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红外抗反射微纳结构刻蚀制备研究进展
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作者 李雪伍 王红星 +3 位作者 郭伟玲 邢志国 黄艳斐 王海斗 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期162-171,共10页
“蛾眼效应”指光波折射率因蛾眼表面微纳结构在深度方向呈连续性变化,使大部分光被吸收,只有极少被反射的现象。受“蛾眼效应”启发,在材料表面制备微纳结构使其具有独特抗反射性能受到广泛关注,在太阳能电池、光电探测器、光电二极管... “蛾眼效应”指光波折射率因蛾眼表面微纳结构在深度方向呈连续性变化,使大部分光被吸收,只有极少被反射的现象。受“蛾眼效应”启发,在材料表面制备微纳结构使其具有独特抗反射性能受到广泛关注,在太阳能电池、光电探测器、光电二极管和军事隐身等领域有广阔应用前景。本文梳理不同微纳结构抗反射原理,并对红外抗反射结构的不同刻蚀制备方法及其应用进行综述,总结了化学刻蚀、反应离子刻蚀、超快激光刻蚀等红外抗反射结构制备方法的特点以及对抗反射性能的影响,阐述红外抗反射结构在红外探测、红外热成像和隐身等方面的应用,并对抗反射结构制备方法研究方向与未来前景进行展望。 展开更多
关键词 抗反射结构 红外 微纳结构 刻蚀制备
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旧水泥路面加铺薄层罩面层间阻裂材料抗反射裂缝性能研究
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作者 李禅禅 周立 +1 位作者 李科畅 李金辉 《公路与汽运》 2024年第6期85-88,138,共5页
为评价层间阻裂材料对旧水泥路面加铺薄层罩面复合结构抗反射裂缝性能的影响,分别成型不加铺阻裂材料、加铺自黏式抗裂贴、加铺土工格栅的3种不同复合结构试件进行滚动荷载疲劳试验和加铺层(OT)试验。结果表明,加铺阻裂材料可延缓罩面... 为评价层间阻裂材料对旧水泥路面加铺薄层罩面复合结构抗反射裂缝性能的影响,分别成型不加铺阻裂材料、加铺自黏式抗裂贴、加铺土工格栅的3种不同复合结构试件进行滚动荷载疲劳试验和加铺层(OT)试验。结果表明,加铺阻裂材料可延缓罩面层反射裂缝的产生,自黏式抗裂贴的抗反射裂缝性能优于土工格栅;对旧水泥路面接缝进行灌缝可在一定程度上延缓反射裂缝的产生。对旧水泥路面加铺薄层罩面时,建议采用在层间增设自黏式抗裂贴并对接缝进行灌缝处理的技术方案,以提高复合结构的抗反射裂缝能力和使用寿命。 展开更多
关键词 公路 水泥路面 薄层罩面 层间阻裂材料 抗反射裂缝性能
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基于抗反射裂缝的“白加黑”路面结构优化及性能研究
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作者 罗赛 《西部交通科技》 2024年第6期21-24,共4页
为有效提升“白加黑”路面服务水平,文章针对其易在水泥板接缝处产生反射裂缝的痛难点,展开“白加黑”路面结构优化研究。基于ABAQUS软件,建立了“白加黑”路面结构的有限元模型,通过分析加铺沥青层厚度及模量参数对其层底薄弱点受力影... 为有效提升“白加黑”路面服务水平,文章针对其易在水泥板接缝处产生反射裂缝的痛难点,展开“白加黑”路面结构优化研究。基于ABAQUS软件,建立了“白加黑”路面结构的有限元模型,通过分析加铺沥青层厚度及模量参数对其层底薄弱点受力影响,优化加铺沥青层的层厚设置及混合料类型选择;通过数值模拟分析、抗疲劳性能试验等,对比研究了橡胶沥青应力吸收层、共振碎石化、土工布、OLSM-25抗裂层等抗反射裂缝措施的效果及经济性。结果表明:推荐“白加黑”路面沥青加铺层厚度为8~10cm、弹性模量为1000~1200MPa,在工程预算有限的情况下,抗反射裂缝措施建议采用共振碎石化或者橡胶沥青应力吸收层,在工程成本允许的情况下,可考虑采用共振碎石化+橡胶沥青应力吸收层结合的措施。 展开更多
关键词 “白加黑”路面结构 ABAQUS 抗反射裂缝 疲劳开裂
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亚波长浮雕结构的红外抗反射研究 被引量:7
