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静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究
1
作者
王绥辉
徐恒通
+4 位作者
李刚
韩晓东
孙雯君
成永军
李得天
《真空与低温》
2024年第2期105-111,共7页
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表...
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。
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关键词
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计
微小电容检测
交流激励式
抗驱动电压干扰
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职称材料
题名
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究
1
作者
王绥辉
徐恒通
李刚
韩晓东
孙雯君
成永军
李得天
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2024年第2期105-111,共7页
基金
国家重点研发计划(2023YFF0717200)。
文摘
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。
关键词
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计
微小电容检测
交流激励式
抗驱动电压干扰
Keywords
electrostatic servo MEMS capacitance diaphragm gauge
micro-capacitance detection
AC excitation type
anti-drive voltage interference
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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题名
作者
出处
发文年
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1
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究
王绥辉
徐恒通
李刚
韩晓东
孙雯君
成永军
李得天
《真空与低温》
2024
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