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投影散斑相关方法测量芯片翘曲度
被引量：
1
1
作者
陈凡秀
杨福俊
何小元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期1700-1703,共4页
本文采用投影散斑相关法对芯片翘曲度进行了测量。利用单个CCD和单个投影装置多次扫描的方法,得到若干幅具有部分重叠区域的小图像,然后通过配准和拼接获得全景图像,实现整体测量。在拼接区标定若干控制点,然后以这些控制点为基准进行...
本文采用投影散斑相关法对芯片翘曲度进行了测量。利用单个CCD和单个投影装置多次扫描的方法,得到若干幅具有部分重叠区域的小图像,然后通过配准和拼接获得全景图像,实现整体测量。在拼接区标定若干控制点,然后以这些控制点为基准进行坐标变换实现重叠区域的配准和拼接,以提高分辨率、实现全场测量,得到芯片相对于标准平面的面内位移和形变。通过三角法标定,获得了离面位移和形变,从而完成了对手机屏幕芯片翘曲度的测量。与牛顿环测量法相比较,结果证明了投影散斑方法测量芯片翘曲度的精度和可行性。
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关键词
投影散斑相关
翘曲度
拼接技术
牛顿环
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职称材料
题名
投影散斑相关方法测量芯片翘曲度
被引量：
1
1
作者
陈凡秀
杨福俊
何小元
机构
东南大学工程力学系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期1700-1703,共4页
基金
国家自然科学基金(10472026)资助项目
文摘
本文采用投影散斑相关法对芯片翘曲度进行了测量。利用单个CCD和单个投影装置多次扫描的方法,得到若干幅具有部分重叠区域的小图像,然后通过配准和拼接获得全景图像,实现整体测量。在拼接区标定若干控制点,然后以这些控制点为基准进行坐标变换实现重叠区域的配准和拼接,以提高分辨率、实现全场测量,得到芯片相对于标准平面的面内位移和形变。通过三角法标定,获得了离面位移和形变,从而完成了对手机屏幕芯片翘曲度的测量。与牛顿环测量法相比较,结果证明了投影散斑方法测量芯片翘曲度的精度和可行性。
关键词
投影散斑相关
翘曲度
拼接技术
牛顿环
Keywords
speckle projection correlation technique warpage stitching technique Newton ring method
分类号
O631 [理学—高分子化学]
O348 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
投影散斑相关方法测量芯片翘曲度
陈凡秀
杨福俊
何小元
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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