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圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制
被引量：
7
1
作者
郭旭东
董亭亭
+2 位作者
付跃刚
陈驰
温春超
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第9期108-114,共7页
采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参...
采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参数进行了公差分析。制作中应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在硅基底上制备得到该圆锥形仿生蛾眼微结构,并且使用热场发射扫描电子显微镜得到了该微结构的表面形貌图。采用红外成像光谱仪对单面微结构的测试结果表明,仿生蛾眼微结构的反射率在中红外波段约为5%。
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关键词
蛾眼
抗反射微纳结构
反射
率
时域有限差分法
反应离子刻蚀
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职称材料
题名
圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制
被引量：
7
1
作者
郭旭东
董亭亭
付跃刚
陈驰
温春超
机构
长春理工大学光电工程学院
华中光电技术研究所-武汉光电国家实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017年第9期108-114,共7页
基金
吉林省自然科学基金(140101JC010015467)
文摘
采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参数进行了公差分析。制作中应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在硅基底上制备得到该圆锥形仿生蛾眼微结构,并且使用热场发射扫描电子显微镜得到了该微结构的表面形貌图。采用红外成像光谱仪对单面微结构的测试结果表明,仿生蛾眼微结构的反射率在中红外波段约为5%。
关键词
蛾眼
抗反射微纳结构
反射
率
时域有限差分法
反应离子刻蚀
Keywords
moth-eye
anti-reflection micro-nano structure
reflectivity
finite difference time domain （FDTD） method
reactive ion etching
分类号
O485 [理学—固体物理]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
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被引量
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1
圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制
郭旭东
董亭亭
付跃刚
陈驰
温春超
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2017
7
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