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题名反射式椭偏测试系统的全局优化算法
被引量：1
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作者
周建华
游佰强
洪志哲
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机构
夏门大学电子工程系
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期214-216,共3页
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基金
福建省青年科技人才创新项目资金提供资助 (No.2001J024)。
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文摘
首先针对可变入射角的反射法消光椭偏测试系统,讨论其计算公式和求解思路,建立了全局目标优化函数,提出一种网格优化算法,即计算中可半智能跟踪最优解的方法。利用新算法解决了求解中的多峰问题,从而可以高精度计算薄膜的折射率与厚度。开发了相关软件,处理进口椭偏仪测量的消光参数,获得了大入射角条件下SiO2 薄膜的折射率和厚度,并与其它方法的计算结果进行对比分析,发现此方法计算结果可以达到更高的精度,有利于指导微米到纳米级复杂结构和成分的薄膜光波导的性能分析。最后通过对较小入射角实测数据的分析,指出了传统理论模型在光斑干涉效应及衍射效应方面的不足。
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关键词
椭圆偏振法
折射率和膜厚
全局优化算法
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Keywords
ellipsometer
refractive index and film thickness
overall optimization algorithm
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分类号
O484.5
[理学—固体物理]
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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