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作者 陈思乡 易新建 +1 位作者 曾延安 陈四海 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第6期471-474,共4页
基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维... 基于等效媒质理论 ,对周期性浮雕结构的抗反射特性进行了分析和研究 .给出了二维对称的抗反射浮雕结构等效光学参数的估算方法 .提出了基于最小特征尺寸考虑的脊基和隙空的设计概念 .利用离子束刻蚀工艺技术 ,在 Si片上制备了一种两维红外抗反射浮雕图案 .测试结果表明 ,这种表面结构像单层抗反射膜一样 ,具有很好的增透效果 ,表面结构的等效折射率相当于镀层材料折射率 ,而刻蚀深度则相当于镀层的 1/ 4波长厚度 . 展开更多
关键词 抗反射 亚波长结构 二元光学 等效媒质理论 离子束刻蚀技术 浮雕 等效折射率 电镜分析 红外理论
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亚波长纳米结构宽波段抗反射特性 被引量:7
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作者 李海华 黄康 王庆康 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第2期267-270,共4页
研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表... 研究了玻璃(折射率n=1.52)表面周期性台阶结构的宽波段抗反射特性。利用等效媒质理论,对单台阶和二台阶结构进行了参数设计,并用严格耦合波理论对设计的台阶结构进行了入射光波长、入射角的反射效率、反射级次特性分析计算。研究结果表明:当亚波长纳米结构的周期低于周期阈值时,随着入射波长的增加只有零级衍射;台阶层数的增加,可增加红外抗反射入射波长和入射角的范围。二台阶结构可以在可见光和整个红外波段的反射率都低于1%。在玻璃表面上制备的台阶结构和基底为一体,这种方法克服了抗反射膜层的许多不足,其附着力、抗蚀刻、渗透扩散等问题均不存在,适用于受温度和湿度等环境因素影响较大的可见光及红外抗反射器件的设计和制作工艺中。 展开更多
关键词 亚波长 抗反射 台阶
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蓝宝石红外窗口抗反射浮雕结构研究 被引量:9
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作者 孙艳军 冷雁冰 董连和 《红外技术》 CSCD 北大核心 2011年第2期92-95,共4页
采用相应技术,在红外材料表面制成的亚波长浮雕结构能实现红外波段的减反功能。在恶劣环境中,红外窗口采用该结构代替红外减反膜能够提高其抗蚀、抗冲击等性能。通过等效媒质理论设计亚波长浮雕单元结构,采用光刻及离子蚀刻方法完成蓝... 采用相应技术,在红外材料表面制成的亚波长浮雕结构能实现红外波段的减反功能。在恶劣环境中,红外窗口采用该结构代替红外减反膜能够提高其抗蚀、抗冲击等性能。通过等效媒质理论设计亚波长浮雕单元结构,采用光刻及离子蚀刻方法完成蓝宝石材料表面浮雕结构制作,经测试红外透过率整体提高大约10%。经分析,浮雕结构的周期、占空比、单元深度等因素都对减反结果影响很大。 展开更多
关键词 亚波长 浮雕结构 蓝宝石 抗反射
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宽波长太阳能电池抗反射层结构设计 被引量:9
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作者 许宜申 顾济华 +1 位作者 陶智 吴迪 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第6期999-1002,共4页
