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题名基于F-P腔的大孔径MEMS滤波器设计
被引量：1
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作者
孙创
王思亮
王鹏
王文婧
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机构
安徽大学集成电路学院
安徽北方微电子研究院集团有限公司
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出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第4期119-122,127,共5页
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基金
安徽省高校协同创新项目(GXXT-2022-080)。
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文摘
基于微机电系统(MEMS)技术,设计了一种大孔径的微型F-P腔可调谐滤波器光机敏感结构。器件结构采用折叠悬臂梁设计,在中波红外(3~5μm)光谱范围内实现了通光区域为2 mm×2 mm滤波器件的调谐。通过进行调谐位移、结构应力和平整度分析,完成器件结构的仿真研究。结果表明:在中波范围内,该结构的调谐位移为0.83μm,最大驱动电压为13 V,最大倾斜角为0.0021°。同时,采用高低折射率交替的方法,设计了一种多层介质的高反膜,平均反射率达到90.52%,可实现高精度的滤波效果。
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关键词
微机电系统
大孔径
法布里-珀罗腔
可调谐滤波器
折叠悬臂梁
高反膜
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Keywords
MEMS
large aperture
Fabry-Perot cavity
tunable filter
folding cantilever beam
high reflective film
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN713
[电子电信—电路与系统]
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