-
题名钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺
被引量：1
- 1
-
-
作者
孙志明
金洙吉
韩晓龙
范康男
司立坤
-
机构
大连理工大学机械工程学院
-
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2018年第1期73-77,共5页
-
基金
国家重点研发计划项目(2016YFB1102205)
-
文摘
钇铝石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)是性能优良的激光晶体,但其属于硬脆材料(莫氏硬度8.5),在抛光时易产生划痕及凹坑等缺陷。为去除YAG晶体的表面缺陷,用铜盘进行粗磨,并研究载荷和抛光盘转速对晶体平面度和表面粗糙度的影响。结果显示:铜盘可改善晶体表面缺陷,在转速70r/min、载荷15kPa时抛光45min可达到最佳加工效果。再使用IC1000进一步降低晶体表面粗糙度,在抛光盘转速为9r/min,抛光压力为15kPa的条件下抛光30min后,平面度PV可达100nm,表面粗糙度RMS可达0.9nm,在体视显微镜下观察无划痕及凹坑。
-
关键词
磨粒团聚
平面度
表面粗糙度
抛光盘转速
-
Keywords
abrasive agglomeration
flatness
surface roughness
rotation speed of polishing disc
-
分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TH162
[机械工程—机械制造及自动化]
-