为了降低太阳能电池表面对入射光的反射,提高其光电转换效率,设计了入射光谱在400~1100nm宽波长范围内的二维亚微米抗反射层结构。该结构主要由高折射率ZnS膜层、低折射率MgF2膜层及二维亚微米光栅层等组成。采用严格耦合波分析理论计... 为了降低太阳能电池表面对入射光的反射,提高其光电转换效率,设计了入射光谱在400~1100nm宽波长范围内的二维亚微米抗反射层结构。该结构主要由高折射率ZnS膜层、低折射率MgF2膜层及二维亚微米光栅层等组成。采用严格耦合波分析理论计算了此结构的反射特性,当ZnS膜层、MgF2膜层、光栅深度及光栅周期分别为50nm、150nm、200nm及400nm,入射角在0~80°变化时,其平均反射率为7.76%。计算结果表明:所设计的抗反射层结构可有效降低太阳能电池表面对入射光的反射,从而提高其光电转换效率。 展开更多
关键词 光栅 抗反射 严格耦合波分析 太阳能电池
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超快激光制备金属表面微纳米抗反射结构进展 被引量:11
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作者 范培迅 钟敏霖 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第6期90-101,共12页
材料表面抗反射性能在太阳能利用、光电子产品、红外传感和成像、军事隐身、以及航空航天等领域均具有重要应用价值。文中对材料表面抗反射特性的重要用途、人工实现路径、表面抗反射结构的研究现状及存在的问题等做了详细的论述。目前... 材料表面抗反射性能在太阳能利用、光电子产品、红外传感和成像、军事隐身、以及航空航天等领域均具有重要应用价值。文中对材料表面抗反射特性的重要用途、人工实现路径、表面抗反射结构的研究现状及存在的问题等做了详细的论述。目前,国内外学者已经利用碳纳米管涂层和硅表面针状纳米结构实现了优异的超宽波谱抗反射性能。但迄今为止,金属表面微纳米结构的抗反射能力仍有很大的改善空间。作者所在的清华大学材料学院激光加工研究团队运用新一代高功率高频率超快激光,在金属表面制备出多种类型的特征微纳米结构,对其抗反射性能进行系统研究,实现了紫外一可见、紫外一近红外、紫外一中红外与紫外一远红外分别为2%、6%、5%和8%的超宽光谱超低反射率,并且在0~60°入射角度范围内无明显变化。进一步在微纳米结构基础上发展了“宏一微纳一纳米线”多级多尺度复合结构,在16—17μm波长处的总反射率低至0.6%,在14—18μm波长处总反射率不超过3%。上述优异超宽光谱抗反射性能预期具有良好应用前景。 展开更多
关键词 抗反射 微纳米结构 超快激光
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仿生蛾眼抗反射结构成像系统研制 被引量:2
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作者 董亭亭 张国伟 +3 位作者 郭劼 吴锦双 张为国 付跃刚 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第1期217-222,共6页
仿生蛾眼是一种具有抗反增透效果的微纳米结构,该结构采用化学沉银方法制作了随机分布的双面仿生蛾眼抗反射纳米结构透镜,平均透射率在97%以上。分析了相同参数组合条件下周期蛾眼结构和随机蛾眼结构的透射率情况,得出在设计波段内,随... 仿生蛾眼是一种具有抗反增透效果的微纳米结构,该结构采用化学沉银方法制作了随机分布的双面仿生蛾眼抗反射纳米结构透镜,平均透射率在97%以上。分析了相同参数组合条件下周期蛾眼结构和随机蛾眼结构的透射率情况,得出在设计波段内,随机蛾眼结构透射率优于周期结构的结论。采用蛾眼透镜进行相关参数的计算,利用CODE V平台设计了一款全蛾眼成像镜头。该蛾眼系统焦距为25.5 mm,F数为5,视场角13°,光谱范围400~700 nm。经过成像对比试验显示,蛾眼镜头相比常规镀膜镜头而言,对鬼像、边缘眩光等杂散光具有很好的抑制作用。 展开更多
关键词 蛾眼抗反射结构 微纳加工 光学设计 杂散光抑制
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抗反射亚波长光栅的特性研究 被引量:2
10
作者 王植恒 傅克祥 +2 位作者 文军 王磊 袁景和 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期34-37,共4页
利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数对反射率的影响,特别是基底厚度对反射率的影响,这些为设计和制作具有优良的抗反射性能的二元光学元件提供了设计依据。
