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多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
被引量：
7
1
作者
丁建宁
范真
+1 位作者
李长生
温诗铸
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期274-277,共4页
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的...
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明 ,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关 ,而与结构的宽度无关。
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关键词
多晶硅微机械
抗粘附结构参数设计
微型机械
表面张力
CASIMIR力
稳定性
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职称材料
题名
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
被引量：
7
1
作者
丁建宁
范真
李长生
温诗铸
机构
江苏大学微米纳米科学技术研究中心
清华大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期274-277,共4页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(2 0 0 0 0 0 0 338)
江苏大学高级人才基金(681 0 0 0 0 0 1 8)
文摘
讨论了在大气环境或有液体的环境下 ,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响 ,以及真空条件下 Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响。建立了 Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论。对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明 ,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关 ,而与结构的宽度无关。
关键词
多晶硅微机械
抗粘附结构参数设计
微型机械
表面张力
CASIMIR力
稳定性
Keywords
MEMS capillary force Casimir force mechanical stability sticking
分类号
TH－39 [机械工程]
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多晶硅微机械抗粘附结构参数设计
丁建宁
范真
李长生
温诗铸
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
7
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