察不同抛光工艺参数条件下的抛光形态,并利用软件对抛光成形参数进行量化和对比计算。利用方差分析验证了主效应和交互效应的模型准确性,并对离子抛光的成形参数进行了回归分析和范围预测。该研究可以为材料离子抛光工艺提供检测服务案例,建立标准制样工艺,以减小实验周期和成本,提高电镜制样效率。
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关键词
加速电压
抛光时间
抛光宽度
抛光深度
抛光面积
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Keywords
polishing voltage
polishing time
polishing width
polishing penetration
polishing area
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分类号
O766.1
[理学—晶体学]
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