关键词 亚波长光栅 矢量衍射 抗反射 光学仪器
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用^(32)S离子辐照法研究聚酯膜在红外光区的抗反射性能 被引量:1
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作者 刘存兄 胡炼 +8 位作者 倪邦发 樊启文 肖才锦 王平生 张贵英 黄东辉 吕鹏 聂鹏 田伟之 《同位素》 CAS 2009年第3期145-148,共4页
为研究圆锥形径迹孔与多层镀膜结合对改善材料在红外光区的抗反射性能的影响,采用HI-13串列加速器提供的32S离子分别辐照20μm和50μm厚的聚酯,用氢氧化钠和PEW溶液蚀刻后,两种聚酯表面的潜径迹成为孔径分别为0.5μm和3μm的径迹孔。在... 为研究圆锥形径迹孔与多层镀膜结合对改善材料在红外光区的抗反射性能的影响,采用HI-13串列加速器提供的32S离子分别辐照20μm和50μm厚的聚酯,用氢氧化钠和PEW溶液蚀刻后,两种聚酯表面的潜径迹成为孔径分别为0.5μm和3μm的径迹孔。在有径迹孔的样品表面,用真空蒸发依次镀上不同厚度的银、石墨和氟化镁或石墨和氟化镁。在2.5~10μm波段的红外光区测量表面全反射。结果显示,有径迹孔的样品表面镀上石墨和氟化镁后反射率可低至1%。径迹孔较深或两面有径迹孔且两面镀膜的样品,具有较强的材料表面抗反射性能。 展开更多
关键词 核径迹 多层镀膜 抗反射 聚酯
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红外30μm亚波长抗反射光栅的制作 被引量:7
12
作者 曹召良 卢振武 +3 位作者 张平 王淑荣 赵晶丽 李凤有 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期6-10,共5页
利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅 ,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅 .测量结果发现该光栅具有良好的增透特性 ,并且测得光栅参数和理论设计参数基本一致 ,表明等离子体辅助刻蚀是制作深光栅的有效方法 .对实... 利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅 ,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅 .测量结果发现该光栅具有良好的增透特性 ,并且测得光栅参数和理论设计参数基本一致 ,表明等离子体辅助刻蚀是制作深光栅的有效方法 .对实验结果进行了分析和讨论 ,结果表明 。 展开更多
关键词 亚波长 抗反射光栅 严格耦合波理论 红外技术 等离子体辅助刻蚀 光栅参数 衍射光学元件
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橡胶沥青混合料抗反射裂缝性能研究 被引量:6
13
作者 郑南翔 李桢 焦丽亚 《中外公路》 北大核心 2020年第3期268-273,共6页
为比较橡胶沥青的抗反射裂缝性能,采用Overlay Tester试验表征混合料的抗反射裂缝性能,选择应力损失率及裂缝扩展速率作为评价沥青混合料抗反射裂缝性能的主要指标,辅以初始最大荷载,比较不同级配、不同沥青的混合料抗反射裂缝性能,并... 为比较橡胶沥青的抗反射裂缝性能,采用Overlay Tester试验表征混合料的抗反射裂缝性能,选择应力损失率及裂缝扩展速率作为评价沥青混合料抗反射裂缝性能的主要指标,辅以初始最大荷载,比较不同级配、不同沥青的混合料抗反射裂缝性能,并基于不同级配混合料的试验结果将OT试验结束条件进行了修正。对2.36、4.75 mm筛孔、软化点、韧度比等多个因素进行灰色关联分析,确定各因素的影响程度,为基于良好的抗反射裂缝性能的橡胶沥青混合料设计提供一定的思路。 展开更多
关键词 橡胶沥青混合料 抗反射裂缝性能 Overlay Tester 灰色关联法
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非晶硅薄膜表面微纳结构制备及抗反射性能研究 被引量:1
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作者 吴杰 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2016年第3期45-49,共5页
为了对非晶硅薄膜表面改性,使其具有更好的抗反射性,将采用激光干涉光刻的方法,在非晶硅薄膜表面制备具有抗反射性能的微纳结构。首先搭建三光束激光干涉系统,使用波长为1064nm的Nd:YAG激光光源,使其在空间分布上接近旋转对称的三束光,... 为了对非晶硅薄膜表面改性,使其具有更好的抗反射性,将采用激光干涉光刻的方法,在非晶硅薄膜表面制备具有抗反射性能的微纳结构。首先搭建三光束激光干涉系统,使用波长为1064nm的Nd:YAG激光光源,使其在空间分布上接近旋转对称的三束光,对非晶硅薄膜进行干涉实验,然后用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对激光刻蚀后的非晶硅薄膜表面结构特征参数进行检测,并使用反射率测量仪对改性后的非晶硅薄膜表面反射率进行测量,分析各参数对抗反射性能的影响。实验结果表明,随着能量逐步增加,光强分布周期没有发生改变,孔的直径、孔与孔之间的距离以及结构深度逐渐发生改变且呈线性分布,而非晶硅表面反射率逐步降低,最低达到10%。 展开更多
关键词 激光干涉 非晶硅薄膜 微纳结构 抗反射
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抗反射亚波长光栅的特性研究
15
作者 王植恒 傅克祥 +1 位作者 文军 王磊 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第S2期97-97,共1页
抗反射亚波长光栅的特性研究王植恒傅克祥文军王磊(四川大学物理系成都610064)本文利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数(光栅深度、基底厚度、占空比、光栅周期)对反射率的影响,发现不仅光栅深度、占... 抗反射亚波长光栅的特性研究王植恒傅克祥文军王磊(四川大学物理系成都610064)本文利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数(光栅深度、基底厚度、占空比、光栅周期)对反射率的影响,发现不仅光栅深度、占空比、光栅周期对反射率存在影响,而... 展开更多
关键词 亚波长光栅 抗反射 结构参数 反射 二元光学元件 矢量衍射理论 基底厚度 占空比 光栅周期 亚波长结构
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会论文选登 多晶硅电池叠层抗反射层的设计研究
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作者 丁武昌 贾锐 +5 位作者 崔冬萌 陈晨 孟彦龙 乔秀梅 金智 刘新宇 《太阳能》 2013年第1期35-37,共3页
根据多晶硅电池对表面抗反射薄膜设计的需要,基于薄膜反射特征导纳矩阵理论结合电池的背底反射,建立了完善的表面反射和电池吸收计算模型,在已知薄膜复折射率的前提下可给出反射率的精确计算结果。利用该计算模型,设计了多种表面反射结... 根据多晶硅电池对表面抗反射薄膜设计的需要,基于薄膜反射特征导纳矩阵理论结合电池的背底反射,建立了完善的表面反射和电池吸收计算模型,在已知薄膜复折射率的前提下可给出反射率的精确计算结果。利用该计算模型,设计了多种表面反射结构,其中硅量子点镶嵌氮化硅与二氧化硅组成的双层抗反射薄膜,在AM1.5光谱下其积分反射率最低可达到4.38%;分析了不同硅量子点体积比对于该双层抗反射膜的影响,系统给出了实际生长该双层抗反射层的具体参数,即富硅氮化硅中的Si∶N=1∶1时即可达到较好的表面抗反射效果。 展开更多
关键词 抗反射 特征导纳 硅量子点 太阳电池
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圆锥形仿生蛾眼抗反射微纳结构的研制 被引量:7
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作者 郭旭东 董亭亭 +2 位作者 付跃刚 陈驰 温春超 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第9期108-114,共7页
采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参... 采用时域有限差分(FDTD)法对中红外波段(3~5μm)硅基底的圆锥形仿生蛾眼微纳结构进行了仿真模拟。通过对微纳结构占空比、周期和刻蚀深度等参数的分析,获得了具有良好抗反射特性的微纳结构的组合参数。为了更好地指导实际加工,对不同参数进行了公差分析。制作中应用二元曝光技术和反应离子刻蚀技术在硅基底上制备得到该圆锥形仿生蛾眼微结构,并且使用热场发射扫描电子显微镜得到了该微结构的表面形貌图。采用红外成像光谱仪对单面微结构的测试结果表明,仿生蛾眼微结构的反射率在中红外波段约为5%。 展开更多
关键词 蛾眼 抗反射微纳结构 反射 时域有限差分法 反应离子刻蚀
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二维亚波长抗反射光栅的制作及其特性分析 被引量:4
18
作者 赵凤梅 刘守 +1 位作者 张向苏 任雪畅 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期32-33,共2页
运用等效介质理论研究了占空比随深度变化的二维亚波长光栅的抗反射原理。对全息干涉法制得的正弦型光栅进行了详细分析,表明这类光栅形成了渐变折射率的抗反膜结构。设计并利用两束相干光对称入射到记录介质(光刻胶)分两次曝光的全息... 运用等效介质理论研究了占空比随深度变化的二维亚波长光栅的抗反射原理。对全息干涉法制得的正弦型光栅进行了详细分析,表明这类光栅形成了渐变折射率的抗反膜结构。设计并利用两束相干光对称入射到记录介质(光刻胶)分两次曝光的全息方法制备了适用于可见波段的周期为310nm的二维正交正弦型光栅。测试结果表明这种光栅在整个可见光波段具有增透作用,有潜力作为传统抗反膜的替代品。将具有浮雕结构的记录介质为母版并采用模压或浇铸等方法,可将结构复制到其它材料上。这类抗反射材料具有制作简单、成本低、可大批量生产等优点。 展开更多
关键词 抗反射 全息术 等效介质理论 亚波长光栅
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抗反射裂缝技术在三峡坝区主干道改造中的应用 被引量:8
19
作者 陈星 晏元湘 +1 位作者 邓朝 明磊 《中外公路》 北大核心 2012年第6期100-102,共3页
采用合理的抗反射技术措施是旧水泥混凝土路面加铺沥青面层成败的关键。三峡水利枢纽坝区主干道水泥路面主要存在裂缝、断板、脱空等病害,采用老路病害处理后加沥青罩面方式进行改造,施工过程中采用抗裂贴、应力吸收层(Strata)等一系列... 采用合理的抗反射技术措施是旧水泥混凝土路面加铺沥青面层成败的关键。三峡水利枢纽坝区主干道水泥路面主要存在裂缝、断板、脱空等病害,采用老路病害处理后加沥青罩面方式进行改造,施工过程中采用抗裂贴、应力吸收层(Strata)等一系列的施工工艺,有效缓解反射裂缝的产生。工程完工后的抽检数据表明:沥青路面的质量良好。 展开更多
关键词 抗反射裂缝 STRATA 道路改造 数值仿真
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聚合物表面纳米蛾眼结构的紫外压印制备工艺及抗反射性能 被引量:2
20
作者 武敬华 吴大鸣 +3 位作者 刘颖 许红 王琦 江冲 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期90-95,共6页
利用滚对平板(RTP)紫外纳米压印工艺在聚合物薄膜表面成功制备出大面积蛾眼纳米结构。通过原子力显微镜观测,可以看出蛾眼纳米结构在聚合物表面排布比较规整,呈乳状凸起阵列排布。蛾眼结构波峰高度复制率可以达到95.2%,表面微结构填充完... 利用滚对平板(RTP)紫外纳米压印工艺在聚合物薄膜表面成功制备出大面积蛾眼纳米结构。通过原子力显微镜观测,可以看出蛾眼纳米结构在聚合物表面排布比较规整,呈乳状凸起阵列排布。蛾眼结构波峰高度复制率可以达到95.2%,表面微结构填充完整,复制效果良好。与单层镀膜(AR-coating)抗反射材料相比,抗反射蛾眼结构反射率测试结果在可见光波段(380~760nm)反射率平均降到3%。视角在110°左右可见光平均反射率为7%。 展开更多
关键词 紫外压印 蛾眼结构 抗反射 聚合物 视角
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